vet-chinaは、先進的な半導体製造プロセス向けの包括的なソリューションである革新的な垂直型ウェーハボート＆台座を発表しました。綿密な精度で設計されたこのウェーハハンドリングシステムは、比類のない安定性とアライメントを実現し、高効率な製造環境に不可欠な要素を提供します。
垂直コラム型ウェーハボート＆台座は、熱安定性と耐薬品性を保証する高品質素材で製造されており、最も要求の厳しい半導体製造プロセスにも適しています。独自の垂直コラム設計によりウェーハを確実に支え、搬送および処理中の位置ずれや損傷のリスクを低減します。
vet-china社の垂直カラム型ウェーハボート＆ペデスタルを導入することで、半導体メーカーはスループットの向上、ダウンタイムの最小化、製品歩留まりの向上を実現できます。このシステムは様々なウェーハサイズと構成に対応しており、多様な生産ニーズに対応できる柔軟性と拡張性を備えています。
vet-chinaは卓越性へのこだわりに基づき、すべての垂直カラム型ウェーハボート＆台座が最高水準の品質と性能を満たしていることを保証します。この最先端ソリューションを選択することで、半導体製造における効率性と信頼性を最大限に高める、将来を見据えたウェーハハンドリングへの投資となります。
再結晶炭化ケイ素の特性
再結晶炭化ケイ素（R-SiC）は、2000℃以上の高温で形成される、ダイヤモンドに次ぐ硬度を持つ高性能材料です。高温強度、優れた耐食性、優れた耐酸化性、良好な耐熱衝撃性など、SiCの多くの優れた特性を保持しています。
●優れた機械的特性。再結晶炭化ケイ素は、炭素繊維よりも強度と剛性が高く、耐衝撃性にも優れているため、極端な温度環境下でも優れた性能を発揮し、様々な状況で優れたバランス性能を発揮します。さらに、柔軟性にも優れ、伸縮や曲げによる損傷を受けにくいため、性能が大幅に向上します。
● 高い耐食性。再結晶炭化ケイ素は、様々な媒体に対して高い耐食性を持ち、様々な腐食性媒体による侵食を防ぎ、長期間にわたって機械的特性を維持し、強力な密着性を有するため、長寿命です。さらに、優れた熱安定性も備えており、一定範囲の温度変化に適応できるため、その適用効果が向上します。
●焼結は収縮しません。焼結工程では収縮しないため、残留応力による製品の変形や亀裂が発生せず、複雑な形状や高精度の部品を製造できます。
| 重結晶炭化硅の物理的特性 再結晶炭化ケイ素の物理的性質 | |
| 性质 / 財産 | 典型的な数値 標準値 |
| 使用温度/ 動作温度（℃） | 1600℃（酸素存在下）、1700℃（還元雰囲気下） |
| SiC含有量/ SiC含有量 | 99.96%以上 |
| 自由Si含有量/ 遊離ケイ素含有量 | 0.1%未満 |
| 体密度/かさ密度 | 2.60～2.70 g/cm3 |
| 通気率見かけの多孔度 | 16%未満 |
| 耐圧強度圧縮強度 | 600以上MPa |
| 常温耐弯强度/冷間曲げ強度 | 80～90 MPa (20℃) |
| 高温耐性强度熱間曲げ強度 | 90～100 MPa (1400℃) |
| 熱膨張胀系数1500℃における熱膨張 | 4.70 10-6/℃ |
| 导熱系数/1200℃における熱伝導率 | 23W/m・K |
| 杨氏模量弾性率 | 240 GPa |
| 耐熱震性耐熱衝撃性 | 非常に良い |
VET Energyは のCVDコーティングを施したカスタムグラファイトおよび炭化ケイ素製品の実際の製造業者。供給できます様々な半導体および太陽光発電産業向けの特注部品。 O当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。あなたのために。
当社は、より高度な材料を提供するために、高度なプロセスを継続的に開発しています。そして当社は、コーティングと基材との接着をより強固にし、剥離しにくくする独自の特許技術を開発しました。
| CVD SiC膜の基本物理性能 CVD SiCの基本的な物理的特性コーティング | |
| 性质 / 財産 | 典型的な数値 標準値 |
| 結晶構造 結晶構造 | FCC β相多結晶、主である（111）取向 |
| 密度 / 密度 | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 硬度 | 2500维度硬度（500g荷重） |
| 結晶粒大小 / 粒の大きさ | 2～10μm |
| 度 化学的純度 | 99.99995% |
| 熱容 熱容量 | 640 J・kg-1・K-1 |
| 昇华温度 昇華温度 | 2700℃ |
| 抗强度 曲げ強度 | 415 MPa RT 4点 |
| 杨氏模量 ヤング率 | 430 GPa 4点曲げ、1300℃ |
| 导熱系数 / テルマl導電率 | 300W・m-1・K-1 |
| 熱膨張胀系数 熱膨張係数（CTE） | 4.5×10-6K-1 |
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