vet-china ນຳສະເໜີເຮືອ ແລະ ຕີນແບບ Vertical Column Wafer Boat & Pedestal ທີ່ມີນະວັດຕະກໍາ, ເຊິ່ງເປັນວິທີແກ້ໄຂທີ່ສົມບູນແບບສຳລັບການປະມວນຜົນແບບ semiconductor ທີ່ກ້າວໜ້າ. ຖືກອອກແບບດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍໍາຢ່າງລະອຽດລະອໍ, ລະບົບການຈັດການ wafer ນີ້ໃຫ້ຄວາມໝັ້ນຄົງ ແລະ ການຈັດລຽງທີ່ບໍ່ມີໃຜທຽບເທົ່າ, ມີຄວາມສໍາຄັນສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ.
ເຮືອແຜ່ນແບບຕັ້ງ ແລະ ເສົາແມ່ນສ້າງຂຶ້ນດ້ວຍວັດສະດຸທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມກັບຂະບວນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ຕ້ອງການຫຼາຍທີ່ສຸດ. ການອອກແບບຖັນຕັ້ງທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງມັນຮອງຮັບແຜ່ນແຜ່ນໄດ້ຢ່າງປອດໄພ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງການບໍ່ສອດຄ່ອງ ແລະ ຄວາມເສຍຫາຍທີ່ອາດເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການຂົນສົ່ງ ແລະ ການປຸງແຕ່ງ.
ດ້ວຍການເຊື່ອມໂຍງຂອງ Vertical Column Wafer Boat & Pedestal ຂອງ vet-china, ຜູ້ຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳສາມາດຄາດຫວັງວ່າຜົນຜະລິດຈະດີຂຶ້ນ, ຫຼຸດຜ່ອນເວລາຢຸດເຮັດວຽກ, ແລະ ຜົນຜະລິດຜະລິດຕະພັນທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ. ລະບົບນີ້ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບຂະໜາດ ແລະ ການຕັ້ງຄ່າຂອງ wafer ຕ່າງໆ, ສະເໜີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການຂະຫຍາຍສຳລັບຄວາມຕ້ອງການການຜະລິດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.
ຄຳໝັ້ນສັນຍາຂອງ vet-china ຕໍ່ຄວາມເປັນເລີດຮັບປະກັນວ່າເຮືອ ແລະ ເສົາຕັ້ງແຕ່ລະອັນຕອບສະໜອງມາດຕະຖານຄຸນນະພາບ ແລະ ປະສິດທິພາບສູງສຸດ. ໂດຍການເລືອກວິທີແກ້ໄຂທີ່ທັນສະໄໝນີ້, ທ່ານໄດ້ລົງທຶນໃນວິທີການທີ່ທົນທານໃນອະນາຄົດໃນການຈັດການແຜ່ນເວເຟີທີ່ເພີ່ມປະສິດທິພາບ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືສູງສຸດໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ.
ຄຸນສົມບັດຂອງຊິລິກອນຄາໄບທີ່ນຳມາໃຊ້ໃໝ່
ຊິລິກອນຄາໄບຣ໌ທີ່ປ່ຽນຮູບຊົງເປັນແກ້ວ (R-SiC) ເປັນວັດສະດຸທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ ແລະ ມີຄວາມແຂງເປັນອັນດັບສອງຮອງຈາກເພັດ ເຊິ່ງຖືກສ້າງຂຶ້ນໃນອຸນຫະພູມສູງກວ່າ 2000°C. ມັນຍັງຄົງມີຄຸນສົມບັດທີ່ດີເລີດຫຼາຍຢ່າງຂອງ SiC ເຊັ່ນ: ຄວາມແຂງແຮງຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງທີ່ດີເລີດ, ຄວາມຕ້ານທານການກະແທກຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ ແລະອື່ນໆ.
● ຄຸນສົມບັດທາງກົນຈັກທີ່ດີເລີດ. ຊິລິກອນຄາໄບທີ່ເຮັດດ້ວຍຜລຶກໃໝ່ມີຄວາມແຂງແຮງ ແລະ ຄວາມແຂງແກ່ນສູງກວ່າເສັ້ນໄຍຄາບອນ, ທົນທານຕໍ່ແຮງກະທົບສູງ, ສາມາດມີປະສິດທິພາບທີ່ດີໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ສາມາດມີປະສິດທິພາບໃນການດຸ່ນດ່ຽງທີ່ດີກວ່າໃນຫຼາຍໆສະຖານະການ. ນອກຈາກນັ້ນ, ມັນຍັງມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນທີ່ດີ ແລະ ບໍ່ເສຍຫາຍໄດ້ງ່າຍຈາກການຍືດ ແລະ ງໍ, ເຊິ່ງປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງມັນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
● ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນສູງ. ຊິລິກອນຄາໄບທີ່ປ່ຽນຮູບເປັນຜລຶກມີຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນສູງຕໍ່ກັບວັດສະດຸຫຼາກຫຼາຍຊະນິດ, ສາມາດປ້ອງກັນການກັດກ່ອນຂອງວັດສະດຸຫຼາກຫຼາຍຊະນິດ, ສາມາດຮັກສາຄຸນສົມບັດທາງກົນຈັກຂອງມັນໄດ້ດົນນານ, ມີການຍຶດຕິດທີ່ແຂງແຮງ, ດັ່ງນັ້ນມັນຈຶ່ງມີອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານ. ນອກຈາກນັ້ນ, ມັນຍັງມີຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ, ສາມາດປັບຕົວເຂົ້າກັບການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມໃນລະດັບໃດໜຶ່ງ, ປັບປຸງຜົນກະທົບຂອງການນຳໃຊ້ຂອງມັນ.
● ການເຜົາໄໝ້ບໍ່ຫົດຕົວ. ເນື່ອງຈາກຂະບວນການເຜົາໄໝ້ບໍ່ຫົດຕົວ, ບໍ່ມີຄວາມກົດດັນທີ່ເຫຼືອຢູ່ຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການຜິດຮູບ ຫຼື ການແຕກຂອງຜະລິດຕະພັນ, ແລະ ຊິ້ນສ່ວນທີ່ມີຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນ ແລະ ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງສາມາດກະກຽມໄດ້.
| 重结晶碳化硅物理特性 ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງຊິລິກອນຄາໄບທີ່ຖືກນຳມາໃຊ້ໃໝ່ | |
| 性质 / ຊັບສິນ | 典型数值 / ຄ່າປົກກະຕິ |
| 使用温度/ ອຸນຫະພູມການເຮັດວຽກ (°C) | 1600°C (ມີອົກຊີເຈນ), 1700°C (ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຫຼຸດລົງ) |
| ຊີຊີ含量/ ເນື້ອໃນ SiC | > 99.96% |
| 自由ສີ 含量/ ເນື້ອຫາ Si ຟຣີ | < 0.1% |
| 体积密度/ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງມວນສານ | 2.60-2.70 ກຣາມ/ຊມ33 |
| 气孔率/ ຄວາມพรຸນທີ່ປາກົດຂື້ນ | < 16% |
| 抗压强度/ ຄວາມແຮງບີບອັດ | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/ຄວາມແຮງຂອງການບິດງໍເຢັນ | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度ຄວາມແຮງຂອງການບິດງໍຮ້ອນ | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 导热系数/ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນ @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ ໂມດູລັດຍືດหยุ่น | 240 GPa |
| 抗热震性/ ທົນທານຕໍ່ການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ | ດີຫຼາຍ |
VET Energy ແມ່ນ ທີ່ຜູ້ຜະລິດຜະລິດຕະພັນ graphite ແລະ silicon carbide ທີ່ກຳນົດເອງດ້ວຍການເຄືອບ CVD,ສາມາດສະໜອງໄດ້ຕ່າງໆຊິ້ນສ່ວນທີ່ປັບແຕ່ງເອງສຳລັບອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ພະລັງງານແສງອາທິດ. Oທີມງານດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາມາຈາກສະຖາບັນຄົ້ນຄວ້າພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນໍາ, ສາມາດໃຫ້ບໍລິການແກ້ໄຂບັນຫາດ້ານວັດສະດຸທີ່ເປັນມືອາຊີບຫຼາຍຂຶ້ນສຳລັບທ່ານ.
ພວກເຮົາພັດທະນາຂະບວນການທີ່ກ້າວໜ້າຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງເພື່ອສະໜອງວັດສະດຸທີ່ກ້າວໜ້າກວ່າ,ແລະໄດ້ພັດທະນາເຕັກໂນໂລຊີທີ່ໄດ້ຮັບສິດທິບັດສະເພາະ, ເຊິ່ງສາມາດເຮັດໃຫ້ການຍຶດຕິດລະຫວ່າງຊັ້ນເຄືອບ ແລະ ຊັ້ນຮອງພື້ນແໜ້ນໜາຂຶ້ນ ແລະ ມີໂອກາດຫຼຸດການແຍກອອກໜ້ອຍລົງ.
| ພະຍາດຫົວໃຈແລະຫຼອດເລືອດ SiC薄膜基本物理性能 ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງ CVD SiCການເຄືອບ | |
| 性质 / ຊັບສິນ | 典型数值 / ຄ່າປົກກະຕິ |
| 晶体结构 / ໂຄງສ້າງຜລຶກ | ໄລຍະ β ຂອງ FCC多晶，主要为（111) 取向 |
| 密度 / ຄວາມໜາແໜ້ນ | 3.21 ກຣາມ/ຊມ³ |
| 硬度 / ຄວາມແຂງ | 2500 维氏硬度 (ໂຫຼດ 500g) |
| 晶粒大小 / ຂະໜາດເມັດພືດ | 2~10ໄມໂຄຣມ |
| 纯度 / ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ | 99.99995% |
| 热容 / ຄວາມຈຸຄວາມຮ້ອນ | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / ອຸນຫະພູມການລະເຫີຍ | 2700℃ |
| 抗弯强度 / ຄວາມແຂງແຮງໃນການບິດງໍ | 415 MPa RT 4 ຈຸດ |
| 杨氏模量 / ໂມດູນຂອງໜຸ່ມ | 430 Gpa 4pt ງໍ, 1300℃ |
| 导热系数 / ເທີມາລຄວາມນຳໄຟຟ້າ | 300 ວັດ·ມ-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ (CTE) | 4.5 × 10-6K-1 |
ຍິນດີຕ້ອນຮັບຢ່າງອົບອຸ່ນໃຫ້ທ່ານມາຢ້ຽມຢາມໂຮງງານຂອງພວກເຮົາ, ຂໍໃຫ້ມີການສົນທະນາຕື່ມອີກ!
