Вертикальная колонна, вафельная лодка и пьедестал

Краткое описание:

Вертикальная колонна для перемещения пластин и подставка от vet-china обеспечивают превосходную стабильность и точность при работе с полупроводниковыми пластинами. Благодаря усовершенствованной конструкции от vet-china, эта система гарантирует оптимальное выравнивание и надежную фиксацию, повышая эффективность работы и снижая риск повреждения пластин.

 


  • Имя:Вертикальная платформа для производства кремниевых пластин из карбида кремния.
  • Материал:Высокочистый спеченный карбид кремния
  • Срок поставки:В зависимости от количества
  • OEM, ODM:Поддерживать
  • Сертификат:IS09001:2015
  • Минимальный объем заказа:1 шт.
  • Образец:Доступный
  • Подробная информация о товаре

    Метки товаров

    Компания vet-china представляет инновационную вертикальную колонну для подачи пластин и подставку — комплексное решение для передовых технологий обработки полупроводников. Разработанная с исключительной точностью, эта система обработки пластин обеспечивает непревзойденную стабильность и выравнивание, что крайне важно для высокоэффективных производственных сред.

    Вертикальная колонна для установки полупроводниковых пластин с подставкой изготовлена ​​из высококачественных материалов, гарантирующих термическую стабильность и устойчивость к химической коррозии, что делает ее подходящей для самых сложных процессов производства полупроводников. Уникальная конструкция с вертикальной колонной надежно поддерживает пластины, снижая риск смещения и потенциального повреждения во время транспортировки и обработки.

    Благодаря интеграции вертикальной колонной установки для изготовления пластин и подставки от компании vet-china, производители полупроводников могут рассчитывать на повышение производительности, минимизацию простоев и увеличение выхода годной продукции. Эта система совместима с пластинами различных размеров и конфигураций, обеспечивая гибкость и масштабируемость для различных производственных нужд.

    Стремление компании vet-china к совершенству гарантирует, что каждая вертикальная колонна для обработки пластин и подставка соответствуют самым высоким стандартам качества и производительности. Выбирая это передовое решение, вы инвестируете в перспективный подход к обработке пластин, который максимизирует эффективность и надежность в полупроводниковом производстве.

    Вертикальная колонна, вафельная лодка и пьедестал

    Свойства рекристаллизованного карбида кремния

    Рекристаллизованный карбид кремния (R-SiC) — это высокоэффективный материал, по твердости уступающий только алмазу, который образуется при высокой температуре выше 2000℃. Он сохраняет многие превосходные свойства SiC, такие как высокая термостойкость, высокая коррозионная стойкость, отличная стойкость к окислению, хорошая термостойкость и т.д.

    ● Превосходные механические свойства. Рекристаллизованный карбид кремния обладает большей прочностью и жесткостью, чем углеродное волокно, высокой ударопрочностью, хорошо работает в условиях экстремальных температур, обеспечивает лучшую балансировку в различных ситуациях. Кроме того, он обладает хорошей гибкостью и не подвержен повреждениям при растяжении и изгибе, что значительно улучшает его характеристики.

    ● Высокая коррозионная стойкость. Рекристаллизованный карбид кремния обладает высокой коррозионной стойкостью к различным средам, предотвращает эрозию под воздействием различных агрессивных сред, сохраняет свои механические свойства в течение длительного времени, обладает сильной адгезией, что обеспечивает более длительный срок службы. Кроме того, он обладает хорошей термической стабильностью, может адаптироваться к определенному диапазону температурных изменений, что повышает эффективность его применения.

    ● Спекание не вызывает усадки. Поскольку в процессе спекания не происходит усадки, остаточные напряжения не вызывают деформации или растрескивания изделия, что позволяет изготавливать детали сложной формы и высокой точности.

    重结晶碳 и 硅物理特性

    Физические свойства перекристаллизованного карбида кремния

    性质 / Свойство

    典型数值 / Типичное значение

    使用温度/ Рабочая температура (°C)

    1600 °C (с кислородом), 1700 °C (восстановительная среда)

    SiC含量/ Содержание SiC

    > 99,96%

    自由Си含量/ Содержание свободного Si

    < 0,1%

    体积密度/Объемная плотность

    2,60-2,70 г/см³3

    气孔率/ Кажущаяся пористость

    < 16%

    抗压强度/ Прочность на сжатие

    > 600МПа

    常温抗弯强度/Прочность на изгиб в холодном состоянии

    80-90 МПа (20°C)

    高温抗弯强度Прочность на горячую гибку

    90-100 МПа (1400°C)

    热膨胀系数Тепловое расширение при 1500°C

    4.70 10-6/°C

    导热系数/Теплопроводность при 1200 °C

    23Вт/м•К

    杨氏模量Модуль упругости

    240 ГПа

    抗热震性Устойчивость к термическому удару

    Очень хорошо

    VET Energy — это тотНастоящий производитель изделий из графита и карбида кремния, изготовленных по индивидуальному заказу с использованием CVD-покрытия.может поставлятьразличныйИзготовление деталей на заказ для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. OНаша техническая команда состоит из специалистов ведущих отечественных научно-исследовательских институтов, что позволяет нам предлагать более профессиональные решения в области материалов.для тебя.

    Мы постоянно совершенствуем технологические процессы для производства более совершенных материалов.иРазработана эксклюзивная запатентованная технология, позволяющая сделать сцепление между покрытием и подложкой более прочным и менее склонным к отслоению.

    ССВ SiC薄膜基本物理性能

    Основные физические свойства CVD SiCпокрытие

    性质 / Свойство

    典型数值 / Типичное значение

    晶体结构 Кристаллическая структура

    β-фаза ГЦК多晶,主要为(111)取向

    密度 / Плотность

    3,21 г/см³

    硬度 / Твердость

    2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)

    晶粒大小 / Размер зерна

    2–10 мкм

    纯度 / Химическая чистота

    99,99995%

    热容 / Теплоемкость

    640 Дж·кг-1·К-1

    升华温度 Температура сублимации

    2700℃

    抗弯强度 / Прочность на изгиб

    415 МПа RT 4-точечный

    杨氏模量 Модуль Юнга

    4-точечный изгиб 430 ГПа, 1300℃

    导热系数 / ТермалПроводимость

    300 Вт·м-1·К-1

    热膨胀系数 / Коэффициент теплового расширения (КТР)

    4,5×10-6K-1

    1

    2

    Мы будем рады видеть вас на нашем заводе, давайте обсудим все подробности!

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Онлайн-чат в WhatsApp!