vet-china præsenterer den innovative Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, en omfattende løsning til avanceret halvlederbehandling. Dette waferhåndteringssystem er designet med omhyggelig præcision og giver uovertruffen stabilitet og justering, hvilket er afgørende for højeffektive produktionsmiljøer.
Vertical Column Wafer Boat & Pedestal er konstrueret med førsteklasses materialer, der garanterer termisk stabilitet og modstandsdygtighed over for kemisk korrosion, hvilket gør den velegnet til de mest krævende halvlederfremstillingsprocesser. Dens unikke design med vertikale søjler understøtter wafere sikkert, hvilket reducerer risikoen for forkert justering og potentiel skade under transport og forarbejdning.
Med integrationen af vet-Chinas Vertical Column Wafer Boat & Pedestal kan halvlederproducenter forvente forbedret gennemløbshastighed, minimeret nedetid og øget produktudbytte. Dette system er kompatibelt med forskellige waferstørrelser og -konfigurationer og tilbyder fleksibilitet og skalerbarhed til forskellige produktionsbehov.
vet-Chinas engagement i ekspertise sikrer, at hver enkelt vertikal søjlewaferbåd og -pedestal opfylder de højeste standarder for kvalitet og ydeevne. Ved at vælge denne banebrydende løsning investerer du i en fremtidssikret tilgang til waferhåndtering, der maksimerer effektivitet og pålidelighed i halvlederfremstilling.
Egenskaber af omkrystalliseret siliciumcarbid
Omkrystalliseret siliciumcarbid (R-SiC) er et højtydende materiale med en hårdhed, der kun overgår diamant, da den dannes ved en høj temperatur over 2000 ℃. Det bevarer mange af SiC's fremragende egenskaber, såsom høj temperaturstyrke, stærk korrosionsbestandighed, fremragende oxidationsbestandighed, god termisk chokmodstand og så videre.
● Fremragende mekaniske egenskaber. Omkrystalliseret siliciumcarbid har højere styrke og stivhed end kulfiber, høj slagfasthed, kan yde god ydeevne i ekstreme temperaturmiljøer og en bedre modvægt i en række forskellige situationer. Derudover har det også god fleksibilitet og beskadiges ikke let ved strækning og bøjning, hvilket forbedrer dets ydeevne betydeligt.
● Høj korrosionsbestandighed. Omkrystalliseret siliciumcarbid har høj korrosionsbestandighed over for en række forskellige medier, kan forhindre erosion fra en række forskellige korrosive medier, kan bevare sine mekaniske egenskaber i lang tid, har en stærk vedhæftning, hvilket giver en længere levetid. Derudover har det også god termisk stabilitet, kan tilpasse sig et bestemt temperaturområde og forbedre dets anvendelseseffekt.
● Sintring krymper ikke. Da sintringsprocessen ikke krymper, vil der ikke opstå restspændinger, der forårsager deformation eller revner i produktet, og dele med komplekse former og høj præcision kan fremstilles.
| 重结晶碳化硅物理特性 Fysiske egenskaber af omkrystalliseret siliciumcarbid | |
| 性质 / Ejendom | 典型数值 / Typisk værdi |
| 使用温度/ Arbejdstemperatur (°C) | 1600°C (med ilt), 1700°C (reducerende miljø) |
| SiC含量/ SiC-indhold | > 99,96% |
| 自由Si含量/ Gratis Si-indhold | < 0,1% |
| 体积密度/Rumdensitet | 2,60-2,70 g/cm²3 |
| 气孔率/ Tilsyneladende porøsitet | < 16% |
| 抗压强度/ Kompressionsstyrke | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Kold bøjningsstyrke | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度Varm bøjningsstyrke | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Termisk udvidelse @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| 导热系数/Varmeledningsevne @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Elasticitetsmodul | 240 GPa |
| 抗热震性/ Termisk stødmodstand | Ekstremt god |
VET Energi er deen rigtig producent af specialfremstillede grafit- og siliciumcarbidprodukter med CVD-belægning,kan levereforskelligeTilpassede dele til halvleder- og solcelleindustrien. OVores tekniske team kommer fra førende indenlandske forskningsinstitutioner og kan tilbyde mere professionelle materialeløsningerfor dig.
Vi udvikler løbende avancerede processer for at levere mere avancerede materialer,oghar udviklet en eksklusiv patenteret teknologi, som kan gøre bindingen mellem belægningen og underlaget tættere og mindre tilbøjelig til at løsne sig.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning | |
| 性质 / Ejendom | 典型数值 / Typisk værdi |
| 晶体结构 / Krystalstruktur | FCC β-fase多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Tæthed | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhed | 2500 维氏硬度（500g belastning） |
| 晶粒大小 / Kornstørrelse | 2~10 μm |
| 纯度 / Kemisk renhed | 99,99995% |
| 热容 / Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Bøjningsstyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalLedningsevne | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk ekspansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Du er hjertelig velkommen til at besøge vores fabrik, lad os tale videre!
-
Grafitbolte til vakuumovn
-
Elektrolytisk brændselscelleindustri til elektriske køretøjer...
-
Brugerdefineret grafitpapir pyrolytisk kulstofplade ...
-
60w brintbrændselscelle Pemfc-12v stak til labo...
-
Tilpasningsvenlig luftkøling Pemfc 60w stakvandspumpe...
-
1 kW brændselscellestak til droner og elcykler