A вафлибарои табдил шудан ба чипи воқеии нимноқил бояд аз се тағйирот гузарад: аввал, реза шакли блок ба пластинаҳо бурида мешавад; дар раванди дуюм, транзисторҳо тавассути раванди қаблӣ дар пеши пластина кандакорӣ карда мешаванд; дар ниҳоят, бастабандӣ, яъне тавассути раванди буридан, анҷом дода мешавад.вафлиба чипи пурраи нимноқил табдил меёбад. Мушоҳида мешавад, ки раванди бастабандӣ ба раванди қафо тааллуқ дорад. Дар ин раванд, пластина ба якчанд чипҳои алоҳидаи шашкунҷа бурида мешавад. Ин раванди ба даст овардани чипҳои мустақил "Сингуляция" ва раванди арра кардани тахтаи пластина ба кубоидҳои мустақил "буридани пластина (Die Sawing)" номида мешавад. Ба наздикӣ, бо беҳтар шудани ҳамгироии нимноқилҳо, ғафсиивафлиҳотунуктар ва тунуктар шудааст, ки албатта ба раванди «сингулятсия» мушкилоти зиёдеро ба бор меорад.
Таҳаввулоти буридани вафли
Равандҳои фронтенд ва қафо тавассути таъсири мутақобила бо роҳҳои гуногун таҳаввул ёфтаанд: таҳаввули равандҳои қафо метавонанд сохтор ва мавқеи чипҳои хурди шашкунҷаро, ки аз қолаб ҷудо шудаанд, муайян кунанд.вафли, инчунин сохтор ва мавқеи лавҳаҳо (роҳҳои пайвасти барқӣ) дар пластина; баръакс, эволютсияи равандҳои фронтенд раванд ва усуливафлитунуккунии пушт ва "пора кардани қолаб" дар раванди пушт. Аз ин рӯ, намуди зоҳирии мураккабтари баста ба раванди пушт таъсири калон мерасонад. Ғайр аз ин, шумора, тартиб ва намуди пора кардан низ мувофиқан вобаста ба тағирёбии намуди зоҳирии баста тағйир меёбад.
Котиби нархгузорӣ
Дар рӯзҳои аввал, "шикастан" бо истифода аз қувваи беруна ягона усули буридан буд, ки метавонист қисмҳоро тақсим кунад.вафлиба қолабҳои шашкунҷа. Аммо, ин усул камбудиҳои шикастан ё кафидани канори пораҳои хурдро дорад. Илова бар ин, азбаски хирсҳо дар сатҳи металл пурра тоза карда намешаванд, сатҳи буридашуда низ хеле ноҳамвор аст.
Барои ҳалли ин мушкилот, усули буридани "Scribing" пайдо шуд, яъне пеш аз "шикастан", сатҳи он.вафлитақрибан то нисфи чуқурӣ бурида мешавад. "Хатибӣ кардан", чунон ки аз номаш бармеояд, ба истифодаи импеллер барои буридани (нимбурида) тарафи пеши пластина пешакӣ ишора мекунад. Дар рӯзҳои аввал, аксари пластинаҳои поёнтар аз 6 дюйм ин усули буриданро истифода мебурданд: аввал "буридан" байни пораҳо ва сипас "шикастан".
Буридани теғ ё арра кардани теғ
Усули буриши "хатоӣ" тадриҷан ба усули буриши (ё арра кардани) "бо теғ буридан" табдил ёфт, ки усули буридан бо истифода аз теғ ду ё се маротиба пай дар пай аст. Усули буриши "бо теғ" метавонад падидаи пӯстканда шудани пораҳои хурдро ҳангоми "шикастан" пас аз "хатоӣ" ҷуброн кунад ва метавонад пораҳои хурдро дар раванди "ҷудокунӣ" муҳофизат кунад. Буриши "бо теғ" аз буридани "пора кардани" қаблӣ фарқ мекунад, яъне пас аз буридани "бо теғ", он "шикастан" нест, балки дубора бо теғ буридан аст. Аз ин рӯ, онро усули "қадам ба қадам буридан" низ меноманд.
Барои муҳофизат кардани пластина аз осеби беруна ҳангоми раванди буридан, пешакӣ ба пластина плёнка молида мешавад, то "яккашавӣ"-и бехатартар таъмин карда шавад. Ҳангоми раванди "суфтакунии пушт", плёнка ба пеши пластина часпонида мешавад. Аммо баръакс, дар буридани "теғ", плёнка бояд ба қафои пластина часпонида шавад. Ҳангоми пайваст кардани қолаби эвтектикӣ (пайваст кардани қолаб, часпондани чипҳои ҷудошуда дар PCB ё чаҳорчӯбаи собит), плёнкаи ба қафо часпонидашуда ба таври худкор меафтад. Аз сабаби соишнокии баланд ҳангоми буридан, оби DI бояд аз ҳама самтҳо пайваста пошида шавад. Илова бар ин, импеллер бояд бо зарраҳои алмосӣ часпонида шавад, то ки буришҳо беҳтар бурида шаванд. Дар ин вақт, буриш (ғафсии теғ: паҳнои чуқурча) бояд яксон бошад ва набояд аз паҳнои чуқурчаи буридан зиёд бошад.
Муддати тӯлонӣ, арракунӣ усули анъанавии буридан васеъ истифодашаванда буд. Бартарии бузургтарини он дар он аст, ки он метавонад шумораи зиёди пластинаҳоро дар муддати кӯтоҳ бурад. Аммо, агар суръати ғизодиҳии буриш хеле зиёд карда шавад, эҳтимолияти пӯсткании канори чиплетҳо меафзояд. Аз ин рӯ, шумораи гардиши импеллер бояд тақрибан 30,000 маротиба дар як дақиқа назорат карда шавад. Дидан мумкин аст, ки технологияи раванди нимноқил аксар вақт сирре аст, ки дар тӯли муддати тӯлонии ҷамъшавӣ ва озмоиш ва хатогӣ оҳиста ҷамъ мешавад (дар бахши оянда дар бораи пайванди эвтектикӣ, мо мундариҷаро дар бораи буридан ва DAF баррасӣ хоҳем кард).
Реза кардан пеш аз майда кардан (DBG): пайдарпайии буридан усулро тағйир додааст
Вақте ки буриши теғ дар пластинаи диаметри 8 дюйм анҷом дода мешавад, дар бораи пӯстканӣ ё кафидан аз канори чиплет хавотир шудан лозим нест. Аммо вақте ки диаметри пластина то 21 дюйм зиёд мешавад ва ғафсӣ хеле тунук мешавад, падидаҳои пӯстканӣ ва кафидан дубора пайдо мешаванд. Барои кам кардани таъсири ҷисмонӣ ба пластина ҳангоми раванди буридан, усули DBG "пухта кардан пеш аз майда кардан" пайдарпайии анъанавии буриданро иваз мекунад. Бар хилофи усули анъанавии буридани "теғ", ки пайваста бурида мешавад, DBG аввал буриши "теғ"-ро анҷом медиҳад ва сипас ғафсии пластинаро бо тунук кардани тарафи қафо то тақсим шудани чип тадриҷан тунук мекунад. Метавон гуфт, ки DBG версияи такмилёфтаи усули қаблии буридани "теғ" аст. Азбаски он метавонад таъсири буриши дуюмро кам кунад, усули DBG дар "бастабандии сатҳи пластина" зуд маъмул шудааст.
Танзими лазерӣ
Раванди бастаи миқёси чипҳои сатҳи вафлӣ (WLCSP) асосан аз буридани лазерӣ истифода мебарад. Буридани лазерӣ метавонад падидаҳоеро ба монанди пӯстканӣ ва кафиданро коҳиш диҳад ва бо ин васила чипҳои босифаттарро ба даст орад, аммо вақте ки ғафсии вафл аз 100 мкм зиёд аст, ҳосилнокӣ хеле коҳиш меёбад. Аз ин рӯ, он асосан дар вафлҳое бо ғафсии камтар аз 100 мкм (нисбатан тунук) истифода мешавад. Буридани лазерӣ кремнийро бо истифода аз лазери баландэнергия ба чуқурии скрипти вафл бурид. Аммо, ҳангоми истифодаи усули анъанавии буридани лазерӣ (Лазери анъанавӣ), пешакӣ ба сатҳи вафл плёнкаи муҳофизатӣ бояд часпонида шавад. Азбаски гарм кардан ё нур додани сатҳи вафл бо лазер, ин тамосҳои физикӣ дар сатҳи вафл чуқурчаҳо ба вуҷуд меоранд ва пораҳои кремнийи буридашуда низ ба сатҳ часпида мешаванд. Дидан мумкин аст, ки усули анъанавии буридани лазерӣ инчунин сатҳи вафлро мустақиман бурид ва аз ин ҷиҳат, он ба усули буридани "теғ" монанд аст.
Пинҳон кардани буридани металл (SD) усули буридани аввал даруни пластина бо энергияи лазерӣ ва сипас татбиқи фишори беруна ба лентаи ба пушт часпонидашуда барои шикастани он мебошад, ки бо ин васила чип ҷудо карда мешавад. Вақте ки фишор ба лентаи пуштӣ татбиқ карда мешавад, пластина фавран аз сабаби кашидани лента ба боло бардошта мешавад ва бо ин васила чип ҷудо карда мешавад. Бартариҳои SD нисбат ба усули анъанавии буридани лазерӣ инҳоянд: аввалан, пораҳои кремний вуҷуд надоранд; дуюм, керф (Керф: паҳнои чуқури скрипт) танг аст, аз ин рӯ метавон чипҳои бештар ба даст овард. Илова бар ин, бо истифода аз усули SD, ки барои сифати умумии буриш муҳим аст, падидаи пӯстканӣ ва кафидан хеле кам карда мешавад. Аз ин рӯ, эҳтимол дорад, ки усули SD дар оянда маъмултарин технология гардад.
Танзими плазма
Буриши плазма як технологияи ба наздикӣ таҳияшуда аст, ки ҳангоми раванди истеҳсолӣ (Fab) аз кандакории плазма истифода мебарад. Буриши плазма ба ҷои моеъҳо аз маводи нимгазӣ истифода мебарад, аз ин рӯ таъсир ба муҳити зист нисбатан кам аст. Ва усули буридани тамоми вафл дар як вақт қабул карда мешавад, аз ин рӯ суръати "буридан" нисбатан тез аст. Аммо, усули плазма гази реаксияи кимиёвиро ҳамчун ашёи хом истифода мебарад ва раванди кандакорӣ хеле мураккаб аст, аз ин рӯ ҷараёни раванди он нисбатан душвор аст. Аммо дар муқоиса бо буриши "теғ" ва буриши лазерӣ, буриши плазма ба сатҳи вафл зарар намерасонад ва бо ин васила суръати нуқсонро кам мекунад ва пораҳои бештар ба даст меорад.
Ба наздикӣ, азбаски ғафсии пластина то 30 мкм кам карда шуд ва аз маводи зиёди мис (Cu) ё доимии диэлектрикии паст (Low-k) истифода мешавад. Аз ин рӯ, барои пешгирӣ аз пайдоиши гиреҳҳо (Burr), усулҳои буридани плазма низ афзалтар хоҳанд буд. Албатта, технологияи буридани плазма низ пайваста рушд мекунад. Ман боварӣ дорам, ки дар ояндаи наздик, ҳангоми кандакорӣ, рӯзе ба пӯшидани ниқоби махсус ниёз нахоҳад буд, зеро ин самти асосии рушди буридани плазма аст.
Азбаски ғафсии пластинаҳо пайваста аз 100μm то 50μm ва сипас то 30μm кам карда мешавад, усулҳои буридан барои ба даст овардани чипҳои мустақил низ аз буридани "шикастан" ва "теғ" ба буридани лазерӣ ва буридани плазма тағйир ёфта, рушд мекунанд. Гарчанде ки усулҳои буридани рӯз аз рӯз такмилёфта арзиши истеҳсоли худи раванди буриданро афзоиш додаанд, аз тарафи дигар, бо коҳиш додани падидаҳои номатлуб, ба монанди пӯстканӣ ва кафидан, ки аксар вақт дар буридани чипҳои нимноқилӣ рух медиҳанд ва шумораи чипҳои ба даст овардашуда дар як воҳиди пластина, арзиши истеҳсоли як чип тамоюли коҳишро нишон додааст. Албатта, афзоиши шумораи чипҳои ба даст овардашуда дар як воҳиди масоҳати пластина бо кам шудани паҳнои кӯчаи буридан зич алоқаманд аст. Бо истифода аз буридани плазма, қариб 20% чипҳои бештарро дар муқоиса бо истифодаи усули буридани "теғ" ба даст овардан мумкин аст, ки ин низ сабаби асосии интихоби буридани плазма аз ҷониби одамон мебошад. Бо рушд ва тағйироти пластинаҳо, намуди зоҳирӣ ва усулҳои бастабандии чип, равандҳои гуногуни буридан, ба монанди технологияи коркарди пластина ва DBG низ пайдо мешаванд.
Вақти нашр: 10 октябри соли 2024