MOCVD grafitni nosač sa CVD SiC premazom

Kratak opis:

VET Energy SiC obloženi MOCVD susceptor je visokoperformansni proizvod dizajniran da pruži konzistentne i pouzdane performanse tokom dužeg perioda. Ima super dobru otpornost na toplotu i termičku ujednačenost, visoku čistoću i otpornost na eroziju, što ga čini savršenim rješenjem za primjene u obradi pločica.

Pošaljite nam e-poštu Preuzmi kao PDF

Detalji proizvoda

Oznake proizvoda

Grafitni susceptor obložen SiC-om je ključna komponenta koja se koristi u raznim procesima proizvodnje poluprovodnika. Koristimo našu patentiranu tehnologiju kako bismo napravili susceptor izuzetno visoke čistoće, dobre ujednačenosti premaza i odličnog vijeka trajanja, kao i visoke hemijske otpornosti i termičke stabilnosti.

Karakteristike naših proizvoda:

1. Otpornost na oksidaciju na visokim temperaturama do 1700℃.
2. Visoka čistoća i termička ujednačenost
3. Odlična otpornost na koroziju: kiseline, alkalije, soli i organski reagensi.
4. Visoka tvrdoća, kompaktna površina, fine čestice.
5. Duži vijek trajanja i izdržljiviji

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovna fizička svojstva CVD SiC-apremaz
性质 / Nekretnina	典型数值 / Tipična vrijednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza多晶,主要为（111）取向
密度 / Gustoća	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdoća	2500 维氏硬度 (500g opterećenje)
晶粒大小 / Veličina zrna	2~10μm
纯度 / Hemijska čistoća	99,99995%
热容 / Toplotni kapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700℃
抗弯强度 / Čvrstoća na savijanje	415 MPa RT 4-tačkasti
杨氏模量 Youngov modul	430 Gpa savijanje od 4pt, 1300℃
导热系数 / TermalProvodljivost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termičko širenje (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy je pravi proizvođač prilagođenih grafitnih i silicijum-karbidnih proizvoda s različitim premazima poput SiC premaza, TaC premaza, premaza od staklastog ugljika, pirolitičkog ugljičnog premaza itd., te može isporučiti razne prilagođene dijelove za poluprovodničku i fotonaponsku industriju.

Naš tehnički tim dolazi iz vodećih domaćih istraživačkih institucija i može vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.

Neprestano razvijamo napredne procese kako bismo obezbijedili još naprednije materijale i razvili smo ekskluzivnu patentiranu tehnologiju koja može učiniti vezu između premaza i podloge čvršćom i manje sklonom odvajanju.

Srdačno vas pozdravljamo da posjetite našu fabriku, hajde da dalje razgovaramo!