Suscepteur cylindrique à revêtement SiC personnalisé

Suscepteur à barilletLe dépôt électrochimique est un composant essentiel des procédés de croissance épitaxiale de semi-conducteurs tels que le dépôt électrochimique en phase vapeur (MOCVD), le dépôt électrochimique en phase vapeur (MBE) et le dépôt électrochimique en phase vapeur (CVD). Il est principalement utilisé pour le transport des plaquettes dans des chambres de réaction à haute température et pour assurer un champ thermique uniforme et stable afin d'assurer un dépôt précis des couches épitaxiales (GaN, SiC, etc.). Sa fonction principale est d'obtenir une grande uniformité de la température de surface des plaquettes grâce à un contrôle précis du champ thermique, garantissant ainsi l'épaisseur, la concentration de dopage et l'uniformité de la structure cristalline des couches minces épitaxiales.

Nous utilisons notre technologie brevetée pour fabriquer lesuscepteur à barilletavec une pureté extrêmement élevée, une bonne uniformité de revêtement et une excellente durée de vie, ainsi que des propriétés de résistance chimique et de stabilité thermique élevées.

VET Energy utilise du graphite de haute pureté avec un revêtement CVD-SiC pour améliorer la stabilité chimique :

1. Matériau en graphite de haute pureté
Conductivité thermique élevée : la conductivité thermique du graphite est trois fois supérieure à celle du silicium, ce qui permet de transférer rapidement la chaleur de la source de chauffage à la plaquette et de raccourcir le temps de chauffage.
Résistance mécanique : densité de graphite sous pression isostatique ≥ 1,85 g/cm³, capable de résister à des températures élevées supérieures à 1200 ℃ sans déformation.

2. Revêtement SiC CVD
Une couche de β-SiC est formée sur la surface du graphite par dépôt chimique en phase vapeur (CVD), avec une pureté ≥ 99,99995 %, l'erreur d'uniformité de l'épaisseur du revêtement est inférieure à ± 5 % et la rugosité de surface est inférieure à Ra0,5 um.

3. Amélioration des performances :
Résistance à la corrosion : peut résister à des gaz hautement corrosifs tels que Cl2, HCl, etc., peut prolonger la durée de vie de l'épitaxie GaN de trois fois dans l'environnement NH3.
Stabilité thermique : Le coefficient de dilatation thermique (4,5 × 10-6/℃) correspond au graphite pour éviter les fissures du revêtement causées par les fluctuations de température.
Dureté et résistance à l'usure : La dureté Vickers atteint 28 GPa, soit 10 fois plus que le graphite et peut réduire le risque de rayures sur les plaquettes.