A oblea de silicio monocristalino de 8 polgadas de VET Energy é unha solución líder na industria para a fabricación de dispositivos electrónicos e semicondutores. Ofrecendo unha pureza e unha estrutura cristalina superiores, estas obleas son ideais para aplicacións de alto rendemento tanto nas industrias fotovoltaica como nos semicondutores. VET Energy garante que cada oblea sexa procesada meticulosamente para cumprir cos estándares máis altos, proporcionando unha excelente uniformidade e un acabado superficial liso, que son esenciais para a produción de dispositivos electrónicos avanzados.
Estas obleas de silicio monocristalino de 8 polgadas son compatibles cunha ampla gama de materiais, incluíndo obleas de Si, substratos de SiC, obleas de SOI, substratos de SiN, e son especialmente axeitadas para o crecemento de obleas Epi. A súa condutividade térmica e propiedades eléctricas superiores convértenas nunha opción fiable para a fabricación de alta eficiencia. Ademais, estas obleas están deseñadas para funcionar sen problemas con materiais como o óxido de galio Ga2O3 e a oblea de AlN, o que ofrece unha ampla gama de aplicacións, desde electrónica de potencia ata dispositivos de RF. As obleas tamén se adaptan perfectamente aos sistemas de casete para entornos de produción automatizados de alto volume.
A liña de produtos de VET Energy non se limita ás obleas de silicio. Tamén ofrecemos unha ampla gama de materiais de substrato semicondutores, incluíndo substrato de SiC, oblea de SOI, substrato de SiN, oblea de Epi, etc., así como novos materiais semicondutores de banda ancha como o óxido de galio Ga2O3 e a oblea de AlN. Estes produtos poden satisfacer as necesidades de aplicación de diferentes clientes en electrónica de potencia, radiofrecuencia, sensores e outros campos.
VET Energy ofrece aos clientes solucións de obleas personalizadas. Podemos personalizar obleas con diferente resistividade, contido de osíxeno, grosor, etc. segundo as necesidades específicas dos clientes. Ademais, tamén ofrecemos asistencia técnica profesional e servizo posvenda para axudar aos clientes a resolver diversos problemas que atopan durante o proceso de produción.
ESPECIFICACIÓNS DE WAFERING
*n-Pm=tipo n grao Pm,n-Ps=tipo n grao Ps,Sl=semi-illlante
| Elemento | 8 polgadas | 6 polgadas | 4 polgadas | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| TTV (GBIR) | ≤6 µm | ≤6 µm | |||
| Arco (GF3YFCD) - Valor absoluto | ≤15 μm | ≤15 μm | ≤25 μm | ≤15 μm | |
| Deformación (GF3YFER) | ≤25 μm | ≤25 μm | ≤40 μm | ≤25 μm | |
| LTV(SBIR)-10 mm x 10 mm | <2 μm | ||||
| Bordo da oblea | Biselado | ||||
ACABADO DA SUPERFICIE
*n-Pm=tipo n grao Pm,n-Ps=tipo n grao Ps,Sl=semi-illlante
| Elemento | 8 polgadas | 6 polgadas | 4 polgadas | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| Acabado superficial | Pulido óptico de dobre cara, CMP Si-Face | ||||
| Rugosidade da superficie | (10 µm x 10 µm) Si-FaceRa≤0,2 nm | (5um x 5um) Ra ≤ 0,2 nm da cara de silicio | |||
| Chips de bordo | Ningún permitido (lonxitude e anchura ≥0,5 mm) | ||||
| Sangrías | Ningún permitido | ||||
| Rasguños (Si-Face) | Cantidade ≤5, acumulativa | Cantidade ≤5, acumulativa | Cantidade ≤5, acumulativa | ||
| Gretas | Ningún permitido | ||||
| Exclusión de bordos | 3 mm | ||||





