Монокристалічна 8-дюймова кремнієва пластина від VET Energy – це провідне галузеве рішення для виготовлення напівпровідникових та електронних пристроїв. Завдяки високій чистоті та кристалічній структурі ці пластини ідеально підходять для високопродуктивних застосувань як у фотоелектричній, так і в напівпровідниковій промисловості. VET Energy гарантує, що кожна пластина ретельно обробляється відповідно до найвищих стандартів, забезпечуючи чудову однорідність та гладку поверхню, що є важливим для виробництва передових електронних пристроїв.
Ці монокристалічні 8-дюймові кремнієві пластини сумісні з низкою матеріалів, включаючи кремнієві пластини, підкладки SiC, пластини SOI, підкладки SiN, і особливо підходять для вирощування пластин Epi. Їхня чудова теплопровідність та електричні властивості роблять їх надійним вибором для високоефективного виробництва. Крім того, ці пластини розроблені для безперебійної роботи з такими матеріалами, як оксид галію Ga2O3 та пластини AlN, пропонуючи широкий спектр застосування від силової електроніки до радіочастотних пристроїв. Пластини також ідеально підходять для касетних систем для високосерійного автоматизованого виробництва.
Асортимент продукції VET Energy не обмежується кремнієвими пластинами. Ми також пропонуємо широкий асортимент напівпровідникових підкладок, включаючи SiC-підкладки, SOI-пластини, SiN-підкладки, Epi-пластини тощо, а також нові широкозонні напівпровідникові матеріали, такі як оксид галію Ga2O3 та AlN-пластини. Ці продукти можуть задовольнити потреби різних клієнтів у силовій електроніці, радіочастотах, датчиках та інших галузях.
VET Energy пропонує клієнтам індивідуальні рішення для виготовлення пластин. Ми можемо виготовляти пластини з різним питомим опором, вмістом кисню, товщиною тощо відповідно до конкретних потреб клієнтів. Крім того, ми також надаємо професійну технічну підтримку та післяпродажне обслуговування, щоб допомогти клієнтам вирішити різні проблеми, що виникають під час виробничого процесу.
ТЕХНІЧНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАФЛЕЙ
*n-Pm=n-тип Pm-класу, n-Ps=n-тип Ps-класу, Sl=напівізоляційний
| Елемент | 8-дюймовий | 6-дюймовий | 4-дюймовий | ||
| нП | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| TTV (GBIR) | ≤6 мкм | ≤6 мкм | |||
| Лук (GF3YFCD) - Абсолютне значення | ≤15 мкм | ≤15 мкм | ≤25 мкм | ≤15 мкм | |
| Деформація (GF3YFER) | ≤25 мкм | ≤25 мкм | ≤40 мкм | ≤25 мкм | |
| LTV (SBIR)-10 мм x 10 мм | <2 мкм | ||||
| Край вафлі | Фасування | ||||
ОБРОБКА ПОВЕРХНІ
*n-Pm=n-тип Pm-класу, n-Ps=n-тип Ps-класу, Sl=напівізоляційний
| Елемент | 8-дюймовий | 6-дюймовий | 4-дюймовий | ||
| нП | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| Оздоблення поверхні | Двостороння оптична поліровка, Si-Face CMP | ||||
| Шорсткість поверхні | (10 мкм x 10 мкм) Si-FaceRa ≤ 0,2 нм | (5 мкм x 5 мкм) Si-Face Ra ≤ 0,2 нм | |||
| Крайові чіпи | Не допускається (довжина та ширина ≥0,5 мм) | ||||
| Відступи | Не дозволено | ||||
| Подряпини (Si-Face) | Кількість ≤5, сукупно | Кількість ≤5, сукупно | Кількість ≤5, сукупно | ||
| Тріщини | Не дозволено | ||||
| Виключення краю | 3 мм | ||||





