La oblea de silicio monocristalino de 8 pulgadas de VET Energy es una solución líder en la industria para la fabricación de semiconductores y dispositivos electrónicos. Con una pureza y estructura cristalina superiores, estas obleas son ideales para aplicaciones de alto rendimiento en las industrias fotovoltaica y de semiconductores. VET Energy garantiza que cada oblea se procesa meticulosamente para cumplir con los más altos estándares, proporcionando una excelente uniformidad y un acabado superficial liso, esenciales para la producción de dispositivos electrónicos avanzados.
Estas obleas de silicio monocristalino de 8 pulgadas son compatibles con diversos materiales, como obleas de silicio, sustratos de SiC, obleas de SOI y sustratos de SiN, y son especialmente adecuadas para el crecimiento de obleas de Epi. Su conductividad térmica y propiedades eléctricas superiores las convierten en una opción fiable para la fabricación de alta eficiencia. Además, están diseñadas para funcionar a la perfección con materiales como el óxido de galio (Ga₂O₃) y las obleas de AlN, ofreciendo una amplia gama de aplicaciones, desde electrónica de potencia hasta dispositivos de radiofrecuencia (RF). Las obleas también se integran perfectamente en sistemas de casete para entornos de producción automatizados de alto volumen.
La línea de productos de VET Energy no se limita a obleas de silicio. También ofrecemos una amplia gama de materiales de sustrato semiconductor, incluyendo sustratos de SiC, obleas de SOI, sustratos de SiN, obleas de Epi, etc., así como nuevos materiales semiconductores de banda ancha, como el óxido de galio (Ga₂O₃) y las obleas de AlN. Estos productos satisfacen las necesidades de aplicaciones de diversos clientes en electrónica de potencia, radiofrecuencia, sensores y otros campos.
VET Energy ofrece soluciones de obleas personalizadas. Podemos personalizar obleas con diferente resistividad, contenido de oxígeno, espesor, etc., según las necesidades específicas del cliente. Además, ofrecemos soporte técnico profesional y servicio posventa para ayudar a los clientes a resolver diversos problemas durante el proceso de producción.
ESPECIFICACIONES DE OBLEAS
*n-Pm=grado Pm tipo n,n-Ps=grado Ps tipo n,Sl=semiaislante
| Artículo | 8 pulgadas | 6 pulgadas | 4 pulgadas | ||
| notario público | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| TTV(GBIR) | ≤6 um | ≤6 um | |||
| Valor absoluto de Bow(GF3YFCD) | ≤15 μm | ≤15 μm | ≤25μm | ≤15 μm | |
| Deformación(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
| LTV(SBIR)-10 mm x 10 mm | <2 μm | ||||
| Borde de oblea | Biselado | ||||
ACABADO SUPERFICIAL
*n-Pm=grado Pm tipo n,n-Ps=grado Ps tipo n,Sl=semiaislante
| Artículo | 8 pulgadas | 6 pulgadas | 4 pulgadas | ||
| notario público | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| Acabado de la superficie | Pulido óptico de doble cara, cara de silicio CMP | ||||
| Rugosidad de la superficie | (10 um x 10 um) Cara de silicio Ra≤0,2 nm | (5umx5um) Cara de silicio Ra≤0,2 nm | |||
| Fichas de borde | No se permite ninguno (largo y ancho ≥0,5 mm) | ||||
| Sangrías | No se permite ninguno | ||||
| Arañazos (Si-Face) | Cantidad ≤ 5, acumulada | Cantidad ≤ 5, acumulada | Cantidad ≤ 5, acumulada | ||
| Grietas | No se permite ninguno | ||||
| Exclusión de bordes | 3 mm | ||||
