단결정 8인치 실리콘 웨이퍼

간단한 설명:

VET Energy의 8인치 단결정 실리콘 웨이퍼는 고순도, 고품질 반도체 기반 소재입니다. VET Energy는 첨단 CZ 성장 공정을 사용하여 웨이퍼의 결정 품질이 우수하고 결함 밀도가 낮으며 균일도가 높아 반도체 소자에 견고하고 신뢰할 수 있는 기판을 제공합니다.


제품 상세 정보

제품 태그

VET 에너지의 단결정 8인치 실리콘 웨이퍼는 반도체 및 전자 소자 제조를 위한 업계 최고의 솔루션입니다. 탁월한 순도와 결정 구조를 제공하는 이 웨이퍼는 태양광 및 반도체 산업의 고성능 애플리케이션에 이상적입니다. VET 에너지는 모든 웨이퍼가 최고 수준의 기준을 충족하도록 정밀하게 가공되어 첨단 전자 소자 생산에 필수적인 탁월한 균일성과 매끄러운 표면 마감을 제공합니다.

이 단결정 8인치 실리콘 웨이퍼는 Si 웨이퍼, SiC 기판, SOI 웨이퍼, SiN 기판 등 다양한 소재와 호환되며, 특히 에피 웨이퍼 성장에 적합합니다. 뛰어난 열전도도와 전기적 특성 덕분에 고효율 제조에 적합한 선택입니다. 또한, 이 웨이퍼는 산화갈륨(Ga2O3) 및 AlN 웨이퍼와 같은 소재와 완벽하게 호환되도록 설계되어 전력 전자 장치부터 RF 장치까지 광범위한 응용 분야에 적합합니다. 또한, 이 웨이퍼는 대량 생산 자동화 환경의 카세트 시스템에도 완벽하게 적합합니다.

VET Energy의 제품 라인은 실리콘 웨이퍼에만 국한되지 않습니다. SiC 기판, SOI 웨이퍼, SiN 기판, Epi 웨이퍼 등 광범위한 반도체 기판 소재는 물론, 산화갈륨(Ga₂O₃) 및 AlN 웨이퍼와 같은 새로운 와이드 밴드갭 반도체 소재도 제공합니다. 이러한 제품들은 전력 전자, 무선 주파수, 센서 등 다양한 분야의 고객 요구를 충족할 수 있습니다.

VET 에너지는 고객에게 맞춤형 웨이퍼 솔루션을 제공합니다. 고객의 특정 요구에 맞춰 저항률, 산소 함량, 두께 등을 다양하게 조절하여 웨이퍼를 맞춤 제작할 수 있습니다. 또한, 생산 과정에서 발생하는 다양한 문제를 해결할 수 있도록 전문적인 기술 지원 및 애프터서비스를 제공합니다.

6장-36절
제6장-35절

웨이퍼링 사양

*n-Pm=n형 Pm등급,n-Ps=n형 Ps등급,Sl=반절연

8인치

6인치

4인치

엔피

n-오후

n-Ps

SI

SI

TTV(GBIR)

≤6um

≤6um

Bow(GF3YFCD)-절대값

≤15μm

≤15μm

≤25μm

≤15μm

워프(GF3YFER)

≤25μm

≤25μm

≤40μm

≤25μm

LTV(SBIR)-10mmx10mm

<2μm

웨이퍼 엣지

베벨링

표면 마감

*n-Pm=n형 Pm등급,n-Ps=n형 Ps등급,Sl=반절연

8인치

6인치

4인치

엔피

n-오후

n-Ps

SI

SI

표면 마감

양면 광학 연마, Si-Face CMP

표면 거칠기

(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm
C-Face Ra≤ 0.5nm

(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm
C-Face Ra≤0.5nm

엣지 칩스

허용되지 않음(길이 및 너비≥0.5mm)

들여쓰기

허용되지 않음

스크래치(Si-Face)

수량≤5,누적
길이≤0.5×웨이퍼 직경

수량≤5,누적
길이≤0.5×웨이퍼 직경

수량≤5,누적
길이≤0.5×웨이퍼 직경

균열

허용되지 않음

에지 제외

3mm

기술_1_2_크기
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