La plaquette de silicium monocristallin de 8 pouces de VET Energy est une solution de pointe pour la fabrication de semi-conducteurs et de dispositifs électroniques. Offrant une pureté et une structure cristalline supérieures, ces plaquettes sont idéales pour les applications hautes performances des secteurs photovoltaïque et des semi-conducteurs. VET Energy garantit un traitement méticuleux de chaque plaquette pour répondre aux normes les plus strictes, offrant une excellente uniformité et un fini de surface lisse, essentiels à la production de dispositifs électroniques de pointe.
Ces plaquettes de silicium monocristallin de 8 pouces sont compatibles avec une large gamme de matériaux, notamment les plaquettes de silicium, les substrats de silicium (SiC), les plaquettes de silicium sur isolant (SOI) et les substrats de silicium (SiN), et sont particulièrement adaptées à la croissance des plaquettes épitaxiales. Leur conductivité thermique et leurs propriétés électriques supérieures en font un choix fiable pour une fabrication à haut rendement. De plus, ces plaquettes sont conçues pour fonctionner parfaitement avec des matériaux tels que l'oxyde de gallium Ga₂O₃ et les plaquettes d'AlN, offrant ainsi un large éventail d'applications, de l'électronique de puissance aux dispositifs RF. Elles s'intègrent également parfaitement aux systèmes à cassettes pour les environnements de production automatisée à grande échelle.
La gamme de produits de VET Energy ne se limite pas aux plaquettes de silicium. Nous proposons également une large gamme de substrats semi-conducteurs, notamment des substrats SiC, SOI, SiN, Epi, etc., ainsi que de nouveaux matériaux semi-conducteurs à large bande interdite comme l'oxyde de gallium Ga₂O₃ et les plaquettes d'AlN. Ces produits répondent aux besoins applicatifs de différents clients dans les domaines de l'électronique de puissance, des radiofréquences, des capteurs et autres.
VET Energy propose à ses clients des solutions de plaquettes personnalisées. Nous pouvons personnaliser les plaquettes avec différentes résistivités, teneurs en oxygène, épaisseurs, etc., selon les besoins spécifiques de nos clients. De plus, nous offrons un support technique professionnel et un service après-vente pour aider nos clients à résoudre les divers problèmes rencontrés lors de la production.
SPÉCIFICATIONS DE DÉCAPAGE
*n-Pm=type n de qualité Pm,n-Ps=type n de qualité Ps,Sl=semi-isolant
| Article | 8 pouces | 6 pouces | 4 pouces | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| TTV (GBIR) | ≤ 6 µm | ≤ 6 µm | |||
| Arc (GF3YFCD) - Valeur absolue | ≤15 μm | ≤15 μm | ≤ 25 μm | ≤15 μm | |
| Déformation (GF3YFER) | ≤ 25 μm | ≤ 25 μm | ≤ 40 μm | ≤ 25 μm | |
| LTV (SBIR)-10 mm x 10 mm | <2 μm | ||||
| Bord de plaquette | Biseautage | ||||
FINITION DE SURFACE
*n-Pm=type n de qualité Pm,n-Ps=type n de qualité Ps,Sl=semi-isolant
| Article | 8 pouces | 6 pouces | 4 pouces | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| Finition de surface | Polissage optique double face, Si-Face CMP | ||||
| Rugosité de surface | (10 µm x 10 µm) Si-FaceRa≤0,2 nm | (5 µm x 5 µm) Face Si Ra ≤ 0,2 nm | |||
| Chips de bord | Aucun autorisé (longueur et largeur ≥ 0,5 mm) | ||||
| Retraits | Aucun permis | ||||
| Rayures (Si-Face) | Qté ≤ 5, Cumulatif | Qté ≤ 5, Cumulatif | Qté ≤ 5, Cumulatif | ||
| Fissures | Aucun permis | ||||
| Exclusion des bords | 3 mm | ||||
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