Suscettore in grafite rivestito in carburo di silicio per incisione LED

Breve descrizione:

Il suscettore in carburo di silicio per l'incisione di LED (vassoio SiC) è un accessorio speciale per l'incisione profonda del silicio (macchina per incisione ICP). Il supporto per wafer, noto anche come wafer carrier, è un supporto per wafer in silicio, noto anche come wafer tascabile. Ampiamente utilizzato nella deposizione CVD (deposizione chimica continua) di semiconduttori e nello sputtering sotto vuoto.


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Il suscettore rivestito in carburo di silicio èa chiavecomponente utilizzato in vari processi di produzione di semiconduttori.Utilizziamo la nostra tecnologia brevettata per realizzare il suscettore rivestito in carburo di silicio conpurezza estremamente elevata,Benerivestimentouniformitàe un'eccellente durata di vita, così comeelevate proprietà di resistenza chimica e stabilità termica.

VET Energy è ILvero produttore di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con rivestimento CVD,può fornirevaricomponenti personalizzati per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico. Oil nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali e può fornire soluzioni di materiali più professionaliper te.

Sviluppiamo continuamente processi avanzati per fornire materiali più avanzati,Ehanno elaborato una tecnologia esclusiva e brevettata, in grado di rendere l'adesione tra il rivestimento e il substrato più salda e meno soggetta a distacco.

Fcaratteristiche dei nostri prodotti:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700°C.
2. Elevata purezza euniformità termica
3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.
4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
5. Maggiore durata e resistenza

malattie cardiovascolari SiC薄膜基本物理性能

Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento

性质 / Proprietà

典型数值 / Valore tipico

晶体结构 / Struttura cristallina

Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Densità

3,21 g/cm³

硬度 / Durezza

2500 tonnellate di carico (carico da 500 g)

晶粒大小 / Granulometria

2~10μm

纯度 / Purezza chimica

99,99995%

热容 / Capacità termica

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura di sublimazione

2700℃

抗弯强度 / Resistenza alla flessione

415 MPa RT 4 punti

杨氏模量 / Modulo di Young

430 Gpa 4pt curva, 1300℃

导热系数 / ThermalConduttività

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Espansione termica (CTE)

4,5×10-6K-1

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2

Vi invitiamo calorosamente a visitare la nostra fabbrica, per approfondire la questione!

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