Supporto in grafite rivestito in carburo di silicio per incisione di LED

Supporto in grafite rivestito in carburo di silicio per incisione LED (immagine in evidenza)

Breve descrizione:

Il supporto in carburo di silicio per l'incisione di LED (vassoio SiC) è un accessorio speciale per l'incisione profonda del silicio (macchina per incisione ICP). Il supporto per wafer, noto anche come supporto per wafer, supporto per wafer di silicio o wafer tascabile, è ampiamente utilizzato nella deposizione chimica da fase vapore (CVD) e nello sputtering sottovuoto dei semiconduttori.

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Il suscettore rivestito in carburo di silicio èa chiavecomponente utilizzato in diversi processi di produzione di semiconduttori.Utilizziamo la nostra tecnologia brevettata per realizzare il suscettore rivestito in carburo di silicio conpurezza estremamente elevata,Benerivestimentouniformitàe un'eccellente durata di servizio, così comeelevate proprietà di resistenza chimica e stabilità termica.

VETF Energy è ILvero produttore di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con rivestimento CVD,può fornirevariComponenti personalizzati per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico. OIl nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali ed è in grado di fornire soluzioni materiali più professionali.per te.

Sviluppiamo continuamente processi avanzati per fornire materiali più avanzati,Ehanno sviluppato una tecnologia brevettata esclusiva, in grado di rendere l'adesione tra il rivestimento e il substrato più forte e meno soggetta al distacco.

FCaratteristiche dei nostri prodotti:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700 °C°C.
2. Elevata purezza euniformità termica
3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sali e reagenti organici.
4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
5. Maggiore durata e maggiore resistenza

Malattia cardiovascolare SiC薄膜基本物理性能 Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento
性质 / Proprietà	典型数值 / Valore tipico
晶体结构 / Struttura cristallina	Fase β FCC多晶,主要为（111）取向
密度 / Densità	3,21 g/cm³
硬度 / Durezza	2500 tonnellate di carico (carico da 500 g)
晶粒大小 / Dimensione del grano	2~10μm
纯度 / Purezza chimica	99,99995%
热容 / Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura di sublimazione	2700℃
抗弯强度 / Resistenza alla flessione	415 MPa RT 4 punti
杨氏模量 Modulo di Young	430 GPa piegatura a 4 punti, 1300℃
导热系数 / ThermalConduttività	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Dilatazione termica (CTE)	4,5×10^-6K^-1