Yang LanjutanDayung Cantilever SiCuntuk Pemprosesan Wafer yang dihasilkan oleh vet-china menyediakan penyelesaian yang sangat baik untuk pembuatan semikonduktor. Dayung kantilever ini diperbuat daripada bahan SiC (silikon karbida), dan kekerasan serta rintangan haba yang tinggi membolehkannya mengekalkan prestasi cemerlang dalam suhu tinggi dan persekitaran menghakis. Reka bentuk Dayung Kantilever membolehkan wafer disokong dengan andal semasa pemprosesan, sekali gus mengurangkan risiko pemecahan dan kerosakan.
Dayung Cantilever SiCmerupakan komponen khusus yang digunakan dalam peralatan pembuatan semikonduktor seperti relau pengoksidaan, relau resapan dan relau penyepuhlindapan, kegunaan utamanya adalah untuk pemuatan dan pemunggahan wafer, menyokong dan mengangkut wafer semasa proses suhu tinggi.
Struktur biasadaripadaSiCcantileverpaddle: Struktur kantilever, yang dipasang pada satu hujung dan bebas di hujung yang lain, biasanya mempunyai reka bentuk yang rata dan seperti dayung.
VET Energy menggunakan bahan silikon karbida terhablur semula dengan ketulenan tinggi untuk menjamin kualiti.
| Sifat fizikal Silikon Karbida Terhablur Semula | |
| Hartanah | Nilai Lazim |
| Suhu kerja (°C) | 1600°C (dengan oksigen), 1700°C (persekitaran pengurangan) |
| Kandungan SiC | > 99.96% |
| Kandungan Si percuma | < 0.1% |
| Ketumpatan pukal | 2.60-2.70 g/cm3 |
| Keliangan yang ketara | < 16% |
| Kekuatan mampatan | > 600MPa |
| Kekuatan lenturan sejuk | 80-90 MPa (20°C) |
| Kekuatan lenturan panas | 90-100 MPa (1400°C) |
| Pengembangan haba @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Kekonduksian terma @1200°C | 23W/m•K |
| Modulus elastik | 240 GPa |
| Rintangan kejutan haba | Sangat bagus |
Kelebihan Dayung Cantilever SiC Termaju VET Energy untuk Pemprosesan Wafer adalah:
-Kestabilan suhu tinggi: boleh digunakan dalam persekitaran melebihi 1600°C;
-Pekali pengembangan haba yang rendah: mengekalkan kestabilan dimensi, mengurangkan risiko lengkungan wafer;
-Ketulenan tinggi: risiko pencemaran logam yang lebih rendah;
-Ketidakaktifan kimia: tahan kakisan, sesuai untuk pelbagai persekitaran gas;
-Kekuatan dan kekerasan yang tinggi: Tahan haus, jangka hayat yang panjang;
-Kekonduksian terma yang baik: membantu dalam pemanasan wafer yang seragam.
