Aangepaste SiC-gecoate vat-susceptor

Vat-susceptorIs een kerncomponent in epitaxiale groeiprocessen voor halfgeleiders, zoals MOCVD, MBE en CVD. Het wordt voornamelijk gebruikt om wafers in reactiekamers met hoge temperaturen te dragen en een uniforme en stabiele thermische omgeving te creëren om een ​​nauwkeurige afzetting van epitaxiale lagen (zoals GaN, SiC, enz.) te garanderen. De kernfunctie is het bereiken van een hoge uniformiteit van de waferoppervlaktetemperatuur door middel van nauwkeurige thermische veldregeling, waardoor de dikte, doteringsconcentratie en uniformiteit van de kristalstructuur van epitaxiale dunne films worden gewaarborgd.

Wij gebruiken onze gepatenteerde technologie om devat susceptormet een extreem hoge zuiverheid, een goede uniformiteit van de coating en een uitstekende levensduur, evenals hoge chemische bestendigheid en thermische stabiliteitseigenschappen.

VET Energy gebruikt grafiet met een hoge zuiverheidsgraad en een CVD-SiC-coating om de chemische stabiliteit te verbeteren:

1. Grafietmateriaal met hoge zuiverheid
Hoge thermische geleidbaarheid: de thermische geleidbaarheid van grafiet is drie keer zo hoog als die van silicium. Hierdoor kan warmte snel van de verwarmingsbron naar de wafer worden overgedragen en wordt de verwarmingstijd verkort.
Mechanische sterkte: Isostatische druk, grafietdichtheid ≥ 1,85 g/cm³, bestand tegen hoge temperaturen boven 1200 ℃ zonder vervorming.

2. CVD SiC-coating
Een β-SiC-laag wordt op het oppervlak van grafiet gevormd door chemische dampdepositie (CVD), met een zuiverheid van ≥ 99,99995%, de uniformiteitsfout van de laagdikte is minder dan ±5% en de oppervlakteruwheid is minder dan Ra0,5um.

3. Prestatieverbetering:
Corrosiebestendigheid: kan bestand zijn tegen zeer corrosieve gassen zoals Cl2, HCl, enz., en kan de levensduur van GaN-epitaxie in een NH3-omgeving met een factor drie verlengen.
Thermische stabiliteit: De thermische uitzettingscoëfficiënt (4,5 × 10-6/℃) komt overeen met die van grafiet, waardoor scheuren in de coating door temperatuurschommelingen worden voorkomen.
Hardheid en slijtvastheid: De Vickers-hardheid bedraagt ​​28 GPa, wat 10 keer hoger is dan grafiet en het risico op krassen op de wafer kan verminderen.