Vatvormige susceptorHet is een essentieel onderdeel in epitaxiale halfgeleidergroeiprocessen zoals MOCVD, MBE en CVD. Het wordt voornamelijk gebruikt om wafers in reactiekamers met hoge temperaturen te transporteren en een uniform en stabiel thermisch veld te creëren, waardoor een nauwkeurige afzetting van epitaxiale lagen (zoals GaN, SiC, enz.) wordt gewaarborgd. De kernfunctie is het bereiken van een hoge uniformiteit van de waferoppervlaktetemperatuur door middel van nauwkeurige thermische veldregeling, waardoor de dikte, doteringsconcentratie en kristalstructuuruniformiteit van de epitaxiale dunne films worden gegarandeerd.
We gebruiken onze gepatenteerde technologie om devat susceptormet een extreem hoge zuiverheid, goede coatinguniformiteit en een uitstekende levensduur, evenals hoge chemische bestendigheid en thermische stabiliteit.
VET Energy gebruikt zeer zuiver grafiet met een CVD-SiC-coating om de chemische stabiliteit te verbeteren:
1. Grafietmateriaal met een hoge zuiverheid
Hoge thermische geleidbaarheid: de thermische geleidbaarheid van grafiet is drie keer zo hoog als die van silicium, waardoor warmte snel van de warmtebron naar de wafer kan worden overgedragen en de opwarmtijd wordt verkort.
Mechanische sterkte: Isostatische druk grafietdichtheid ≥ 1,85 g/cm³, bestand tegen hoge temperaturen boven 1200 ℃ zonder vervorming.
2. CVD SiC-coating
Op het oppervlak van grafiet wordt een β-SiC-laag gevormd door middel van chemische dampafzetting (CVD), met een zuiverheid van ≥ 99,99995%, een uniformiteitsfout van de laagdikte van minder dan ±5% en een oppervlakteruwheid van minder dan Ra0,5 µm.
3. Prestatieverbetering:
Corrosiebestendigheid: bestand tegen zeer corrosieve gassen zoals Cl2, HCl, enz., waardoor de levensduur van GaN-epitaxie in een NH3-omgeving tot drie keer wordt verlengd.
Thermische stabiliteit: De thermische uitzettingscoëfficiënt (4,5 × 10⁻⁶/℃) is afgestemd op die van grafiet om scheurvorming in de coating als gevolg van temperatuurschommelingen te voorkomen.
Hardheid en slijtvastheid: De Vickers-hardheid bereikt 28 GPa, wat 10 keer hoger is dan die van grafiet en het risico op krassen op de wafer kan verminderen.
| Hart- en vaatziekten SiC薄膜基本物理性能 Basis fysische eigenschappen van CVD SiCcoating | |
| 性质 / Eigendom | 典型数值 / Typische waarde |
| Ik denk dat dit het geval is / Kristalstructuur | FCC β-fase多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Dikte | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hardheid | 2500 维氏硬度(500g belasting) |
| 晶粒大小 / Korrelgrootte | 2~10 μm |
| 纯度 / Chemische zuiverheid | 99,99995% |
| 热容 / Warmtecapaciteit | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimatietemperatuur | 2700℃ |
| Geen probleem / Buigsterkte | 415 MPa RT 4-punts |
| 杨氏模量 / Young's modulus | 430 GPA 4-punts buiging, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalGeleidbaarheid | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Thermische uitzetting (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd is een hightechbedrijf dat zich richt op de ontwikkeling en productie van hoogwaardige, geavanceerde materialen. De materialen en technologieën omvatten grafiet, siliciumcarbide, keramiek en oppervlaktebehandelingen zoals SiC-coating, TaC-coating, glasachtige koolstofcoating, pyrolytische koolstofcoating, enz. Deze producten worden veelvuldig gebruikt in de fotovoltaïsche sector, halfgeleiders, nieuwe energiebronnen, metallurgie, enz.
Ons technische team is afkomstig van vooraanstaande binnenlandse onderzoeksinstellingen en heeft meerdere gepatenteerde technologieën ontwikkeld om de prestaties en kwaliteit van onze producten te garanderen. Daarnaast kunnen we klanten professionele materiaaloplossingen bieden.
