سلڪون ڪاربائيڊ ڪرسٽل گروٿ فرنس جون ٽيڪنيڪل مشڪلاتون ڪهڙيون آهن؟

ڪرسٽل گروٿ فرنس بنيادي سامان آهيسلڪون ڪاربائيڊڪرسٽل جي واڌ ويجهه. اهو روايتي ڪرسٽل سلڪون گريڊ ڪرسٽل جي واڌ ويجهه واري فرنس وانگر آهي. فرنس جي جوڙجڪ تمام پيچيده نه آهي. اهو بنيادي طور تي فرنس باڊي، حرارتي نظام، ڪوئل ٽرانسميشن ميڪانيزم، ويڪيوم حاصل ڪرڻ ۽ ماپڻ وارو نظام، گئس رستو نظام، کولنگ سسٽم، ڪنٽرول سسٽم، وغيره تي مشتمل آهي. حرارتي ميدان ۽ عمل جون حالتون اهم اشارن جو تعين ڪن ٿيون.سلڪون ڪاربائيڊ ڪرسٽلجهڙوڪ معيار، سائيز، چالکائي ۽ انهي تي.

هڪ پاسي، واڌ جي دوران گرمي پدسلڪون ڪاربائيڊ ڪرسٽلتمام گهڻو آهي ۽ ان جي نگراني نه ٿي ڪري سگهجي. تنهن ڪري، مکيه ڏکيائي عمل ۾ ئي آهي. مکيه ڏکيائيون هن ريت آهن:

(1) حرارتي ميدان جي ڪنٽرول ۾ ڏکيائي:

بند ٿيل اعليٰ درجه حرارت واري گفا جي نگراني ڏکيو ۽ بي قابو آهي. روايتي سلڪون تي ٻڌل حل ڊائريڪٽ پل ڪرسٽل گروٿ سامان کان مختلف، جنهن ۾ اعليٰ درجي جي آٽوميشن ۽ مشاهدي ۽ ڪنٽرول ٿيندڙ ڪرسٽل گروٿ جي عمل سان، سلڪون ڪاربائيڊ ڪرسٽل 2,000 ℃ کان مٿي اعليٰ درجه حرارت واري ماحول ۾ بند جاءِ تي وڌندا آهن، ۽ پيداوار دوران واڌ جي درجه حرارت کي صحيح طور تي ڪنٽرول ڪرڻ جي ضرورت آهي، جيڪو گرمي پد کي ڪنٽرول ڪرڻ ڏکيو بڻائي ٿو؛

(2) ڪرسٽل فارم ڪنٽرول ۾ ڏکيائي:

مائڪرو پائپ، پوليمورفڪ انڪلوشن، ڊسلوڪيشن ۽ ٻيا نقص واڌ ويجهه جي عمل دوران ٿيڻ جو امڪان آهن، ۽ اهي هڪ ٻئي تي اثر انداز ٿين ٿا ۽ ارتقا ڪن ٿا. مائڪرو پائپ (ايم پي) ٿرو ٽائپ خرابيون آهن جن جي سائيز ڪيترن ئي مائڪرون کان ڏهه مائڪرون تائين آهي، جيڪي ڊوائيسز جا قاتل نقص آهن. سلڪون ڪاربائيڊ سنگل ڪرسٽل ۾ 200 کان وڌيڪ مختلف ڪرسٽل فارم شامل آهن، پر صرف ڪجهه ڪرسٽل ڍانچي (4H قسم) پيداوار لاءِ گهربل سيمي ڪنڊڪٽر مواد آهن. واڌ ويجهه جي عمل دوران ڪرسٽل فارم جي تبديلي ٿيڻ آسان آهي، جنهن جي نتيجي ۾ پوليمورفڪ انڪلوشن خرابيون پيدا ٿين ٿيون. تنهن ڪري، سلڪون-ڪاربن تناسب، واڌ جي درجه حرارت جي گريڊينٽ، ڪرسٽل جي واڌ جي شرح، ۽ هوا جي وهڪري جي دٻاءُ جهڙن پيرا ميٽرز کي صحيح طور تي ڪنٽرول ڪرڻ ضروري آهي. ان کان علاوه، سلڪون ڪاربائيڊ سنگل ڪرسٽل جي واڌ جي حرارتي ميدان ۾ هڪ گرمي پد جي گريڊينٽ آهي، جيڪو ڪرسٽل جي واڌ جي عمل دوران مقامي اندروني دٻاءُ ۽ نتيجي ۾ پيدا ٿيندڙ ڊسلوڪيشن (بيسل پلین ڊسلوڪيشن بي پي ڊي، اسڪرو ڊسلوڪيشن ٽي ايس ڊي، ايج ڊسلوڪيشن ٽي اي ڊي) ڏانهن وٺي ٿو، جنهن جي ڪري بعد ۾ ايپيٽيڪسي ۽ ڊوائيسز جي معيار ۽ ڪارڪردگي متاثر ٿئي ٿي.

(3) مشڪل ڊوپنگ ڪنٽرول:

هدايتي ڊوپنگ سان هڪ ڪنڊڪٽو ڪرسٽل حاصل ڪرڻ لاءِ ٻاهرين نجاستن جي تعارف کي سختي سان ڪنٽرول ڪيو وڃي؛

(4) سست واڌ جي شرح:

سلڪون ڪاربائيڊ جي واڌ جي شرح تمام سست آهي. روايتي سلڪون مواد کي ڪرسٽل راڊ ۾ وڌڻ لاءِ صرف 3 ڏينهن جي ضرورت آهي، جڏهن ته سلڪون ڪاربائيڊ ڪرسٽل راڊ کي 7 ڏينهن جي ضرورت آهي. اهو قدرتي طور تي سلڪون ڪاربائيڊ جي پيداوار جي ڪارڪردگي گهٽ ۽ تمام محدود پيداوار جي طرف وٺي ٿو.

ٻئي طرف، سلڪون ڪاربائيڊ ايپيٽڪسيل واڌ جا پيرا ميٽر انتهائي گهربل آهن، جن ۾ سامان جي هوا جي تنگي، رد عمل چيمبر ۾ گئس جي دٻاءُ جي استحڪام، گئس جي تعارف جي وقت جو صحيح ڪنٽرول، گئس جي تناسب جي درستگي، ۽ جمع ٿيڻ جي درجه حرارت جو سخت انتظام شامل آهن. خاص طور تي، ڊوائيس جي وولٽيج مزاحمت جي سطح جي بهتري سان، ايپيٽڪسيل ويفر جي بنيادي پيرا ميٽرز کي ڪنٽرول ڪرڻ جي مشڪل ۾ خاص طور تي اضافو ٿيو آهي. ان کان علاوه، ايپيٽڪسيل پرت جي ٿلهي ۾ واڌ سان، مزاحمت جي هڪجهڙائي کي ڪيئن ڪنٽرول ڪجي ۽ ٿلهي کي يقيني بڻائيندي عيب جي کثافت کي ڪيئن گهٽجي، هڪ ٻيو وڏو چئلينج بڻجي ويو آهي. برقي ڪنٽرول سسٽم ۾، اهو ضروري آهي ته اعليٰ درستگي واري سينسر ۽ ايڪٽيوٽرز کي ضم ڪيو وڃي ته جيئن مختلف پيرا ميٽرز کي صحيح ۽ مستحڪم طور تي منظم ڪري سگهجي. ساڳئي وقت، ڪنٽرول الگورتھم جي اصلاح پڻ اهم آهي. ان کي سلڪون ڪاربائيڊ ايپيٽڪسيل واڌ جي عمل ۾ مختلف تبديلين کي اپنائڻ لاءِ فيڊ بيڪ سگنل جي مطابق حقيقي وقت ۾ ڪنٽرول حڪمت عملي کي ترتيب ڏيڻ جي قابل هجڻ جي ضرورت آهي.

مکيه مشڪلاتونسلڪون ڪاربائيڊ سبسٽريٽپيداوار: