Sebōpi sa kholo ea kristale ke sesebelisoa sa bohlokoa bakeng sakhabide ea siliconkgolo ya kristale. E tshwana le sebopi sa kristale sa silicon sa kristale sa setso. Sebopeho sa sebopi ha se rarahane haholo. Se bopilwe haholo ka mmele wa sebopi, sistimi ya ho futhumatsa, mokgwa wa phetisetso ya dikhoele, sistimi ya ho fumana le ho lekanya ka vacuum, sistimi ya tsela ya kgase, sistimi ya ho phodisa, sistimi ya taolo, jj. Masimo a mocheso le maemo a tshebetso di kgetha matshwao a bohlokwa akristale ea silicon carbidejoalo ka boleng, boholo, ho tsamaisa motlakase le tse ling.
Ka lehlakoreng le leng, mocheso nakong ea kholo eakristale ea silicon carbidee phahame haholo 'me e ke ke ea hlokomeloa. Ka hona, bothata bo boholo bo ts'ebetsong ka boeona. Mathata a maholo ke a latelang:
(1) Bothata ba taolo ea matla a mocheso:
Ho beha leihlo lesoba la mocheso o phahameng le koetsoeng ho thata ebile ha ho laolehe. Ho fapana le lisebelisoa tsa setso tsa kholo ea kristale tse thehiloeng ho silicon tse hulang ka kotloloho tse nang le tekanyo e phahameng ea boiketsetso le ts'ebetso ea kholo ea kristale e bonoang le e laoloang, likristale tsa silicon carbide li hola sebakeng se koetsoeng tikolohong ea mocheso o phahameng ka holimo ho 2,000℃, 'me mocheso oa kholo o hloka ho laoloa ka nepo nakong ea tlhahiso, e leng se etsang hore taolo ea mocheso e be thata;
(2) Bothata ba taolo ea sebopeho sa kristale:
Li-micropipe, ho kenyeletsoa ha polymorphic, ho arohana ha dislocation le diphoso tse ding di atisa ho hlaha nakong ya tshebetso ya kgolo, mme di a ama le ho fetoha. Li-micropipe (MP) ke diphoso tsa mofuta o fetang ka boholo ba di-micron tse mmalwa ho isa ho tse mashome a di-micron, e leng diphoso tse bolayang tsa disebediswa. Dikristale tse le nngwe tsa silicon carbide di kenyelletsa mefuta e fetang 200 e fapaneng ya kristale, empa ke meaho e mmalwa feela ya kristale (mofuta wa 4H) e leng thepa ya semiconductor e hlokahalang bakeng sa tlhahiso. Phetoho ya sebopeho sa kristale e bonolo ho etsahala nakong ya tshebetso ya kgolo, e leng se fellang ka diphoso tsa ho kenyeletswa ha polymorphic. Ka hona, ho hlokahala ho laola ka nepo diparamente tse kang karolelano ya silicon-carbon, gradient ya mocheso wa kgolo, sekgahla sa kgolo ya kristale, le kgatello ya phallo ya moya. Ho phaella moo, ho na le gradient ya mocheso tshimong ya mocheso wa kgolo ya kristale e le nngwe ya silicon carbide, e leng se lebisang kgatellong ya ka hare ya tlhaho le ho arohana ho hlahang (basal plane dislocation BPD, screw dislocation TSD, edge dislocation TED) nakong ya tshebetso ya kgolo ya kristale, ka hona e ama boleng le tshebetso ya epitaxy le disebediswa tse latelang.
(3) Taolo e thata ea lithethefatsi tse sebelisoang ka lithethefatsi:
Ho kenngoa ha litšila tsa kantle ho tlameha ho laoloa ka thata ho fumana kristale e tsamaisang motlakase e nang le doping e tataisang;
(4) Sekhahla sa kgolo se liehang:
Sekgahla sa kgolo ya silicon carbide se dieha haholo. Disebediswa tsa silicon tsa setso di hloka matsatsi a 3 feela ho hola ho ba molamu wa kristale, ha dithupa tsa kristale tsa silicon carbide di hloka matsatsi a 7. Sena se lebisa bokgoning bo tlase ba tlhahiso ya silicon carbide le tlhahiso e fokolang haholo.
Ka lehlakoreng le leng, diparamente tsa kgolo ya epitaxial ya silicon carbide di batla haholo, ho kenyeletswa ho tiya ha moya ha disebediswa, botsitso ba kgatello ya kgase ka phapusing ya karabelo, taolo e nepahetseng ya nako ya kenyelletso ya kgase, ho nepahala ha karolelano ya kgase, le taolo e tiileng ya mocheso wa ho bewa. Haholo-holo, ka ntlafatso ya boemo ba kganyetso ya motlakase wa sesebediswa, bothata ba ho laola diparamente tsa mantlha tsa wafer ya epitaxial bo eketsehile haholo. Ho feta moo, ka keketseho ya botenya ba lera la epitaxial, mokhoa wa ho laola ho tshwana ha resistivity le ho fokotsa bongata ba sekoli ha o ntse o netefatsa botenya e se e le phephetso e nngwe e kgolo. Sistiming ya taolo ya motlakase, ho hlokahala ho kopanya di-sensor le di-actuator tse nepahetseng haholo ho netefatsa hore diparamente tse fapaneng di ka laolwa ka nepo le ka botsitso. Ka nako e ts'oanang, ntlafatso ya algorithm ya taolo le yona e bohlokwa. E hloka ho kgona ho fetola leano la taolo ka nako ya sebele ho latela letshwao la karabelo ho ikamahanya le diphetoho tse fapaneng tshebetsong ya kgolo ya epitaxial ya silicon carbide.
Mathata a maholo hosubstrate ea silicon carbidetlhahiso:
Nako ea poso: Phuptjane-07-2024