كىرىستال ئۆستۈرۈش ئوچىقى ئاساسلىق ئۈسكۈنەكرېمنىي كاربىدىكىرىستال ئۆسۈش. ئۇ ئەنئەنىۋى كىرىستال كرېمنىي دەرىجىلىك كىرىستال ئۆسۈش ئوچىقىغا ئوخشايدۇ. ئوچاقنىڭ قۇرۇلمىسى ئانچە مۇرەككەپ ئەمەس. ئۇ ئاساسلىقى ئوچاق گەۋدىسى، ئىسسىتىش سىستېمىسى، سىم يەتكۈزۈش مېخانىزمى، ۋاكۇئۇم ئېلىش ۋە ئۆلچەش سىستېمىسى، گاز يولى سىستېمىسى، سوۋۇتۇش سىستېمىسى، كونترول سىستېمىسى قاتارلىقلاردىن تەركىب تاپقان. ئىسسىقلىق مەيدانى ۋە جەريان شارائىتى ئاساسلىق كۆرسەتكۈچلەرنى بەلگىلەيدۇ.كرېمنىي كاربىد كرىستالىمەسىلەن، سۈپەت، چوڭ-كىچىكلىك، ئۆتكۈزۈشچانلىقى قاتارلىقلار.
بىر تەرەپتىن، ئۆسۈش جەريانىدىكى تېمپېراتۇراكرېمنىي كاربىد كرىستالىئىنتايىن يۇقىرى بولۇپ، نازارەت قىلغىلى بولمايدۇ. شۇڭا، ئاساسلىق قىيىنچىلىق جەرياننىڭ ئۆزىدە. ئاساسلىق قىيىنچىلىقلار تۆۋەندىكىچە:
(1) ئىسسىقلىق مەيدانىنى كونترول قىلىشتىكى قىيىنچىلىق:
يېپىق يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق بوشلۇقنى نازارەت قىلىش تەس ۋە كونترول قىلغىلى بولمايدۇ. يۇقىرى دەرىجىلىك ئاپتوماتلاشتۇرۇش ۋە كۆزىتىلىدىغان ۋە كونترول قىلغىلى بولىدىغان كرىستال ئۆسۈش جەريانىغا ئىگە ئەنئەنىۋى كرېمنىي ئاساسلىق ئېرىتمە بىۋاسىتە تارتىش كرىستال ئۆستۈرۈش ئۈسكۈنىسىدىن پەرقلىق ھالدا، كرېمنىي كاربىد كرىستاللىرى 2000 سېلسىيە گرادۇستىن يۇقىرى يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق مۇھىتتا يېپىق بوشلۇقتا ئۆسىدۇ، ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ئۆسۈش تېمپېراتۇرىسىنى ئېنىق كونترول قىلىش كېرەك، بۇ تېمپېراتۇرىنى كونترول قىلىشنى قىيىنلاشتۇرىدۇ؛
(2) كىرىستال شەكلىنى كونترول قىلىشتىكى قىيىنچىلىق:
مىكرو تۇرۇبا، كۆپ شەكىللىك قوشۇلۇش، چىقىش ۋە باشقا نۇقسانلار ئۆسۈش جەريانىدا ئاسانلا پەيدا بولىدۇ، ئۇلار بىر-بىرىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ ۋە تەرەققىي قىلىدۇ. مىكرو تۇرۇبا (MP) بىر قانچە مىكروندىن ئون نەچچە مىكرونغىچە بولغان چوڭلۇقتىكى ئۆتۈشمە نۇقسانلار بولۇپ، ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئۆلۈمگە ئېلىپ بارىدىغان نۇقسانلىرى. كرېمنىي كاربىد يەككە كىرىستاللىرى 200 دىن ئارتۇق خىل كىرىستال شەكلىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ، ئەمما ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن لازىم بولغان يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللار پەقەت بىر قانچە كىرىستال قۇرۇلمىسى (4H تىپلىق) دۇر. ئۆسۈش جەريانىدا كىرىستال شەكلىنىڭ ئۆزگىرىشى ئاسانلا يۈز بېرىدۇ، بۇنىڭ نەتىجىسىدە كۆپ شەكىللىك قوشۇلۇش نۇقسانلىرى كېلىپ چىقىدۇ. شۇڭا، كرېمنىي-كاربون نىسبىتى، ئۆسۈش تېمپېراتۇرىسى گرادىيېنتى، كرىستال ئۆسۈش سۈرئىتى ۋە ھاۋا ئېقىمى بېسىمى قاتارلىق پارامېتىرلارنى توغرا كونترول قىلىش كېرەك. بۇنىڭدىن باشقا، كرېمنىي كاربىد يەككە كىرىستال ئۆسۈشىنىڭ ئىسسىقلىق مەيدانىدا تېمپېراتۇرا گرادىيېنتى بار، بۇ كرىستال ئۆسۈش جەريانىدا يەرلىك ئىچكى بېسىم ۋە نەتىجىدە پەيدا بولغان چىقىش (BPD ئاساسىي تۈزلەڭلىك چىقىش، TSD ۋىنت چىقىش، TED گىرۋەك چىقىش) نى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، بۇ ئارقىلىق كېيىنكى ئېپىتاكسىيە ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ سۈپىتى ۋە ئىقتىدارىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ.
(3) قىيىن دوپ كونترولى:
يۆنىلىشلىك قوشۇلما بىلەن ئۆتكۈزگۈچ كرىستال ئېلىش ئۈچۈن، سىرتقى ئارىلاشمىلارنىڭ كىرىشىنى قاتتىق كونترول قىلىش كېرەك؛
(4) ئاستا ئېشىش سۈرئىتى:
كرېمنىي كاربىدنىڭ ئۆسۈش سۈرئىتى ناھايىتى ئاستا. ئەنئەنىۋى كرېمنىي ماتېرىياللىرىنىڭ كىرىستال تاياقچىغا ئايلىنىشى ئۈچۈن پەقەت 3 كۈنلا ۋاقىت كېتىدۇ، كرېمنىي كاربىد كىرىستال تاياقچىنىڭ ئۆسۈشى ئۈچۈن بولسا 7 كۈن ۋاقىت كېتىدۇ. بۇ كرېمنىي كاربىدنىڭ ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنىڭ تەبىئىي تۆۋەنلىشىنى ۋە مەھسۇلات مىقدارىنىڭ ناھايىتى چەكلىك بولۇشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
يەنە بىر تەرەپتىن، كرېمنىي كاربىد ئېپىتاكسىيال ئۆسۈش پارامېتىرلىرى ئىنتايىن تەلەپچان بولۇپ، ئۈسكۈنىلەرنىڭ ھاۋا ئۆتكۈزۈشچانلىقى، رېئاكسىيە كامېراسىدىكى گاز بېسىمىنىڭ مۇقىملىقى، گاز كىرگۈزۈش ۋاقتىنى ئېنىق كونترول قىلىش، گاز نىسبىتىنىڭ توغرىلىقى ۋە چۆكمە تېمپېراتۇرىسىنى قاتتىق باشقۇرۇش قاتارلىقلار بار. بولۇپمۇ ئۈسكۈنىنىڭ توك بېسىمى قارشىلىق دەرىجىسىنىڭ ياخشىلىنىشىغا ئەگىشىپ، ئېپىتاكسىيال ۋافېرنىڭ يادرولۇق پارامېتىرلىرىنى كونترول قىلىشنىڭ قىيىنلىقى زور دەرىجىدە ئاشتى. بۇنىڭدىن باشقا، ئېپىتاكسىيال قەۋەتنىڭ قېلىنلىقىنىڭ ئېشىشىغا ئەگىشىپ، قارشىلىقنىڭ بىردەكلىكىنى قانداق كونترول قىلىش ۋە قېلىنلىققا كاپالەتلىك قىلىش بىلەن بىر ۋاقىتتا نۇقسان زىچلىقىنى قانداق ئازايتىش يەنە بىر چوڭ قىيىنچىلىققا ئايلاندى. ئېلېكترلەشتۈرۈلگەن كونترول سىستېمىسىدا، ھەر خىل پارامېتىرلارنىڭ توغرا ۋە مۇقىم تەڭشىلىنىشىگە كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى سېنزورلار ۋە ھەرىكەتلەندۈرگۈچلەرنى بىرلەشتۈرۈش زۆرۈر. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، كونترول ئالگورىزىمىنى ئەلالاشتۇرۇشمۇ ناھايىتى مۇھىم. كرېمنىي كاربىد ئېپىتاكسىيال ئۆسۈش جەريانىدىكى ھەر خىل ئۆزگىرىشلەرگە ماسلىشىش ئۈچۈن، ئىنكاس سىگنالىغا ئاساسەن كونترول ئىستراتېگىيىسىنى ھەقىقىي ۋاقىتتا تەڭشىيەلەيدىغان بولۇشى كېرەك.
ئاساسلىق قىيىنچىلىقلاركرېمنىي كاربىد ئاساسىئىشلەپچىقىرىش:
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2024-يىلى 6-ئاينىڭ 7-كۈنى