ឡដុតគ្រីស្តាល់គឺជាឧបករណ៍ស្នូលសម្រាប់ស៊ីលីកុនកាប៊ីតការលូតលាស់គ្រីស្តាល់។ វាស្រដៀងគ្នាទៅនឹងឡដុតលូតលាស់គ្រីស្តាល់ថ្នាក់ស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់ប្រពៃណី។ រចនាសម្ព័ន្ធឡដុតមិនស្មុគស្មាញខ្លាំងទេ។ វាភាគច្រើនត្រូវបានផ្សំឡើងដោយតួឡដុត ប្រព័ន្ធកំដៅ យន្តការបញ្ជូនខ្សែរុំ ប្រព័ន្ធទទួល និងវាស់ស្ទង់សុញ្ញាកាស ប្រព័ន្ធផ្លូវឧស្ម័ន ប្រព័ន្ធត្រជាក់ ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យ។ល។ លក្ខខណ្ឌវាលកម្ដៅ និងដំណើរការកំណត់សូចនាករសំខាន់ៗនៃគ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនកាប៊ីដដូចជាគុណភាព ទំហំ ចរន្តអគ្គិសនី និងផ្សេងៗទៀត។
ម៉្យាងវិញទៀត សីតុណ្ហភាពអំឡុងពេលលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនកាប៊ីដគឺខ្ពស់ណាស់ ហើយមិនអាចត្រួតពិនិត្យបាន។ ដូច្នេះ ការលំបាកចម្បងស្ថិតនៅក្នុងដំណើរការខ្លួនឯង។ ការលំបាកចម្បងមានដូចខាងក្រោម៖
(1) ការលំបាកក្នុងការគ្រប់គ្រងវាលកម្ដៅ៖
ការត្រួតពិនិត្យប្រហោងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដែលបិទជិតគឺពិបាក និងមិនអាចគ្រប់គ្រងបាន។ ខុសពីឧបករណ៍លូតលាស់គ្រីស្តាល់ទាញដោយផ្ទាល់ដែលមានមូលដ្ឋានលើស៊ីលីកុនបែបប្រពៃណី ដែលមានកម្រិតខ្ពស់នៃស្វ័យប្រវត្តិកម្ម និងដំណើរការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ដែលអាចសង្កេតឃើញ និងគ្រប់គ្រងបាន គ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនកាប៊ីតលូតលាស់នៅក្នុងកន្លែងបិទជិតក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់លើសពី 2,000 ℃ ហើយសីតុណ្ហភាពលូតលាស់ត្រូវការគ្រប់គ្រងយ៉ាងច្បាស់លាស់ក្នុងអំឡុងពេលផលិត ដែលធ្វើឱ្យការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពមានការលំបាក។
(2) ការលំបាកក្នុងការគ្រប់គ្រងទម្រង់គ្រីស្តាល់៖
បំពង់តូចៗ ការរួមបញ្ចូលពហុរូបភាព ការផ្លាស់ទីលំនៅ និងពិការភាពផ្សេងៗទៀត ងាយនឹងកើតឡើងក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការលូតលាស់ ហើយពួកវាប៉ះពាល់ និងវិវត្តន៍គ្នាទៅវិញទៅមក។ បំពង់តូចៗ (MP) គឺជាពិការភាពប្រភេទឆ្លងកាត់ដែលមានទំហំចាប់ពីមីក្រូជាច្រើនទៅរាប់សិបមីក្រូ ដែលជាពិការភាពដ៏អស្ចារ្យនៃឧបករណ៍។ គ្រីស្តាល់តែមួយស៊ីលីកុនកាបៃរួមមានទម្រង់គ្រីស្តាល់ផ្សេងៗគ្នាជាង 200 ប៉ុន្តែមានតែរចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់មួយចំនួនតូចប៉ុណ្ណោះ (ប្រភេទ 4H) គឺជាសម្ភារៈស៊ីមីកុងដុកទ័រដែលត្រូវការសម្រាប់ការផលិត។ ការបំលែងទម្រង់គ្រីស្តាល់ងាយនឹងកើតឡើងក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការលូតលាស់ ដែលបណ្តាលឱ្យមានពិការភាពរួមបញ្ចូលពហុរូបភាព។ ដូច្នេះ វាចាំបាច់ក្នុងការគ្រប់គ្រងប៉ារ៉ាម៉ែត្រឱ្យបានត្រឹមត្រូវដូចជាសមាមាត្រស៊ីលីកុន-កាបូន ជម្រាលសីតុណ្ហភាពលូតលាស់ អត្រាកំណើនគ្រីស្តាល់ និងសម្ពាធលំហូរខ្យល់។ លើសពីនេះ មានជម្រាលសីតុណ្ហភាពនៅក្នុងវាលកម្ដៅនៃការលូតលាស់គ្រីស្តាល់តែមួយស៊ីលីកុនកាបៃ ដែលនាំឱ្យមានភាពតានតឹងខាងក្នុងដើម និងការផ្លាស់ទីលំនៅដែលជាលទ្ធផល (ការផ្លាស់ទីលំនៅប្លង់មូលដ្ឋាន BPD ការផ្លាស់ទីលំនៅវីស TSD ការផ្លាស់ទីលំនៅគែម TED) ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ ដោយហេតុនេះប៉ះពាល់ដល់គុណភាព និងដំណើរការនៃអេពីតាក់ស៊ី និងឧបករណ៍ជាបន្តបន្ទាប់។
(3) ការគ្រប់គ្រងសារធាតុញៀនដ៏លំបាក៖
ការណែនាំអំពីភាពមិនបរិសុទ្ធខាងក្រៅត្រូវតែត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹងដើម្បីទទួលបានគ្រីស្តាល់ដែលមានចរន្តអគ្គិសនីជាមួយនឹងការប្រើសារធាតុដូបទិសដៅ។
(4) អត្រាកំណើនយឺត៖
អត្រាកំណើននៃស៊ីលីកុនកាបៃគឺយឺតណាស់។ សម្ភារៈស៊ីលីកុនប្រពៃណីត្រូវការពេលត្រឹមតែ 3 ថ្ងៃប៉ុណ្ណោះដើម្បីដុះទៅជាដំបងគ្រីស្តាល់ ខណៈពេលដែលដំបងគ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនកាបៃត្រូវការពេល 7 ថ្ងៃ។ នេះនាំឱ្យមានប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្មទាបជាងមុនដោយធម្មជាតិនៃស៊ីលីកុនកាបៃ និងទិន្នផលមានកម្រិតខ្លាំង។
ម៉្យាងវិញទៀត ប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៃការលូតលាស់ epitaxial ស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ្រាតមានតម្រូវការខ្លាំង រួមទាំងភាពតឹងណែននៃខ្យល់នៃឧបករណ៍ ស្ថេរភាពនៃសម្ពាធឧស្ម័ននៅក្នុងបន្ទប់ប្រតិកម្ម ការគ្រប់គ្រងពេលវេលាបញ្ចូលឧស្ម័នយ៉ាងច្បាស់លាស់ ភាពត្រឹមត្រូវនៃសមាមាត្រឧស្ម័ន និងការគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹងនៃសីតុណ្ហភាពដាក់។ ជាពិសេស ជាមួយនឹងការកែលម្អកម្រិតធន់ទ្រាំវ៉ុលរបស់ឧបករណ៍ ការលំបាកក្នុងការគ្រប់គ្រងប៉ារ៉ាម៉ែត្រស្នូលនៃបន្ទះ epitaxial បានកើនឡើងគួរឱ្យកត់សម្គាល់។ លើសពីនេះ ជាមួយនឹងការកើនឡើងនៃកម្រាស់នៃស្រទាប់ epitaxial របៀបគ្រប់គ្រងឯកសណ្ឋាននៃភាពធន់ និងកាត់បន្ថយដង់ស៊ីតេពិការភាព ខណៈពេលដែលធានាកម្រាស់បានក្លាយជាបញ្ហាប្រឈមដ៏សំខាន់មួយទៀត។ នៅក្នុងប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យអគ្គិសនី វាចាំបាច់ក្នុងការរួមបញ្ចូលឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា និងឧបករណ៍ធ្វើសកម្មភាពដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដើម្បីធានាថាប៉ារ៉ាម៉ែត្រផ្សេងៗអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងបានយ៉ាងត្រឹមត្រូវ និងស្ថិរភាព។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃក្បួនដោះស្រាយត្រួតពិនិត្យក៏សំខាន់ផងដែរ។ វាត្រូវការអាចកែតម្រូវយុទ្ធសាស្ត្រត្រួតពិនិត្យក្នុងពេលវេលាជាក់ស្តែង ស្របតាមសញ្ញាមតិត្រឡប់ ដើម្បីសម្របខ្លួនទៅនឹងការផ្លាស់ប្តូរផ្សេងៗនៅក្នុងដំណើរការលូតលាស់ epitaxial ស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ្រាត។
ការលំបាកចម្បងៗនៅក្នុងស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនកាប៊ីដការផលិត៖
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ មិថុនា-០៧-២០២៤