சிலிக்கான் கார்பைடு படிக வளர்ச்சி உலையின் தொழில்நுட்பச் சிக்கல்கள் யாவை?

படிக வளர்ச்சி உலை என்பது இதற்கான முக்கிய உபகரணமாகும்.சிலிக்கான் கார்பைடுபடிக வளர்ச்சி. இது பாரம்பரிய படிக சிலிக்கான் தர படிக வளர்ச்சி உலையைப் போன்றது. உலையின் கட்டமைப்பு மிகவும் சிக்கலானதல்ல. இது முக்கியமாக உலை உடல், வெப்பமூட்டும் அமைப்பு, சுருள் பரிமாற்ற பொறிமுறை, வெற்றிட கையகப்படுத்தல் மற்றும் அளவீட்டு அமைப்பு, வாயு பாதை அமைப்பு, குளிரூட்டும் அமைப்பு, கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு போன்றவற்றால் ஆனது. வெப்பப் புலம் மற்றும் செயல்முறை நிலைமைகள் முக்கிய குறிகாட்டிகளைத் தீர்மானிக்கின்றன.சிலிக்கான் கார்பைடு படிகம்தரம், அளவு, கடத்துத்திறன் போன்றவை.

ஒருபுறம், வளர்ச்சியின் போது வெப்பநிலைசிலிக்கான் கார்பைடு படிகம்இது மிகவும் அதிகமாக உள்ளது மற்றும் கண்காணிக்க முடியாது. எனவே, முக்கிய சிரமம் செயல்முறையிலேயே உள்ளது. முக்கிய சிரமங்கள் பின்வருமாறு:

(1) வெப்ப புல கட்டுப்பாட்டில் சிரமம்:

மூடப்பட்ட உயர்-வெப்பநிலை குழியைக் கண்காணிப்பது கடினமானதும் கட்டுப்படுத்த முடியாததும் ஆகும். அதிக அளவிலான தானியக்கம் மற்றும் உற்றுநோக்கக்கூடிய, கட்டுப்படுத்தக்கூடிய படிக வளர்ச்சி செயல்முறையைக் கொண்ட பாரம்பரிய சிலிக்கான் அடிப்படையிலான கரைசல் நேரடி-இழு படிக வளர்ச்சி உபகரணங்களிலிருந்து வேறுபட்டு, சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்கள் 2,000℃-க்கு மேற்பட்ட உயர்-வெப்பநிலை சூழலில் ஒரு மூடிய இடத்தில் வளர்கின்றன, மேலும் உற்பத்தியின் போது வளர்ச்சி வெப்பநிலையைத் துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்த வேண்டியிருப்பதால், வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு கடினமாகிறது;

(2) படிக வடிவக் கட்டுப்பாட்டில் சிரமம்:

வளர்ச்சி செயல்முறையின் போது நுண்குழாய்கள், பல்வடிவ உள்ளடக்கங்கள், இடப்பெயர்வுகள் மற்றும் பிற குறைபாடுகள் ஏற்பட வாய்ப்புள்ளது, மேலும் அவை ஒன்றையொன்று பாதித்து, ஒன்றையொன்று மேம்படுத்துகின்றன. நுண்குழாய்கள் (MP) என்பவை பல மைக்ரான்கள் முதல் பத்து மைக்ரான்கள் வரையிலான அளவு கொண்ட ஊடுவழி வகைக் குறைபாடுகளாகும், இவை கருவிகளின் அழிவுக்கான முக்கியக் குறைபாடுகளாகும். சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றைப் படிகங்கள் 200-க்கும் மேற்பட்ட வெவ்வேறு படிக வடிவங்களைக் கொண்டுள்ளன, ஆனால் சில படிக அமைப்புகள் (4H வகை) மட்டுமே உற்பத்திக்குத் தேவையான குறைக்கடத்திப் பொருட்களாகும். வளர்ச்சி செயல்முறையின் போது படிக வடிவ மாற்றம் எளிதில் நிகழ்ந்து, பல்வடிவ உள்ளடக்கக் குறைபாடுகளை விளைவிக்கிறது. எனவே, சிலிக்கான்-கார்பன் விகிதம், வளர்ச்சி வெப்பநிலைச் சரிவு, படிக வளர்ச்சி விகிதம் மற்றும் காற்று ஓட்ட அழுத்தம் போன்ற அளவுருக்களைத் துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்துவது அவசியம். மேலும், சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றைப் படிக வளர்ச்சியின் வெப்பப் புலத்தில் ஒரு வெப்பநிலைச் சரிவு உள்ளது, இது படிக வளர்ச்சி செயல்முறையின் போது உள்ளார்ந்த உள் அழுத்தத்திற்கும் அதன் விளைவாக ஏற்படும் இடப்பெயர்வுகளுக்கும் (அடிப்படைத் தள இடப்பெயர்வு BPD, திருகு இடப்பெயர்வு TSD, விளிம்பு இடப்பெயர்வு TED) வழிவகுக்கிறது, இதன் மூலம் அடுத்தடுத்த படிகவளர்ச்சி மற்றும் கருவிகளின் தரம் மற்றும் செயல்திறனைப் பாதிக்கிறது.

(3) கடினமான ஊக்கமருந்து கட்டுப்பாடு:

திசைசார்ந்த கலப்படம் கொண்ட ஒரு கடத்தும் படிகத்தைப் பெறுவதற்கு, வெளிப்புற அசுத்தங்களின் அறிமுகம் கண்டிப்பாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும்;

(4) மெதுவான வளர்ச்சி விகிதம்:

சிலிக்கான் கார்பைடின் வளர்ச்சி விகிதம் மிகவும் மெதுவாக உள்ளது. பாரம்பரிய சிலிக்கான் பொருட்கள் படிகத் தடியாக வளர்வதற்கு 3 நாட்கள் மட்டுமே தேவைப்படும் நிலையில், சிலிக்கான் கார்பைடு படிகத் தடியாக வளர 7 நாட்கள் தேவைப்படுகின்றன. இது இயல்பாகவே சிலிக்கான் கார்பைடின் உற்பத்தித் திறனைக் குறைத்து, அதன் வெளியீட்டையும் மிகவும் வரையறுக்கப்பட்டதாக ஆக்குகிறது.

மறுபுறம், சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடெக்சியல் வளர்ச்சியின் அளவுருக்கள் மிகவும் சவாலானவை. உபகரணத்தின் காற்றுப்புகாத் தன்மை, வினை அறையில் உள்ள வாயு அழுத்தத்தின் நிலைத்தன்மை, வாயு செலுத்தும் நேரத்தின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு, வாயு விகிதத்தின் துல்லியம் மற்றும் படிவு வெப்பநிலையின் கண்டிப்பான மேலாண்மை ஆகியவை இதில் அடங்கும். குறிப்பாக, சாதனத்தின் மின்னழுத்த மின்தடை நிலை மேம்படுவதால், எபிடெக்சியல் வேஃபரின் முக்கிய அளவுருக்களைக் கட்டுப்படுத்துவதில் உள்ள சிரமம் கணிசமாக அதிகரித்துள்ளது. மேலும், எபிடெக்சியல் அடுக்கின் தடிமன் அதிகரிப்பதால், தடிமனை உறுதிசெய்துகொண்டே மின்தடையின் சீரான தன்மையைக் கட்டுப்படுத்துவது மற்றும் குறைபாட்டு அடர்த்தியைக் குறைப்பது எப்படி என்பது மற்றொரு பெரிய சவாலாக மாறியுள்ளது. மின்மயமாக்கப்பட்ட கட்டுப்பாட்டு அமைப்பில், பல்வேறு அளவுருக்கள் துல்லியமாகவும் நிலையாகவும் ஒழுங்குபடுத்தப்படுவதை உறுதிசெய்ய, உயர்-துல்லியமான சென்சார்கள் மற்றும் ஆக்சுவேட்டர்களை ஒருங்கிணைப்பது அவசியம். அதே நேரத்தில், கட்டுப்பாட்டு நெறிமுறையை மேம்படுத்துவதும் மிக முக்கியமானது. சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடெக்சியல் வளர்ச்சிச் செயல்பாட்டில் ஏற்படும் பல்வேறு மாற்றங்களுக்கு ஏற்ப, பின்னூட்ட சமிக்ஞையின்படி நிகழ்நேரத்தில் கட்டுப்பாட்டு உத்தியைச் சரிசெய்யும் திறன் அதற்கு இருக்க வேண்டும்.

முக்கிய சிரமங்கள்சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுஉற்பத்தி: