படிக வளர்ச்சி உலை என்பது இதற்கான முக்கிய உபகரணமாகும்சிலிக்கான் கார்பைடுபடிக வளர்ச்சி. இது பாரம்பரிய படிக சிலிக்கான் தர படிக வளர்ச்சி உலையைப் போன்றது. உலை அமைப்பு மிகவும் சிக்கலானது அல்ல. இது முக்கியமாக உலை உடல், வெப்பமாக்கல் அமைப்பு, சுருள் பரிமாற்ற பொறிமுறை, வெற்றிட கையகப்படுத்தல் மற்றும் அளவீட்டு அமைப்பு, வாயு பாதை அமைப்பு, குளிரூட்டும் அமைப்பு, கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு போன்றவற்றைக் கொண்டுள்ளது. வெப்ப புலம் மற்றும் செயல்முறை நிலைமைகள் முக்கிய குறிகாட்டிகளை தீர்மானிக்கின்றன.சிலிக்கான் கார்பைடு படிகம்தரம், அளவு, கடத்துத்திறன் மற்றும் பல.
ஒருபுறம், வளர்ச்சியின் போது வெப்பநிலைசிலிக்கான் கார்பைடு படிகம்மிக அதிகமாக உள்ளது மற்றும் கண்காணிக்க முடியாது. எனவே, முக்கிய சிரமம் செயல்முறையிலேயே உள்ளது. முக்கிய சிரமங்கள் பின்வருமாறு:
(1) வெப்ப புலக் கட்டுப்பாட்டில் சிரமம்:
மூடிய உயர் வெப்பநிலை குழியைக் கண்காணிப்பது கடினமானது மற்றும் கட்டுப்படுத்த முடியாதது. பாரம்பரிய சிலிக்கான் அடிப்படையிலான தீர்வு நேரடி-இழுக்கும் படிக வளர்ச்சி உபகரணங்களிலிருந்து வேறுபட்டது, அதிக அளவிலான ஆட்டோமேஷன் மற்றும் கவனிக்கக்கூடிய மற்றும் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய படிக வளர்ச்சி செயல்முறையுடன், சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்கள் 2,000℃ க்கும் அதிகமான வெப்பநிலை சூழலில் மூடிய இடத்தில் வளரும், மேலும் உற்பத்தியின் போது வளர்ச்சி வெப்பநிலையை துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்த வேண்டும், இது வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை கடினமாக்குகிறது;
(2) படிக வடிவக் கட்டுப்பாட்டில் சிரமம்:
வளர்ச்சிச் செயல்பாட்டின் போது மைக்ரோபைப்புகள், பாலிமார்பிக் சேர்த்தல்கள், இடப்பெயர்வுகள் மற்றும் பிற குறைபாடுகள் ஏற்பட வாய்ப்புள்ளது, மேலும் அவை ஒன்றையொன்று பாதித்து பரிணமிக்கின்றன. மைக்ரோபைப்புகள் (MP) என்பது பல மைக்ரான்கள் முதல் பத்து மைக்ரான்கள் வரை அளவுள்ள வகை குறைபாடுகள் ஆகும், இவை சாதனங்களின் கொலையாளி குறைபாடுகள் ஆகும். சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை படிகங்கள் 200 க்கும் மேற்பட்ட வெவ்வேறு படிக வடிவங்களை உள்ளடக்கியது, ஆனால் ஒரு சில படிக கட்டமைப்புகள் (4H வகை) மட்டுமே உற்பத்திக்குத் தேவையான குறைக்கடத்தி பொருட்கள் ஆகும். வளர்ச்சிச் செயல்பாட்டின் போது படிக வடிவ மாற்றம் ஏற்படுவது எளிது, இதன் விளைவாக பாலிமார்பிக் சேர்த்தல் குறைபாடுகள் ஏற்படுகின்றன. எனவே, சிலிக்கான்-கார்பன் விகிதம், வளர்ச்சி வெப்பநிலை சாய்வு, படிக வளர்ச்சி விகிதம் மற்றும் காற்று ஓட்ட அழுத்தம் போன்ற அளவுருக்களை துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்துவது அவசியம். கூடுதலாக, சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை படிக வளர்ச்சியின் வெப்பப் புலத்தில் ஒரு வெப்பநிலை சாய்வு உள்ளது, இது படிக வளர்ச்சிச் செயல்பாட்டின் போது பூர்வீக உள் அழுத்தத்திற்கும் அதன் விளைவாக ஏற்படும் இடப்பெயர்வுகளுக்கும் (அடித்தள தள இடப்பெயர்வு BPD, திருகு இடப்பெயர்வு TSD, விளிம்பு இடப்பெயர்வு TED) வழிவகுக்கிறது, இதன் மூலம் அடுத்தடுத்த எபிடாக்ஸி மற்றும் சாதனங்களின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை பாதிக்கிறது.
(3) கடினமான ஊக்கமருந்து கட்டுப்பாடு:
திசை ஊக்கமருந்து கொண்ட கடத்தும் படிகத்தைப் பெற வெளிப்புற அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்துவது கண்டிப்பாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும்;
(4) மெதுவான வளர்ச்சி விகிதம்:
சிலிக்கான் கார்பைட்டின் வளர்ச்சி விகிதம் மிகவும் மெதுவாக உள்ளது. பாரம்பரிய சிலிக்கான் பொருட்கள் படிகக் கம்பியாக வளர 3 நாட்கள் மட்டுமே ஆகும், அதே நேரத்தில் சிலிக்கான் கார்பைடு படிகக் கம்பிகள் 7 நாட்கள் ஆகும். இது இயற்கையாகவே சிலிக்கான் கார்பைடின் உற்பத்தித் திறனைக் குறைத்து மிகக் குறைந்த உற்பத்தித்திறனுக்கு வழிவகுக்கிறது.
மறுபுறம், சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் அளவுருக்கள் மிகவும் கோரும் தன்மை கொண்டவை, அவற்றில் உபகரணங்களின் காற்று இறுக்கம், எதிர்வினை அறையில் வாயு அழுத்தத்தின் நிலைத்தன்மை, வாயு அறிமுக நேரத்தின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு, வாயு விகிதத்தின் துல்லியம் மற்றும் படிவு வெப்பநிலையின் கடுமையான மேலாண்மை ஆகியவை அடங்கும். குறிப்பாக, சாதனத்தின் மின்னழுத்த எதிர்ப்பு நிலையின் முன்னேற்றத்துடன், எபிடாக்சியல் வேஃபரின் மைய அளவுருக்களைக் கட்டுப்படுத்துவதில் சிரமம் கணிசமாக அதிகரித்துள்ளது. கூடுதலாக, எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தடிமன் அதிகரிப்புடன், எதிர்ப்பின் சீரான தன்மையை எவ்வாறு கட்டுப்படுத்துவது மற்றும் குறைபாடு அடர்த்தியைக் குறைப்பது என்பது மற்றொரு பெரிய சவாலாக மாறியுள்ளது. மின்மயமாக்கப்பட்ட கட்டுப்பாட்டு அமைப்பில், பல்வேறு அளவுருக்களை துல்லியமாகவும் நிலையானதாகவும் கட்டுப்படுத்த முடியும் என்பதை உறுதிப்படுத்த உயர்-துல்லிய சென்சார்கள் மற்றும் ஆக்சுவேட்டர்களை ஒருங்கிணைப்பது அவசியம். அதே நேரத்தில், கட்டுப்பாட்டு வழிமுறையின் உகப்பாக்கமும் மிக முக்கியமானது. சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் பல்வேறு மாற்றங்களுக்கு ஏற்ப, பின்னூட்ட சமிக்ஞையின் படி கட்டுப்பாட்டு உத்தியை நிகழ்நேரத்தில் சரிசெய்ய முடியும்.
முக்கிய சிரமங்கள்சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுஉற்பத்தி:
இடுகை நேரம்: ஜூன்-07-2024