جديد LPCVD فرنس پروسيسنگ لاءِ SiC ڪينٽيليور پيڊل ڇو اهم آهي

جيئن ته سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ننڍين ڊوائيسز جي جاميٽري، وڌيڪ ويفر ٿرو پُٽ، ۽ وڌندڙ سخت آلودگي ڪنٽرول معيارن ڏانهن ترقي ڪري رهي آهي، حرارتي پروسيسنگ سامان بي مثال انجنيئرنگ چئلينجن کي منهن ڏئي رهيو آهي. LPCVD، حرارتي آڪسائيڊشن، ڊوپنٽ ڊفيوژن، ۽ اعلي درجه حرارت اينيلنگ جهڙا عمل هاڻي نه رڳو سخت درجه حرارت جي هڪجهڙائي جي ضرورت رکن ٿا، پر ڊگهي سامان جي اپ ٽائم، گهٽ ذرڙن جي پيداوار، ۽ بهتر عمل جي ورجائي جي صلاحيت جي پڻ ضرورت آهي.

جيتوڻيڪ اڪثر پروسيس گيس، فرنس ٽيوب، يا ڊپوزيشن ڪيمسٽري جي مقابلي ۾ نظرانداز ڪيو ويندو آهي، ڪينٽيليور پيڊل بنيادي طور تي اهو طئي ڪري ٿو ته ويفرز اعليٰ درجه حرارت واري ماحول ۾ ڪيئن عمل ڪن ٿا. ڪيترن ئي ترقي يافته فيبرڪس ۾، اهو هاڻي هڪ سادو استعمال ٿيندڙ جزو نه سمجهيو ويندو آهي، پر مستحڪم ۽ ورجائي سگهڻ واري سيمي ڪنڊڪٽر پروسيسنگ لاءِ هڪ اهم فعال مواد سمجهيو ويندو آهي.

سي آءِ سي ڪينٽيليور پيڊل ڇا آهي؟

هڪ SiC ڪينٽيليور پيڊل هڪ اعليٰ پاڪائي وارو سلڪون ڪاربائيڊ ڍانچي جزو آهي جيڪو بنيادي طور تي سيمي ڪنڊڪٽر ڊفيوژن فرنس ۽ LPCVD سسٽم ۾ استعمال ٿيندو آهي. اهو عام طور تي هڪ ڊگهي ڪينٽيليور بيم ڍانچي جي طور تي ٺهيل آهي جيڪو اعليٰ درجه حرارت جي پروسيسنگ دوران ڪوارٽز يا SiC ويفر بوٽن کي سپورٽ ڪرڻ جي قابل آهي.

جزو عام طور تي استعمال ڪندي ٺاهيو ويندو آهي:

● ٻيهر ڪرسٽل ٿيل سلڪون ڪاربائيڊ (RSiC)

● ڪيميائي بخارات جمع ٿيل سلڪون ڪاربائيڊ (CVD SiC)

● تيز کثافت واري رد عمل سان ڳنڍيل SiC مواد

ڪورز ٽيڪ ۽ سينٽ-گوبين پرفارمنس سيرامڪس پاران شايع ٿيل مواد جي ڊيٽا موجب، اعليٰ پاڪائي وارا سي آءِ سي مواد عام طور تي ڏيکاريندا آهن:

● حرارتي چالکائي: ڪمري جي حرارت تي تقريبن 120-200 W/m·K

● غير فعال ماحول ۾ وڌ ۾ وڌ آپريٽنگ گرمي پد: 1600 °C کان مٿي.

● حرارتي توسيع جو ڪوئفيشينٽ (CTE): تقريبن 4.0–4.5×10⁻⁶/K.

● HCl، NH₃، O₂، ۽ ڪلورين ٿيل عمل ڪيمسٽري جي خلاف بهترين مزاحمت.

ايل پي سي وي ڊي پروسيسنگ ۾ سي آءِ سي ڪينٽيليور پيڊل جو ڪردار

سڀني ايپليڪيشنن ۾، LPCVD سسٽم SiC ڪينٽيليور پيڊلز لاءِ سڀ کان اهم استعمال جي ڪيسن مان هڪ جي نمائندگي ڪن ٿا.

عمل جهڙوڪ:

● پوليسيلڪون جمع ٿيڻ.

● سلڪون نائٽرائڊ (Si₃N₄).

● گهٽ دٻاءُ واري آڪسائيڊ جمع.

عام طور تي 500°C ۽ 900°C جي وچ ۾ ڪم ڪن ٿا، اڪثر ڪري ڊگھي عمل جي چڪر ۽ انتهائي رد عمل واري ڪيميائي ماحول ۾.

انهن سسٽمن اندر، ڪينٽيليور پيڊل هڪ ئي وقت ڪيترائي ضروري ڪم سرانجام ڏئي ٿو.

پهرين، اهو فرنس ٽيوب ۾ داخل ٿيڻ ۽ نڪرڻ واري ويفر ٻيڙين لاءِ مستحڪم ميڪيڪل ٽرانسپورٽ فراهم ڪري ٿو. ڇاڪاڻ ته جديد عمودي فرنس هر بيچ ۾ سوين ويفر کڻي سگهن ٿيون، تنهن ڪري ٿوري پيڊل خرابي به ويفر جي غلط ترتيب، غير مستحڪم فاصلو، يا ميڪيڪل دٻاءُ جي جمع ٿيڻ جو سبب بڻجي سگهي ٿي.

ٻيو، پيڊل حرارتي يڪسانيت ۾ اهم ڪردار ادا ڪري ٿو. SiC جي اعليٰ حرارتي چالکائي گرمي کي سپورٽ ڍانچي سان وڌيڪ هڪجهڙائي سان ورهائڻ جي اجازت ڏئي ٿي، مقامي حرارتي گريڊينٽس کي گھٽائي ٿي جيڪي جمع يڪسانيت کي متاثر ڪري سگهن ٿا.

ٽيون، گهٽ ذرڙن جي پيداوار انتهائي اهم آهي. سيمي ڪنڊڪٽر ذرڙا سڌي طرح پيداوار جا قاتل آهن، خاص طور تي ترقي يافته منطق ۽ طاقت سيمي ڪنڊڪٽر پيداوار ۾. ان جي گهاٽي سيرامڪ ساخت ۽ مضبوط سنکنرن جي مزاحمت جي ڪري، اعلي پاڪائي وارو SiC روايتي مواد جي مقابلي ۾ ذرڙن جي شيڊنگ جي خطري کي گهٽائي ٿو.

ترقي يافته LPCVD پيداوار لائينن ۾، پيڊل جي ڊگهي مدت جي طول و عرض جي استحڪام سڌو سنئون اثر انداز ٿئي ٿي:

● فلم جي ٿولهه جي استحڪام.

● ويفر کان ويفر تائين ورجائڻ جي صلاحيت.

● فرنس اپ ٽائم.

ننگبو وي اي ٽي انرجي جديد گريفائٽ، سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪس، ۽ سي وي ڊي ڪوٽيڊ سيمي ڪنڊڪٽر حصن ۾ ماهر آهي جيڪي سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي ماحول جي تقاضا لاءِ ٺهيل آهن.

ڪور سيمي ڪنڊڪٽر پراڊڪٽس ۾ شامل آهن:

● سي سي ڪينٽيليور پيڊل

● SiC Coated Graphite Susceptor

● سي سي ڪوٽيڊ ويفر ڪيريئر

● سي سي ڪوٽيڊ هاف مون جزا

● ڪاربان-ڪاربن ڪمپوزٽ ڪروسيبلز

● نرم گريفائيٽ محسوس ۽ سخت گريفائيٽ محسوس

اهي پراڊڪٽس وڏي پيماني تي استعمال ٿين ٿا:

● ايپيٽيڪسي سسٽم

● ايل پي سي وي ڊي ري ايڪٽر

● ڊفيوژن فرنس

● سي سي ڪرسٽل واڌ جو نظام

● تيز گرمي پد جي حرارتي پروسيسنگ جو سامان.

SiC ۽ ترقي يافته پاور سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي تيز رفتار واڌ سان، اعليٰ پاڪائي، اعليٰ استحڪام واري فرنس حصن جي گهرج وڌندي رهندي. هن حوالي سان، SiC ڪينٽيليور پيڊل ٽيڪنالاجي ايندڙ نسل جي سيمي ڪنڊڪٽر پروسيسنگ جي حمايت ڪندڙ بنيادي عنصرن مان هڪ رهندي.