O le ogaumu tuputupu aʻe tioata o le meafaigaluega autū lea mosilicon carbidetuputupu aʻe o le tioata. E tutusa ma le ogaumu tuputupu aʻe tioata masani o le silicon crystalline. E le faigata tele le fausaga o le ogaumu. E tele lava ina aofia ai le tino o le ogaumu, faiga faʻavevela, faiga faʻasalalau o le coil, faiga e maua ai ma fuaina ai le vacuum, faiga o le auala kesi, faiga faʻamālūlūina, faiga faʻatonutonu, ma isi mea. O le fanua vevela ma tulaga o le faagasologa e fuafua ai faʻailoga autu otioata silicon carbidee pei o le lelei, tele, fa'avevela ma isi mea fa'apena.
I le isi itu, o le vevela i le taimi o le tuputupu aʻe otioata silicon carbidee matuā maualuga tele ma e lē mafai ona mata’ituina. O le mea lea, o le faigata autū o lo’o i totonu o le faiga lava ia. O faigata autū e fa’apea:
(1) Faigata i le puleaina o le fanua vevela:
O le mata'ituina o le avanoa ua tapunia mo le vevela maualuga e faigata ma e le mafai ona pulea. E ese mai le masini masani e fa'avae i luga o le silicon e fa'aaoga ai le masini e fa'atupu ai le tioata e toso sa'o i luga ma le maualuga o le otometi ma le fa'agasologa o le tuputupu a'e o le tioata e mafai ona matauina ma pulea, o tioata silicon carbide e ola i se avanoa tapuni i se siosiomaga vevela maualuga e sili atu i le 2,000 ℃, ma e mana'omia ona pulea lelei le vevela o le tuputupu a'e i le taimi o le gaosiga, lea e faigata ai ona pulea le vevela;
(2) Faigata i le puleaina o foliga o le tioata:
O paipa laiti, fa'aputuga polymorphic, fa'asolo ma isi fa'aletonu e faigofie ona tutupu i le taimi o le tuputupu a'e, ma e a'afia ma fa'atuputeleina le tasi ma le isi. O paipa laiti (MP) o fa'aletonu ituaiga-toto'a e tele mai le tele o microns i le sefulu o microns, o ni fa'aletonu mata'utia ia o masini. O tioata ta'itasi o le silicone carbide e aofia ai le silia ma le 200 ituaiga tioata eseese, ae na'o ni nai fausaga tioata (ituaiga 4H) o mea semiconductor e mana'omia mo le gaosiga. E faigofie ona tupu le suiga o foliga tioata i le taimi o le tuputupu a'e, ma i'u ai i fa'aletonu fa'aputuga polymorphic. O le mea lea, e tatau ai ona pulea lelei fa'asologa e pei o le fua fa'atatau o le silicon-carbon, le fa'asolosolo o le vevela o le tuputupu a'e, le fua fa'atatau o le tuputupu a'e o le tioata, ma le mamafa o le tafe o le ea. E le gata i lea, e iai se fa'asolosolo o le vevela i le fanua vevela o le tuputupu a'e o le tioata ta'itasi o le silicon carbide, lea e o'o atu ai i le atuatuvale i totonu ma fa'alavelave e mafua mai ai (fa'asolosolo o le va'alele basal BPD, fa'asolosolo o le screw TSD, fa'asolosolo o le pito TED) i le taimi o le tuputupu a'e o le tioata, ma a'afia ai le lelei ma le fa'atinoga o epitaxy ma masini mulimuli ane.
(3) Faigata ona pulea le fa'aaogaina o fualaau fa'asaina:
O le faʻaofiina o mea leaga mai fafo e tatau ona matuā pulea lelei ina ia maua ai se tioata faʻatautaia ma le faʻaaogaina o le faʻatonuga;
(4) Saosaoa o le tuputupu aʻe faifai malie:
E matuā telegese lava le saoasaoa o le tuputupu aʻe o le silicon carbide. E naʻo le 3 aso e manaʻomia e mea masani o le silicon e tupu ai ma avea ma se crystal rod, ae o le silicon carbide crystal rods e manaʻomia le 7 aso. O lenei mea e mafua ai ona maualalo le lelei o le gaosiga o le silicon carbide ma e matuā faʻatapulaʻaina ai le gaosiga.
I le isi itu, o tapulaʻa o le tuputupu aʻe o le silicon carbide epitaxial e matuā manaʻomia lava, e aofia ai le le mafai ona sao o le masini mai le ea, le mautu o le mamafa o le kesi i totonu o le potu tali, le pulea saʻo o le taimi e faʻaofi ai le kesi, le saʻo o le fua faatatau o le kesi, ma le puleaina lelei o le vevela o le teuina. Ae maise lava, faatasi ai ma le faaleleia atili o le tulaga teteʻe o le voltage o le masini, ua matua faateleina ai le faigata o le puleaina o tapulaʻa autu o le epitaxial wafer. E le gata i lea, faatasi ai ma le faateleina o le mafiafia o le vaega epitaxial, o le auala e pulea ai le tutusa o le resistivity ma faaitiitia ai le mafiafia o le faaletonu a o faamautinoa le mafiafia ua avea ma se isi luitau tele. I le faiga pulea eletise, e tatau ona tuufaatasia ni sensors ma actuators e maualuga le saʻo e faamautinoa ai e mafai ona faatonutonuina ma le saʻo ma le mautu le tele o tapulaʻa. I le taimi lava e tasi, e taua tele foi le faaleleia atili o le algorithm pulea. E manaomia ona mafai ona fetuunai le fuafuaga pulea i le taimi moni e tusa ai ma le faailoilo feedback e fetuunai ai i suiga eseese i le faagasologa o le tuputupu aʻe o le silicon carbide epitaxial.
Faigata tetele imea e fai ai le silicon carbidegaosiga:
Taimi na lafoina ai: Iuni-07-2024

