Zaostrovací krúžok s CVD povlakom pre plazmové leptanie je kritický spotrebný komponent používaný v pokročilých systémoch leptania polovodičov. Tento produkt, navrhnutý s kompozitnou štruktúrou substrátu a CVD povlaku, je navrhnutý tak, aby optimalizoval rozloženie plazmy, zlepšil rovnomernosť leptania a predĺžil životnosť komponentov komory.
V spoločnosti Vet Energy využívame rozsiahle odborné znalosti v oblasti technológie chemického nanášania z pár (CVD) a pokročilých keramických materiálov na výrobu zaostrovacích krúžkov, ktoré spĺňajú prísne požiadavky moderných polovodičových uzlov vrátane procesov FinFET a 3D NAND.
Úloha zaostrovacieho krúžku pri plazmovom leptaní
V systémoch plazmového leptania (ako sú reaktory ICP a CCP) je zaostrovací krúžok umiestnený okolo okraja doštičky a zohráva kľúčovú úlohu v stabilite procesu a výťažnosti.
1. Riadenie rovnomernosti plazmy
Zaostrovací krúžok slúži ako elektrická a fyzikálna hranica, ktorá pomáha regulovať rozloženie hustoty plazmy na povrchu doštičky.
Kľúčové výhody:
● Zlepšená rovnomernosť rýchlosti leptania
● Znížená odchýlka od stredu k okraju
● Zlepšená opakovateľnosť procesu
2. Kompenzácia efektu hrán
Bez zaostrovacieho krúžku môže deformácia plazmového plášťa na okraji doštičky viesť k nerovnomernému leptaniu.
Zaostrovací krúžok efektívne funguje ako „virtuálne predĺženie doštičky“, čím minimalizuje anomálie súvisiace s hranami, ako napríklad:
● Preleptanie na okrajoch doštičky
● Odchýlka kritického rozmeru (CD)
● Skreslenie profilu
3. Trajektória iónov a riadenie energie
Ovplyvňovaním lokálneho elektrického poľa pomáha zaostrovací krúžok stabilizovať uhly dopadu iónov a rozloženie energie, čo je kľúčové pre:
● Leptanie s vysokým pomerom strán (HAR)
● Riadenie anizotropného profilu
● Znížené poškodenie bočníc
4. Ochrana komory a zníženie kontaminácie
Ako obetný komponent absorbuje zaostrovací krúžok priamu expozíciu plazme a vedľajšie produkty usadzovania.
Výsledné výhody:
● Znížená erózia stien komory
● Nižšia kontaminácia časticami
● Predĺžené cykly údržby (intervaly PÚ)
