Susceptor ng Barrel na Pinahiran ng SiC

Itinatampok na Larawan ng SiC Coated Barrel Susceptor

Maikling Paglalarawan:

Ang VET Energy SiC Coated Barrel Susceptor ay isang produktong may mataas na pagganap na idinisenyo upang magbigay ng pare-pareho at maaasahang pagganap sa mahabang panahon. Mayroon itong napakagandang resistensya sa init at thermal uniformity, mataas na kadalisayan, at resistensya sa erosyon, kaya ito ang perpektong solusyon para sa mga aplikasyon sa pagproseso ng wafer.

Lugar ng Pinagmulan:Tsina

Kayarian ng Kristal:Yugto ng FCCβ

Densidad:3.21 g/cm³;

Katigasan:2500 Vickers;

Laki ng Butil:2~10μm;

Kadalisayan ng Kemikal:99.99995%;

Kapasidad ng Init:640J·kg-1·K-1;

Temperatura ng Sublimasyon:2700℃;

Lakas ng Felexural:415 Mpa (RT 4-Punto);

Modulus ni Young:430 Gpa (4pt na liko, 1300℃);

Pagpapalawak ng Init (CTE):4.5 10-6K-1;

Konduktibidad ng Termal:300（W/MK）;

Magpadala ng email sa amin I-download bilang PDF

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Susceptor ng bariles is a susisangkap na ginagamit sa iba't ibang proseso ng paggawa ng semiconductor.Ginagamit namin ang aming patentadong teknolohiya upang gawin angtagapagtagos ng barileskasamanapakataas na kadalisayan,mabutipatongpagkakaparehoat isang mahusay na buhay ng serbisyo, pati na rinmataas na resistensya sa kemikal at mga katangian ng katatagan ng init.

Ang VET Energy ay angtunay na tagagawa ng mga pasadyang produktong graphite at silicon carbide na may CVD coating,maaaring magtustosiba't ibamga pasadyang bahagi para sa industriya ng semiconductor at photovoltaic. OAng aming teknikal na pangkat ay nagmula sa mga nangungunang institusyong pananaliksik sa loob ng bansa, at maaaring magbigay ng mas propesyonal na mga solusyon sa materyal.para sa iyo.

Patuloy kaming bumubuo ng mga advanced na proseso upang makapagbigay ng mas advanced na mga materyales,atay nakabuo ng isang eksklusibong patentadong teknolohiya, na maaaring gawing mas mahigpit ang pagkakadikit sa pagitan ng patong at ng substrate at hindi gaanong madaling matanggal.

Fmga katangian ng aming mga produkto:

1. Mataas na temperaturang resistensya sa oksihenasyon hanggang 1700℃.
2. Mataas na kadalisayan atpagkakapareho ng init
3. Napakahusay na resistensya sa kalawang: asido, alkali, asin at mga organikong reagent.
4. Mataas na katigasan, siksik na ibabaw, pinong mga partikulo.
5. Mas mahabang buhay ng serbisyo at mas matibay

CVD SiC薄膜基本物理性能 Mga pangunahing katangiang pisikal ng CVD SiCpatong
性质 / Ari-arian	典型数值 / Karaniwang Halaga
晶体结构 / Kayarian ng Kristal	FCC β phase多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3.21 g/cm³
硬度 / Katigasan	2500 维氏硬度（500g load）
晶粒大小 / Sukat ng Butil	2~10μm
纯度 / Kadalisayan ng Kemikal	99.99995%
热容 / Kapasidad ng Init	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura ng Sublimasyon	2700℃
抗弯强度 / Lakas ng Pagbaluktot	415 MPa RT 4-punto
杨氏模量 / Modulus ni Young	430 Gpa 4pt liko, 1300℃
导热系数 / ThermalKonduktibidad	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Pagpapalawak ng Init (CTE)	4.5×10^-6K^-1