SiC bevonatú hordószuszceptor

Rövid leírás:

A VET Energy SiC bevonatú hordós szuszceptor egy nagy teljesítményű termék, amelyet úgy terveztek, hogy hosszú távon is konzisztens és megbízható teljesítményt nyújtson. Szuper jó hőállósággal és hőegyenletességgel, nagy tisztasággal és erózióállósággal rendelkezik, így tökéletes megoldást kínál wafer feldolgozási alkalmazásokhoz.

 


  • Származási hely:Kína
  • Kristályszerkezet:FCCβ fázis
  • Sűrűség:3,21 g/cm³;
  • Keménység:2500 Vickers-féle;
  • Szemcseméret:2~10 μm;
  • Kémiai tisztaság:99,99995%;
  • Hőkapacitás:640 J·kg⁻¹·K⁻¹;
  • Szublimációs hőmérséklet:2700 ℃;
  • Hajlítóerő:415 MPa (RT 4-pontos);
  • Young modulusa:430 Gpa (4 pontos hajlítás, 1300 ℃);
  • Hőtágulás (CTE):4,5 10-6K-1;
  • Hővezető képesség:300 (W/MK);
  • Termék részletei

    Termékcímkék

    Hordószuszceptor is a kulcsfontosságúkülönféle félvezetőgyártási folyamatokban használt alkatrész.Szabadalmaztatott technológiánkat használjuk a gyártáshozhordószuszceptor-velrendkívül nagy tisztaságú,bevonategyenletességés kiváló élettartam, valamintmagas kémiai ellenálló képesség és hőstabilitási tulajdonságok.

    A VET energia aCVD bevonattal ellátott, egyedi grafit és szilícium-karbid termékek valódi gyártója,tud ellátnikülönfélefélvezető és fotovoltaikus ipar számára készült egyedi alkatrészek. OMűszaki csapatunk a vezető hazai kutatóintézetekből érkezik, így professzionálisabb anyagmegoldásokat tud nyújtani.érted.

    Folyamatosan fejlesztjük a fejlett folyamatokat, hogy fejlettebb anyagokat biztosítsunk,éskidolgoztak egy exkluzív, szabadalmaztatott technológiát, amely szorosabbá és kevésbé hajlamosabbá teszi a bevonat és az aljzat közötti kötést.

    Ftermékeink jellemzői:

    1. Magas hőmérsékletű oxidációs ellenállás akár 1700-ig.
    2. Nagy tisztaságú éshőegyenletesség
    3. Kiváló korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
    4. Nagy keménység, tömör felület, finom részecskék.
    5. Hosszabb élettartam és tartósabb

    szív- és érrendszeri betegségek SiC薄膜基本物理性能

    A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat

    性质 / Ingatlan

    典型数值 / Tipikus érték

    晶体结构 / Kristályszerkezet

    FCC β fázis多晶,主要为(111)取向

    密度 / Sűrűség

    3,21 g/cm³

    硬度 / Keménység

    2500 维氏硬度 (500 g-os töltet)

    晶粒大小 / Szemcseméret

    2~10 μm

    纯度 / Kémiai tisztaság

    99,99995%

    热容 / Hőkapacitás

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Szublimációs hőmérséklet

    2700 ℃

    抗弯强度 / Hajlítószilárdság

    415 MPa RT 4-pontos

    杨氏模量 / Young modulusa

    430 Gpa 4pt hajlítás, 1300 ℃

    导热系数 / ThermalVezetőképesség

    300 W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Hőtágulás (CTE)

    4,5 × 10-6K-1

    未标题-1

    1

    2

    Szeretettel várjuk gyárunkban, hogy megbeszélhessük a részleteket!

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • Előző:
  • Következő:

  • Online csevegés WhatsApp-on!