SiC dengtas barelio susceptorius

SiC dengto statinės susceptoriaus paveikslėlis

Trumpas aprašymas:

„VET Energy“ SiC dengtas cilindrinis susceptorius yra aukštos kokybės produktas, sukurtas užtikrinti pastovų ir patikimą veikimą ilgą laiką. Jis pasižymi itin geru atsparumu karščiui ir terminiu vienodumu, dideliu grynumu, atsparumu erozijai, todėl tai puikus sprendimas plokštelių apdorojimo reikmėms.

Kilmės vieta:Kinija

Kristalinė struktūra:FCCβ fazė

Tankis:3,21 g/cm³;

Kietumas:2500 Vikerso;

Grūdų dydis:2–10 μm;

Cheminis grynumas:99,99995 %;

Šilumos talpa:640 J·kg⁻¹·K⁻¹;

Sublimacijos temperatūra:2700 ℃;

Flexural stiprumas:415 MPa (RT 4 taškų);

Youngo modulis:430 Gpa (4 taškų lenkimas, 1300 ℃);

Šiluminis plėtimasis (CTE):4,5 10-6K-1;

Šilumos laidumas:300 (W/MK);

Siųskite mums el. laišką Atsisiųsti kaip PDF

Produkto informacija

Produkto žymės

Statinės susceptorius is a raktaskomponentas, naudojamas įvairiuose puslaidininkių gamybos procesuose.Mes naudojame savo patentuotą technologiją, kad pagamintumestatinės susceptoriussuitin didelis grynumas,gerasdangavienodumasir puikus tarnavimo laikas, taip pat irdidelis cheminis atsparumas ir terminis stabilumas.

Profesinio mokymo energija yra tastikras individualiai pritaikytų grafito ir silicio karbido gaminių su CVD danga gamintojas,gali tiektiįvairūspritaikytos dalys puslaidininkių ir fotovoltinių technologijų pramonei. OMūsų techninė komanda yra iš geriausių šalies mokslinių tyrimų institucijų, gali pasiūlyti profesionalesnių medžiagų sprendimųuž tave.

Nuolat tobuliname pažangius procesus, kad galėtume tiekti pažangesnes medžiagas,irsukūrė išskirtinę patentuotą technologiją, kuri gali sustiprinti dangos ir pagrindo sukibimą ir sumažinti jos atsiskyrimo tikimybę.

Fmūsų gaminių savybės:

1. Aukštos temperatūros oksidacijos atsparumas iki 1700℃.
2. Didelis grynumas irterminis vienodumas
3. Puikus atsparumas korozijai: rūgštims, šarmams, druskoms ir organiniams reagentams.
4. Didelis kietumas, kompaktiškas paviršius, smulkios dalelės.
5. Ilgesnis tarnavimo laikas ir patvaresnis

ŠSD SiC薄膜基本物理性能 Pagrindinės CVD SiC fizinės savybėsdanga
性质 / Nekilnojamasis turtas	典型数值 / Tipinė vertė
晶体结构 / Kristalų struktūra	FCC β fazė多晶，主要为（111）取向
密度 Tankis	3,21 g/cm³
硬度 / Kietumas	2500 维氏硬度 (500 g apkrova)
晶粒大小 Grūdų dydis	2–10 μm
纯度 / Cheminis grynumas	99,99995%
热容 / Šilumos talpa	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimacijos temperatūra	2700 ℃
抗弯强度 / Lenkimo stipris	415 MPa RT 4 taškų
杨氏模量 / Youngo modulis	430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃
导热系数 / TermalLaidumas	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Šiluminis plėtimasis (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1