SiC 코팅 배럴 서셉터

간략한 설명:

VET Energy SiC 코팅 배럴 서셉터는 장기간에 걸쳐 일관되고 안정적인 성능을 제공하도록 설계된 고성능 제품입니다. 탁월한 내열성 및 열 균일성, 높은 순도, 내식성을 갖추고 있어 웨이퍼 가공 애플리케이션에 최적의 솔루션입니다.

 


  • 원산지:중국
  • 결정 구조:FCCβ 단계
  • 밀도 :3.21 g/cm;
  • 경도:2500 비커스;
  • 입자 크기:2~10μm;
  • 화학적 순도:99.99995%;
  • 열용량 :640J·kg-1·K-1;
  • 승화 온도:2700℃;
  • 굴곡 강도 :415 MPa (RT 4점);
  • 영률:430 Gpa (4pt 굽힘, 1300℃);
  • 열팽창 계수(CTE):4.5 10-6K-1;
  • 열전도율:300(와트/킬로와트);
  • 제품 상세 정보

    제품 태그

    배럴 서셉터 is a 열쇠다양한 반도체 제조 공정에 사용되는 부품.저희는 특허 기술을 사용하여 제품을 만듭니다.배럴 서셉터~와 함께극도로 높은 순도,좋은코팅일률그리고 뛰어난 서비스 수명, 게다가높은 내화학성 및 열 안정성 특성을 지니고 있습니다.

    VET Energy는 그만큼CVD 코팅을 적용한 맞춤형 흑연 및 탄화규소 제품의 실제 제조업체입니다.공급 가능합니다다양한반도체 및 태양광 산업용 맞춤형 부품. O저희 기술팀은 국내 최고 연구기관 출신으로 구성되어 더욱 전문적인 소재 솔루션을 제공할 수 있습니다.당신을 위한.

    우리는 더욱 우수한 소재를 제공하기 위해 첨단 공정을 지속적으로 개발하고 있습니다.그리고코팅과 기판 사이의 접착력을 강화하고 박리 가능성을 줄이는 독점적인 특허 기술을 개발했습니다.

    F저희 제품의 특징:

    1. 최대 1700℃의 고온 산화 저항성.
    2. 높은 순도 및열 균일성
    3. 뛰어난 내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약에 강함.
    4. 높은 경도, 치밀한 표면, 미세한 입자.
    5. 더 긴 수명과 뛰어난 내구성

    심혈관계 질환 SiC薄膜基本식물리성能

    CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅

    성별 / 재산

    典型数值 / 일반적인 값

    晶体结构 결정 구조

    FCC β상多晶,主要为(111) 取向

    크기 / 밀도

    3.21 g/cm³

    정도 경도

    2500 维氏硬도(500g 부하)

    晶粒大小 / 곡물 크기

    2~10μm

    정도 화학적 순도

    99.99995%

    발열 / 열용량

    640 J·kg-1·케이-1

    升华温도 승화 온도

    2700℃

    抗弯强島 굽힘 강도

    415 MPa RT 4점

    杨氏模량 / 영률

    430 Gpa 4점 굽힘, 1300℃

    导熭系数 / 써마전도도

    300W·m-1·케이-1

    热膨胀系数 열팽창(CTE)

    4.5×10-6K-1

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    저희 공장 방문을 진심으로 환영합니다! 더 자세한 이야기를 나눠보도록 하겠습니다.

     

    生产设备

     

    공사客户

     


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