Susceptor de barril recubierto de SiC

Breve descripción:

El susceptor cilíndrico recubierto de SiC de VET Energy es un producto de alto rendimiento diseñado para ofrecer un desempeño constante y confiable durante un período prolongado. Posee una excelente resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que lo convierte en la solución perfecta para aplicaciones de procesamiento de obleas.

Lugar de origen:Porcelana

Estructura cristalina:Fase FCCβ

Densidad :3,21 g/cm;

Dureza:2500 Vickers;

Tamaño del grano:2~10 μm;

Pureza química:99,99995%;

Capacidad calorífica:640 J·kg⁻¹·K⁻¹;

Temperatura de sublimación:2700℃;

Fuerza flexural:415 MPa (RT de 4 puntos);

Módulo de Young:430 GPa (flexión de 4 puntos, 1300 ℃);

Expansión térmica (CTE):4.5 10-6K-1;

Conductividad térmica:300 (W/MK);

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Detalles del producto

Etiquetas de producto

Susceptor de barril is a llaveComponente utilizado en diversos procesos de fabricación de semiconductores.Utilizamos nuestra tecnología patentada para fabricar elsusceptor de barrilconpureza extremadamente alta,bienrevestimientouniformidady una excelente vida útil, así comoAlta resistencia química y propiedades de estabilidad térmica.

VET Energy es elFabricante real de productos personalizados de grafito y carburo de silicio con recubrimiento CVD,puede suministrarvariosComponentes personalizados para la industria de semiconductores y fotovoltaica. ONuestro equipo técnico proviene de las mejores instituciones de investigación nacionales y puede proporcionar soluciones de materiales más profesionales.para ti.

Desarrollamos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiales más avanzados,yHan desarrollado una tecnología exclusiva patentada que permite una unión más firme entre el recubrimiento y el sustrato, reduciendo la probabilidad de desprendimiento.

FCaracterísticas de nuestros productos:

1. Alta resistencia a la oxidación a temperaturas de hasta 1700℃.
2. Alta pureza yuniformidad térmica
3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Mayor vida útil y mayor durabilidad.

Enfermedad cardiovascular SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas del SiC CVDrevestimiento
性质 / Propiedad	典型数值 / Valor típico
晶体结构 Estructura cristalina	Fase β de la FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 libras (carga de 500 g)
晶粒大小 / Tamaño del grano	2~10 μm
纯度 Pureza química	99,99995%
热容 Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Temperatura de sublimación	2700℃
抗弯强度 / Resistencia a la flexión	415 MPa RT 4 puntos
杨氏模量 Módulo de Young	430 GPa, codo de 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductividad	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1