Susceptor de cano revestido com SiC

Imagem em destaque do Susceptor com revestimento de SiC

Descrição resumida:

O Susceptor de Barril Revestido com SiC da VET Energy é um produto de alto desempenho projetado para fornecer desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafers.

Local de origem:China

Estrutura cristalina:Fase FCCβ

Densidade:3,21 g/cm;

Dureza:2500 Vickers;

Tamanho do grão:2~10μm;

Pureza química:99,99995%;

Capacidade térmica:640J·kg-1·K-1;

Temperatura de sublimação:2700℃;

Força flexural femoral:415 MPa (RT 4-Point);

Módulo de Young:430 GPa (curvatura de 4 pontos, 1300℃);

Dilatação Térmica (CTE):4,5 10-6K-1;

Condutividade térmica:300 (W/MK);

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Detalhes do produto

Etiquetas do produto

susceptor de cano is a chaveComponente utilizado em diversos processos de fabricação de semicondutores.Utilizamos nossa tecnologia patenteada para fabricar osupressor de canocompureza extremamente alta,bomrevestimentouniformidadee uma excelente vida útil, assim comoelevada resistência química e propriedades de estabilidade térmica.

A VET Energy é oFabricante genuíno de produtos personalizados de grafite e carbeto de silício com revestimento CVD.pode fornecerváriosPeças personalizadas para a indústria de semicondutores e fotovoltaica. ONossa equipe técnica é formada por profissionais das principais instituições de pesquisa nacionais, podendo oferecer soluções de materiais mais especializadas.para você.

Desenvolvemos continuamente processos avançados para fornecer materiais mais sofisticados.eDesenvolvemos uma tecnologia patenteada exclusiva que permite uma adesão mais forte entre o revestimento e o substrato, reduzindo a propensão ao desprendimento.

FCaracterísticas dos nossos produtos:

1. Alta resistência à oxidação em temperaturas de até 1700 °C.℃.
2. Alta pureza euniformidade térmica
3. Excelente resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sais e reagentes orgânicos.
4. Alta dureza, superfície compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e maior durabilidade

DCV SiC薄膜基本物理性能 Propriedades físicas básicas do SiC CVDrevestimento
性质 / Propriedade	典型数值 Valor típico
晶体结构 / Estrutura Cristalina	Fase β do FCC多晶, 主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 unidades (carga de 500g)
晶粒大小 / Tamanho do Grão	2~10μm
纯度 / Pureza Química	99,99995%
热容 Capacidade térmica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Temperatura de sublimação	2700℃
抗弯强度 / Resistência à Flexão	415 MPa RT 4 pontos
杨氏模量 Módulo de Young	430 GPa, curvatura de 4 pontos, 1300 °C
导热系数 / TermalCondutividade	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansão Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1