Sospensore a canna rivestito in SiC

Immagine in evidenza del supporto della canna rivestito in SiC

Breve descrizione:

Il supporto cilindrico rivestito in SiC di VET Energy è un prodotto ad alte prestazioni progettato per fornire prestazioni costanti e affidabili per un lungo periodo. Vanta un'eccellente resistenza al calore e uniformità termica, elevata purezza e resistenza all'erosione, caratteristiche che lo rendono la soluzione ideale per le applicazioni di lavorazione dei wafer.

Luogo di origine:Cina

Struttura cristallina:fase FCCβ

Densità:3,21 g/cm;

Durezza:2500 Vickers;

Dimensione dei grani:2~10 μm;

Purezza chimica:99,99995%;

Capacità termica:640 J·kg-1·K-1;

Temperatura di sublimazione:2700℃;

Forza flessoria:415 MPa (RT 4-Point);

Modulo di Young:430 GPa (piegamento a 4 punti, 1300℃);

Dilatazione termica (CTE):4,5 10-6K-1;

Conduttività termica:300 (W/mK);

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Dettagli del prodotto

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Sospensione della canna is a chiavecomponente utilizzato in diversi processi di produzione di semiconduttori.Utilizziamo la nostra tecnologia brevettata per realizzare ilsospensore a barileconpurezza estremamente elevata,Benerivestimentouniformitàe un'eccellente durata di servizio, così comeelevate proprietà di resistenza chimica e stabilità termica.

VETF Energy è ILvero produttore di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con rivestimento CVD,può fornirevariComponenti personalizzati per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico. OIl nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali ed è in grado di fornire soluzioni materiali più professionali.per te.

Sviluppiamo continuamente processi avanzati per fornire materiali più avanzati,Ehanno sviluppato una tecnologia brevettata esclusiva, in grado di rendere l'adesione tra il rivestimento e il substrato più forte e meno soggetta al distacco.

FCaratteristiche dei nostri prodotti:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700 °C°C.
2. Elevata purezza euniformità termica
3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sali e reagenti organici.
4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
5. Maggiore durata e maggiore resistenza

Malattia cardiovascolare SiC薄膜基本物理性能 Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento
性质 / Proprietà	典型数值 / Valore tipico
晶体结构 / Struttura cristallina	Fase β FCC多晶,主要为（111）取向
密度 / Densità	3,21 g/cm³
硬度 / Durezza	2500 tonnellate di carico (carico di 500 g)
晶粒大小 / Dimensione del grano	2~10μm
纯度 / Purezza chimica	99,99995%
热容 / Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura di sublimazione	2700℃
抗弯强度 / Resistenza alla flessione	415 MPa RT 4 punti
杨氏模量 Modulo di Young	430 GPa piegatura a 4 punti, 1300℃
导热系数 / ThermalConduttività	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Dilatazione termica (CTE)	4,5×10^-6K^-1