Mataas na Kadalisayan na Quartz Boat para sa Pagproseso ng Wafer

Bangka ng Quartz Waferay isang mahalagang kagamitang pangkarga sa paggawa ng semiconductor, produksyon ng photovoltaic cell, at makabagong pananaliksik at pagpapaunlad ng materyal, na idinisenyo para sa matatag na paglilipat at pagpoposisyon ng wafer sa mga prosesong may mataas na temperatura. Ang produktong ito ay gawa sa ultra-high purity fused silica (SiO2), na may mahusay na resistensya sa temperatura, katatagan ng kemikal, at mga katangian ng ultra-low metal contamination, na angkop para sa diffusion furnace, oxidation furnace, PECVD/LPCVD at iba pang kagamitan, at malawakang ginagamit sa wafer coating, ion implantation, high temperature annealing, at iba pang pangunahing proseso.

Ang Mga Pangunahing Bentahe ng quartz boat ng VET Energy:

• Materyal na may napakataas na kadalisayan
  Kadalisayan ≥99.99%: Nilalaman ng karumihan (Na, K, Fe, atbp.) <5ppm, iniiwasan ang kontaminasyon ng wafer at ginagarantiyahan ang ani ng chip.
  Mababang presipitasyon at adsorption: ang ibabaw ay super-polish (Ra≤0.4μm) upang mabawasan ang pagdikit ng particle at nalalabi ng gas.
• Mataas na katatagan ng temperatura
  Limitasyon sa temperatura: Pangmatagalang temperatura ng pagtatrabaho na 1100℃, panandaliang tugatog na 1300℃, walang deformasyon, walang kristal na presipitasyon.
  Mababang thermal expansion coefficient (5.5x10-7/℃), mahusay na thermal shock resistance, madaling ibagay sa mabilis na pagtaas at pagbaba ng temperatura (hal. RTP rapid annealing).
• Tumpak na disenyo ng istruktura
  Katumpakan ng puwang ±0.1mm: pagtutugma ng 2” hanggang 12” na mga wafer, error sa pagkakapareho ng espasyo <0.05mm, tinitiyak na walang offset ang mga wafer.
  Mataas na kapasidad ng karga: Pinakamataas na karga na 50 wafer (sa mga tuntunin ng 12” wafer) sa isang bangka, na sumusuporta sa matatag na paglilipat ng manipis na wafer (≥100um).
• Kemikal na kawalan ng bisa
  Paglaban sa kalawang: Lumalaban sa acid (maliban sa HF), alkali at organic solvent corrosion, tugma sa proseso ng paglilinis ng CMP.
  Napakahusay na higpit ng gas: Bilis ng tagas <5x10-10 Pa.m3/s, angkop para sa mga kapaligirang vacuum at proteksiyon na gas.
• Mahabang buhay at kakayahang mapanatili
  Ang inaasahang haba ng buhay ay ≥ 5000 cycle (normal na kondisyon ng pagtatrabaho), ang ibabaw ay maaaring paulit-ulit na linisin at gamitin, na binabawasan ang kabuuang gastos.
  Disenyong modular: sumusuporta sa bahagyang pagpapalit (hal. nag-iisang ngipin ng bangka), na binabawasan ang downtime.

Nag-aalok kami ng parehong transparent at frosted na mga ibabaw ayon sa mga kinakailangan ng customer:

Ang Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. ay isang high-tech na negosyo na nakatuon sa produksyon at pagbebenta ng mga high-end na advanced na materyales, kabilang ang mga materyales at teknolohiyang graphite, silicon carbide, ceramics, surface treatment tulad ng SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, atbp., ang mga produktong ito ay malawakang ginagamit sa photovoltaic, semiconductor, new energy, metalurhiya, atbp.

Ang aming pangkat teknikal ay nagmula sa mga nangungunang institusyong pananaliksik sa loob ng bansa, at nakabuo ng maraming patentadong teknolohiya upang matiyak ang pagganap at kalidad ng produkto, at maaari ring magbigay sa mga customer ng mga propesyonal na solusyon sa materyal.