SiC Kaplı Namlu Susceptor

Kısa Açıklama:

VET Energy SiC Kaplı Varil Tipi Isı Alıcısı, uzun bir süre boyunca tutarlı ve güvenilir performans sağlamak üzere tasarlanmış yüksek performanslı bir üründür. Süper iyi ısı direnci ve termal homojenliği, yüksek saflığı ve aşınma direnci sayesinde, wafer işleme uygulamaları için mükemmel bir çözümdür.

Menşe Yeri:Çin

Kristal Yapısı:FCCβ fazı

Yoğunluk :3,21 g/cm;

Sertlik:2500 Vickers;

Tane Boyutu:2~10 μm;

Kimyasal Saflık:%99,99995;

Isı Kapasitesi:640J·kg-1·K-1;

Süblimasyon Sıcaklığı:2700℃;

Eğilme Kuvveti:415 MPa (RT 4 Nokta);

Young Modülü:430 Gpa (4 noktalı bükme, 1300℃);

Termal Genleşme (CTE):4.5 10-6K-1;

Isı İletkenliği:300 (W/MK);

Bize e-posta gönderin PDF olarak indir

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

Namlu tutucu is a anahtarÇeşitli yarı iletken üretim süreçlerinde kullanılan bir bileşen.Patentli teknolojimizi kullanarak üretiyoruz.varil taşıyıcıileson derece yüksek saflıkta,iyikaplamatekdüzelikve mükemmel bir hizmet ömrü, birlikteYüksek kimyasal direnç ve termal kararlılık özelliklerine sahiptir.

VET Energy oCVD kaplamalı, özel tasarım grafit ve silisyum karbür ürünlerinin gerçek üreticisi.tedarik edebilirçeşitliYarı iletken ve fotovoltaik endüstrisi için özel üretim parçalar. OTeknik ekibimiz, yurt içindeki önde gelen araştırma kurumlarından gelmektedir ve daha profesyonel malzeme çözümleri sunabilmektedir.senin için.

Daha gelişmiş malzemeler sağlamak için sürekli olarak ileri süreçler geliştiriyoruz.VeKaplama ile alt tabaka arasındaki bağı daha sıkı ve ayrılmaya daha az eğilimli hale getirebilen, özel olarak patentlenmiş bir teknoloji geliştirdiler.

FÜrünlerimizin özellikleri:

1. 1700 dereceye kadar yüksek sıcaklık oksidasyon direnci℃.
2. Yüksek saflık vetermal homojenlik
3. Mükemmel korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktiflere karşı dayanıklıdır.
4. Yüksek sertlik, kompakt yüzey, ince parçacıklar.
5. Daha uzun kullanım ömrü ve daha dayanıklı

CVD SiCAmerika Birleşik Devletleri CVD SiC'nin temel fiziksel özelliklerikaplama
性质 / Mülk	典型数值 / Tipik Değer
晶体结构 / Kristal Yapısı	FCC β fazı多晶,主要为（111)
密度 / Yoğunluk	3,21 g/cm³
硬度 / Sertlik	2500 kg yük (500g yük)
晶粒大小 / Tane Boyutu	2~10 μm
纯度 / Kimyasal Saflık	99.99995%
热容 / Isı Kapasitesi	640 J·kg^-1K^-1
Amerika Birleşik Devletleri / Süblimasyon Sıcaklığı	2700℃
抗弯强度 / Eğilme Mukavemeti	415 MPa RT 4 noktalı
杨氏模量 / Young Modülü	430 Gpa 4 noktalı büküm, 1300℃
导热系数 / Thermalİletkenlik	300W·m^-1K^-1
Amerika Birleşik Devletleri / Termal Genleşme (CTE)	4,5×10^-6K^-1