SiC-kovrita barela susceptoro

Mallonga Priskribo:

La barela susceptoro VET Energy SiC-kovrita estas alt-efikeca produkto desegnita por provizi konstantan kaj fidindan funkciadon dum plilongigita periodo. Ĝi havas superbonan varmoreziston kaj termikan homogenecon, altan purecon, erozioreziston, igante ĝin la perfekta solvo por aplikoj por prilaborado de vaflaĵoj.

Originloko:Ĉinio

Kristala strukturo:FCCβ-fazo

Denseco:3,21 g/cm³;

Malmoleco:2500 Vickeroj;

Grengrandeco:2~10μm;

Kemia Pureco:99,99995%;

Varmokapacito:640J·kg⁻¹·K⁻¹;

Sublimada Temperaturo:2700℃;

Fleksa Forto:415 Mpa (RT 4-punkta);

Modulo de Young:430 Gpa (4pt-kurbiĝo, 1300℃);

Termika Ekspansio (CTE):4.5 10-6K-1;

Termika Konduktiveco:300（V/MK）;

Sendu retpoŝton al ni Elŝuti kiel PDF

Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

Barela susceptoro is a ŝlosilokomponanto uzata en diversaj procezoj de fabrikado de semikonduktaĵoj.Ni uzas nian patentitan teknologion por fari labarela susceptorokunekstreme alta pureco,bonategaĵohomogenecokaj bonega servodaŭro, same kielalta kemia rezisto kaj termika stabileco.

VET Energio estas lavera fabrikanto de personecigitaj grafito- kaj siliciokarbido-produktoj kun CVD-tegaĵo,povas provizidiversajadaptitaj partoj por la duonkonduktaĵa kaj fotovoltaika industrio. Onia teknika teamo venas de ĉefaj hejmaj esplorinstitucioj, povas provizi pli profesiajn materialajn solvojnpor vi.

Ni senĉese evoluigas progresintajn procezojn por provizi pli progresintajn materialojn,kajellaboris ekskluzivan patentitan teknologion, kiu povas igi la ligadon inter la tegaĵo kaj la substrato pli densa kaj malpli ema al disiĝo.

Ftrajtoj de niaj produktoj:

1. Rezisto al oksidiĝo al alta temperaturo ĝis 1700℃.
2. Alta pureco kajtermika homogeneco
3. Bonega korodrezisto: acido, alkalo, salo kaj organikaj reakciiloj.
4. Alta malmoleco, kompakta surfaco, fajnaj eroj.
5. Pli longa servodaŭro kaj pli daŭra

KVM SiC薄膜基本物理性能 Bazaj fizikaj ecoj de CVD SiCtegaĵo
性质 / Nemoveblaĵo	典型数值 / Tipa Valoro
晶体结构 / Kristala strukturo	FCC β fazo多晶，主要为（111）取向
密度 / Denseco	3,21 g/cm³
硬度 / Malmoleco	2500 维氏硬度（500g ŝarĝo）
晶粒大小 / Grengrandeco	2~10μm
纯度 / Kemia Pureco	99.99995%
热容 / Varmokapacito	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimada Temperaturo	2700℃
抗弯强度 / Fleksa Forto	415 MPa RT 4-punkta
杨氏模量 / Modulo de Young	430 Gpa 4pt kurbo, 1300℃
导热系数 / TermolKonduktiveco	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 Termika Ekspansio (CTE)	4.5×10^-6K^-1