Силициево-цилиндричен цилиндър с покритие от цилиндър

Тосцеприемник с покритие от SiC, представено изображение

Кратко описание:

Токоприемникът VET Energy SiC Coated Barrel Susceptor е високопроизводителен продукт, проектиран да осигурява постоянна и надеждна работа за продължителен период от време. Той има супер добра топлоустойчивост и термична равномерност, висока чистота и устойчивост на ерозия, което го прави идеалното решение за приложения за обработка на пластини.

Място на произход:Китай

Кристална структура:FCCβ фаза

Плътност:3,21 г/см;

Твърдост:2500 Викерс;

Размер на зърното:2~10μm;

Химическа чистота:99,99995%;

Топлинен капацитет:640 Дж·кг-1·К-1;

Температура на сублимация:2700℃;

Фелексурална сила:415 Mpa (RT 4-точков);

Модул на Юнг:430 Gpa (4pt огъване, 1300℃);

Термично разширение (КТР):4,5 × 10⁻⁶⁻¹;

Топлопроводимост:300 (W/MK);

Изпратете ни имейл Изтегляне като PDF

Детайли за продукта

Етикети на продукти

Барелен сусцептор is a ключкомпонент, използван в различни процеси за производство на полупроводници.Използваме нашата патентована технология, за да направимбъчвовиден токусцепторсизключително висока чистота,добърпокритиееднородности отличен експлоатационен живот, както ивисока химическа устойчивост и термична стабилност.

VET Energy е наистински производител на персонализирани графитни и силициево-карбидни продукти с CVD покритие,може да доставиразличниперсонализирани части за полупроводниковата и фотоволтаичната промишленост. OНашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции и може да предостави по-професионални решения за материали.за теб.

Ние непрекъснато разработваме усъвършенствани процеси, за да предоставяме по-съвременни материали,иразработиха ексклузивна патентована технология, която може да направи връзката между покритието и основата по-здрава и по-малко податлива на отлепване.

Fхарактеристики на нашите продукти:

1. Устойчивост на окисляване при висока температура до 1700℃.
2. Висока чистота итермична еднородност
3. Отлична устойчивост на корозия: киселини, основи, соли и органични реагенти.
4. Висока твърдост, компактна повърхност, фини частици.
5. По-дълъг експлоатационен живот и по-издръжлив

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основни физични свойства на CVD SiCпокритие
性质 / Имот	典型数值 / Типична стойност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111) 取向
密度 / Плътност	3,21 г/см³
硬度 / Твърдост	2500 维氏硬度（500g товар）
晶粒大小 / Размер на зърното	2~10μm
纯度 / Химическа чистота	99,99995%
热容 / Топлинен капацитет	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура на сублимация	2700℃
抗弯强度 / Якост на огъване	415 MPa RT 4-точков
杨氏模量 / Модул на Юнг	430 Gpa 4pt огъване, 1300℃
导热系数 / ТермалПроводимост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / Термично разширение (CTE)	4,5×10^-6K^-1