Покрытие ствола из карбида кремния

Изображение ствольного подствольного устройства с покрытием из карбида кремния.

Краткое описание:

Цилиндрический подложечный элемент VET Energy с покрытием из карбида кремния (SiC) — это высокоэффективный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода времени. Он обладает превосходной термостойкостью и равномерностью распределения тепла, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает его идеальным решением для обработки кремниевых пластин.

Место происхождения:Китай

Кристаллическая структура:Фаза FCCβ

Плотность :3,21 г/см;

Твердость:2500 Виккерс;

Размер зерна:2–10 мкм;

Химическая чистота:99,99995%;

Теплоемкость:640 Дж·кг⁻¹·К⁻¹;

Температура сублимации:2700℃;

Сила сгибания:415 МПа (RT 4-точечный метод);

Модуль Юнга:430 ГПа (четырехточечный изгиб, 1300℃);

Коэффициент теплового расширения (КТР):4.5 10-6K-1;

Теплопроводность:300 (Вт/МК);

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Подробная информация о товаре

Метки товаров

Стволовой сусептор is a ключКомпонент, используемый в различных процессах производства полупроводников.Мы используем нашу запатентованную технологию для производстваствольный сусепторсчрезвычайно высокая чистота,хорошийпокрытиеединообразиеи превосходный срок службы, а такжеОбладает высокой химической стойкостью и термической стабильностью.

VET Energy — это тотНастоящий производитель изделий из графита и карбида кремния, изготовленных по индивидуальному заказу с использованием CVD-покрытия.может поставлятьразличныйИзготовление деталей на заказ для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. OНаша техническая команда состоит из специалистов ведущих отечественных научно-исследовательских институтов, что позволяет нам предлагать более профессиональные решения в области материалов.для тебя.

Мы постоянно совершенствуем технологические процессы для производства более совершенных материалов.иРазработана эксклюзивная запатентованная технология, позволяющая сделать сцепление между покрытием и подложкой более прочным и менее склонным к отслоению.

FХарактеристики нашей продукции:

1. Высокая термостойкость к окислению до 1700 °C.℃.
2. Высокая чистота итермическая однородность
3. Превосходная коррозионная стойкость: к кислотам, щелочам, солям и органическим реагентам.
4. Высокая твердость, плотная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и большая долговечность.

ССВ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие
性质 / Свойство	典型数值 / Типичное значение
晶体结构 Кристаллическая структура	β-фаза ГЦК多晶,主要为（111）取向
密度 / Плотность	3,21 г/см³
硬度 / Твердость	2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)
晶粒大小 / Размер зерна	2–10 мкм
纯度 / Химическая чистота	99,99995%
热容 / Теплоемкость	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 Температура сублимации	2700℃
抗弯强度 / Прочность на изгиб	415 МПа RT 4-точечный
杨氏模量 Модуль Юнга	4-точечный изгиб 430 ГПа, 1300℃
导热系数 / ТермалПроводимость	300 Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Коэффициент теплового расширения (КТР)	4,5×10^-6K^-1