SiC-belagd pipmotståndare

Kort beskrivning:

VET Energy SiC-belagd barrel-susceptor är en högpresterande produkt utformad för att ge konsekvent och pålitlig prestanda över en längre period. Den har supergod värmebeständighet och termisk likformighet, hög renhet och erosionsbeständighet, vilket gör den till den perfekta lösningen för waferbearbetningsapplikationer.

 


  • Ursprungsort:Kina
  • Kristallstruktur:FCCβ-fasen
  • Densitet:3,21 g/cm²;
  • Hårdhet:2500 Vickers;
  • Kornstorlek:2~10 μm;
  • Kemisk renhet:99,99995 %;
  • Värmekapacitet:640 J·kg⁻¹·K⁻¹;
  • Sublimeringstemperatur:2700 ℃;
  • Felexural styrka:415 MPa (RT 4-punkts);
  • Youngs modul:430 Gpa (4pt böjning, 1300℃);
  • Termisk expansion (CTE):4,5 10-6K-1;
  • Värmeledningsförmåga:300 (W/MK);
  • Produktinformation

    Produktetiketter

    Tunnmottagare is a nyckelKomponenter som används i olika halvledartillverkningsprocesser.Vi använder vår patenterade teknik för att tillverkapipmottagaremedextremt hög renhet,brabeläggningenhetlighetoch en utmärkt livslängd, såväl somhög kemisk resistens och termiska stabilitetsegenskaper.

    VET Energy är deriktig tillverkare av kundanpassade grafit- och kiselkarbidprodukter med CVD-beläggning,kan levereraolikaanpassade delar för halvledar- och solcellsindustrin. OVårt tekniska team kommer från topprankade inhemska forskningsinstitutioner och kan erbjuda mer professionella materiallösningarför dig.

    Vi utvecklar kontinuerligt avancerade processer för att tillhandahålla mer avancerade material,ochhar utarbetat en exklusiv patenterad teknik som kan göra bindningen mellan beläggningen och underlaget tätare och mindre benägen att lossna.

    Fegenskaper hos våra produkter:

    1. Högtemperaturoxidationsbeständighet upp till 1700.
    2. Hög renhet ochtermisk likformighet
    3. Utmärkt korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
    4. Hög hårdhet, kompakt yta, fina partiklar.
    5. Längre livslängd och mer hållbar

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning

    性质 / Fastighet

    典型数值 / Typiskt värde

    晶体结构 / Kristallstruktur

    FCC β-fas多晶,主要为(111)取向

    密度 / Densitet

    3,21 g/cm³

    硬度 / Hårdhet

    2500 维氏硬度(500g last)

    晶粒大小 / Kornstorlek

    2~10 μm

    纯度 / Kemisk renhet

    99,99995 %

    热容 / Värmekapacitet

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Sublimeringstemperatur

    2700 ℃

    抗弯强度 / Böjhållfasthet

    415 MPa RT 4-punkts

    杨氏模量 / Youngs modul

    430 Gpa 4pt böjning, 1300 ℃

    导热系数 / TermajagLedningsförmåga

    300W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE)

    4,5×10-6K-1

    未标题-1

    1

    2

    Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera det vidare!

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • Tidigare:
  • Nästa:

  • WhatsApp onlinechatt!