Susceptor Laras Dilapisi SiC

Gambar Unggulan Susceptor Laras Berlapis SiC

Katrangan Cekak:

VET Energy SiC Coated Barrel Susceptor minangka produk kinerja dhuwur sing dirancang kanggo nyedhiyakake kinerja sing konsisten lan dipercaya sajrone wektu sing suwe. Produk iki nduweni tahan panas lan keseragaman termal sing apik banget, kemurnian dhuwur, tahan erosi, saengga dadi solusi sing sampurna kanggo aplikasi pangolahan wafer.

Panggonan Asal:Tiongkok

Struktur Kristal:Fase FCCβ

Kapadhetan:3,21 g/cm³;

Kekerasan:2500 Vickers;

Ukuran Gandum:2~10μm;

Kemurnian Kimia:99.99995%;

Kapasitas Panas:640J·kg-1·K-1;

Suhu Sublimasi:2700℃;

Kekuatan Feleksural:415 Mpa (RT 4-Titik);

Modulus Young:430 IPK (tikungan 4pt, 1300℃);

Ekspansi Termal (CTE):4.5 10-6K-1;

Konduktivitas Termal:300（W/MK）;

Kirim email menyang kita Unduh minangka PDF

Rincian Produk

Tag Produk

Suseptor laras is a kuncikomponen sing digunakake ing macem-macem proses manufaktur semikonduktor.Kita nggunakake teknologi sing dipatenake kanggo nggawesuseptor laraskarokemurnian sing dhuwur banget,apiklapisankeseragamanlan umur layanan sing apik banget, ugatahan kimia lan sifat stabilitas termal sing dhuwur.

Energi VET yaiku ingProdusen nyata produk grafit lan silikon karbida khusus nganggo lapisan CVD,bisa nyedhiyakakemacem-macembagean khusus kanggo industri semikonduktor lan fotovoltaik. OTim teknis sampeyan asale saka institusi riset domestik paling dhuwur, bisa nyedhiyakake solusi materi sing luwih profesionalkanggo kowé.

Kita terus ngembangake proses canggih kanggo nyedhiyakake bahan sing luwih canggih,lanwis nggarap teknologi sing dipatenake eksklusif, sing bisa nggawe ikatan antarane lapisan lan substrat luwih kenceng lan ora gampang copot.

FFitur-fitur produk kita:

1. Tahan oksidasi suhu dhuwur nganti 1700℃.
2. Kemurnian dhuwur lankeseragaman termal
3. Resistensi korosi sing apik banget: reagen asam, alkali, uyah lan organik.
4. Kekerasan dhuwur, permukaan kompak, partikel alus.
5. Umur layanan luwih dawa lan luwih awet

CVD (Kerusakan Jantung) SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dhasar CVD SiClapisan
性质 / Properti	典型数值 / Nilai Khas
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 Kapadhetan	3,21 g/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（500g beban）
晶粒大小 / Ukuran Gandum	2 ~ 10μm
纯度 / Kemurnian Kimia	99.99995%
热容 Kapasitas Panas	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Sublimasi	2700℃
抗弯强度 / Kekuwatan Fleksibel	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 / Modulus Young	430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃
导热系数 / TermalKonduktivitas	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)	4.5×10^-6K^-1