Kifaa cha Kuzuia Pipa Kilichofunikwa na SiC

Picha Iliyoangaziwa ya Susceptor ya Pipa Iliyofunikwa na SiC

Maelezo Mafupi:

VET Energy SiC Coated Barrel Susceptor ni bidhaa yenye utendaji wa hali ya juu iliyoundwa ili kutoa utendaji thabiti na wa kuaminika kwa muda mrefu. Ina upinzani mzuri wa joto na usawa wa joto, usafi wa hali ya juu, upinzani wa mmomonyoko, na kuifanya kuwa suluhisho bora kwa matumizi ya usindikaji wa wafer.

Mahali pa Asili:Uchina

Muundo wa Fuwele:Awamu ya FCCβ

Uzito:3.21 g/cm;

Ugumu:Vickers 2500;

Ukubwa wa Nafaka:2 ~ 10μm;

Usafi wa Kemikali:99.99995%;

Uwezo wa Joto:640J·kg-1·K-1;

Joto la Usablimishaji:2700°C;

Nguvu ya Feleksiamu:415 MPA (RT Pointi 4);

Moduli ya Vijana:430 Gpa (mkunjo wa 4pt, 1300℃);

Upanuzi wa Joto (CTE):4.5 10-6K-1;

Uendeshaji wa joto:300（W/MK）;

Tutumie barua pepe Pakua kama PDF

Maelezo ya Bidhaa

Lebo za Bidhaa

Kifaa cha kunyonya pipa is a ufunguosehemu inayotumika katika michakato mbalimbali ya utengenezaji wa nusu-semiconductor.Tunatumia teknolojia yetu yenye hati miliki kutengenezakifaa cha kusukuma pipanausafi wa hali ya juu sana,nzurimipakousawana maisha bora ya huduma, pamoja naupinzani mkubwa wa kemikali na sifa za utulivu wa joto.

Nishati ya VET ni yamtengenezaji halisi wa bidhaa za grafiti na kabidi ya silikoni zilizobinafsishwa zenye mipako ya CVD,inaweza kusambazambalimbalisehemu zilizobinafsishwa kwa tasnia ya semiconductor na photovoltaic. OTimu yako ya kiufundi inatoka katika taasisi za utafiti za ndani, inaweza kutoa suluhisho zaidi za kitaalamukwa ajili yako.

Tunaendelea kutengeneza michakato ya hali ya juu ili kutoa vifaa vya hali ya juu zaidi,nawamefanyia kazi teknolojia ya kipekee yenye hati miliki, ambayo inaweza kufanya uhusiano kati ya mipako na substrate kuwa mgumu na usioweza kutengana sana.

FMisingi ya bidhaa zetu:

1. Upinzani wa oksidi ya joto la juu hadi 1700℃.
2. Usafi wa hali ya juu nausawa wa joto
3. Upinzani bora wa kutu: asidi, alkali, chumvi na vitendanishi vya kikaboni.
4. Ugumu mkubwa, uso mdogo, chembe ndogo.
5. Maisha marefu ya huduma na ya kudumu zaidi

CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifa za kimsingi za kimwili za CVD SiCmipako
性质 / Mali	典型数值 / Thamani ya Kawaida
晶体结构 / Muundo wa Fuwele	Awamu ya FCC β多晶，主要為（111）取向
密度 / Uzito	3.21 g/cm³
硬度 / Ugumu	2500 维氏硬度 (mzigo wa 500g)
晶粒大小 / Ukubwa wa Nafaka	2 ~ 10μm
纯度 / Usafi wa Kemikali	99.99995%
热容 / Uwezo wa Joto	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Halijoto ya Usablimishaji	2700℃
抗弯强度 / Nguvu ya Kunyumbulika	415 MPa RT pointi 4
杨氏模量 / Moduli ya Vijana	430 Gpa 4pt mkunjo, 1300℃
导热系数 / ThermalUpitishaji	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Upanuzi wa Joto (CTE)	4.5×10^-6K^-1