דורכברוך סיק וווּקס שליסל קערן מאַטעריאַל

ווען סיליקאָן קאַרבייד קריסטאַל וואַקסט, איז די "סביבה" פון דער וואוקס-צווישן צווישן דעם אַקסיאַלן צענטער פונעם קריסטאַל און דעם ראַנד אַנדערש, אַזוי אַז דער קריסטאַל-דרוק אויפן ראַנד פאַרגרעסערט זיך, און דער קריסטאַל-ראַנד קען גרינג פּראָדוצירן "קאָמפּרעהענסיווע חסרונות" צוליב דעם איינפלוס פונעם גראַפיט-שטאָפּ-רינג "קאַרבאָן", ווי אַזוי צו סאָלווען דעם ראַנד-פּראָבלעם אָדער פאַרגרעסערן דעם עפעקטיוון שטח פונעם צענטער (מער ווי 95%) איז אַ וויכטיקע טעכנישע טעמע.

ווי מאַקראָ חסרונות ווי "מיקראָטובולעס" און "אינקלוזיעס" ווערן ביסלעכווייַז קאָנטראָלירט דורך דער אינדוסטריע, וואָס שטעלט די סיליקאָן קאַרבייד קריסטאַלן אין אַ שווערער צייט צו "וואַקסן שנעל, לאַנג און דיק, און וואַקסן אויף", ווערן די "קאָמפּרעהענסיוו חסרונות" אויף די ברעגן אַבנאָרמאַל פּראָמינענט, און מיטן פאַרגרעסערן דעם דיאַמעטער און גרעב פון די סיליקאָן קאַרבייד קריסטאַלן, וועלן די "קאָמפּרעהענסיוו חסרונות" אויף די ברעגן ווערן געמערט מיטן קוואַדראַט פון דיאַמעטער און גרעב.

די נוצן פון טאַנטאַלום קאַרבייד TaC קאָוטינג איז צו סאָלווען די ראַנד פּראָבלעם און פֿאַרבעסערן די קוואַליטעט פון קריסטאַל וווּקס, וואָס איז איינער פון די קערן טעכניש ריכטונגען פון "וואַקסן שנעל, וואַקסן דיק און וואַקסן אַרויף". כּדי צו העכערן די אַנטוויקלונג פון אינדוסטריע טעכנאָלאָגיע און סאָלווען די "אימפּאָרט" אָפּהענגיקייט פון שליסל מאַטעריאַלס, הענגפּו האט דורכברוך סאָלווד די טאַנטאַלום קאַרבייד קאָוטינג טעכנאָלאָגיע (CVD) און דערגרייכט די אינטערנאַציאָנאַלע אַוואַנסירטע מדרגה.

טאַנטאַלום קאַרבייד TaC קאָוטינג, פֿון דער פּערספּעקטיוו פֿון רעאַליזאַציע, איז נישט שווער צו דערגרייכן מיט סינטערינג, CVD און אַנדערע מעטאָדן זענען גרינג צו דערגרייכן. סינטערינג מעטאָד, די נוצונג פֿון טאַנטאַלום קאַרבייד פּודער אָדער אַ פּרעקורסאָר, צוגעבן אַקטיווע ינגרידיאַנץ (געווענלעך מעטאַל) און אַ באַנדינג אַגענט (געווענלעך לאַנג קייט פּאָלימער), קאָוטינג צו דער ייבערפֿלאַך פֿון דעם גראַפֿיט סאַבסטראַט וואָס איז געסינטערט געוואָרן ביי אַ הויכער טעמפּעראַטור. מיטן CVD מעטאָד, TaCl5+H2+CH4 איז דעפּאַזיטירט געוואָרן אויף דער ייבערפֿלאַך פֿון דער גראַפֿיט מאַטריץ ביי 900-1500℃.

אבער, די גרונטלעכע פאראמעטערס ווי קריסטאל אריענטאציע פון ​​טאנטאלום קארבייד דעפאזיציע, איינהייטלעכע פילם גרעב, דרוק מעלדונג צווישן קאָוטינג און גראַפיט מאַטריץ, ייבערפלאַך ריסן, אאז"ו ו, זענען גאָר אַרויסרופן. ספּעציעל אין די סיק קריסטאַל וווּקס סביבה, אַ סטאַביל סערוויס לעבן איז די קערן פּאַראַמעטער, איז די מערסט שווער.