Kapag lumalaki ang silicon carbide crystal, ang "kapaligiran" ng growth interface sa pagitan ng axial center ng kristal at ng gilid ay magkakaiba, kaya tumataas ang crystal stress sa gilid, at ang crystal edge ay madaling makagawa ng "comprehensive defects" dahil sa impluwensya ng graphite stop ring na "carbon". Kung paano lutasin ang problema sa gilid o dagdagan ang effective area ng gitna (higit sa 95%) ay isang mahalagang teknikal na paksa.
Habang ang mga macro defect tulad ng "microtubule" at "inclusions" ay unti-unting kinokontrol ng industriya, na humahamon sa mga silicon carbide crystals na "mabilis lumaki, humaba at makapal, at lumaki," ang mga "comprehensive defects" sa gilid ay abnormal na kitang-kita, at sa pagtaas ng diyametro at kapal ng mga silicon carbide crystals, ang "comprehensive defects" sa gilid ay pararamihin ng diameter square at kapal.
Ang paggamit ng tantalum carbide TaC coating ay upang malutas ang problema sa gilid at mapabuti ang kalidad ng paglaki ng kristal, na isa sa mga pangunahing teknikal na direksyon ng "mabilis na paglaki, paglaki ng kapal at paglaki". Upang maisulong ang pag-unlad ng teknolohiya ng industriya at malutas ang pagdepende sa "import" ng mga pangunahing materyales, ang Hengpu ay nagkaroon ng pambihirang tagumpay sa paglutas ng teknolohiya ng tantalum carbide coating (CVD) at naabot ang internasyonal na advanced na antas.
Mula sa pananaw ng pagsasakatuparan, ang patong na Tantalum carbide TaC ay hindi mahirap, ngunit madaling makamit ang sintering, CVD, at iba pang mga pamamaraan. Ang pamamaraan ng sintering ay ang paggamit ng tantalum carbide powder o precursor, na nagdaragdag ng mga aktibong sangkap (karaniwan ay metal) at bonding agent (karaniwan ay long chain polymer), at pinahiran ang ibabaw ng graphite substrate na sininter sa mataas na temperatura. Sa pamamagitan ng pamamaraan ng CVD, ang TaCl5+H2+CH4 ay idineposito sa ibabaw ng graphite matrix sa 900-1500℃.
Gayunpaman, ang mga pangunahing parametro tulad ng oryentasyon ng kristal ng tantalum carbide deposition, pantay na kapal ng pelikula, paglabas ng stress sa pagitan ng patong at graphite matrix, mga bitak sa ibabaw, atbp., ay lubhang mahirap. Lalo na sa kapaligiran ng paglaki ng kristal, ang isang matatag na buhay ng serbisyo ang pangunahing parametro, na siyang pinakamahirap.
Oras ng pag-post: Hulyo 21, 2023