Apabila kristal silikon karbida tumbuh, "persekitaran" antara muka pertumbuhan antara pusat paksi kristal dan tepi adalah berbeza, supaya tegasan kristal pada tepi meningkat, dan tepi kristal mudah menghasilkan "kecacatan komprehensif" disebabkan oleh pengaruh "karbon" cincin hentian grafit, cara menyelesaikan masalah tepi atau meningkatkan luas berkesan pusat (lebih daripada 95%) adalah topik teknikal yang penting.
Oleh kerana kecacatan makro seperti "mikrotubul" dan "rangkuman" dikawal secara beransur-ansur oleh industri, mencabar hablur silikon karbida untuk "tumbuh dengan cepat, panjang dan tebal, dan membesar", "kecacatan komprehensif" tepi menjadi ketara secara luar biasa, dan dengan peningkatan diameter dan ketebalan hablur silikon karbida, "kecacatan komprehensif" tepi akan didarabkan dengan diameter segi empat sama dan ketebalan.
Penggunaan salutan tantalum karbida TaC adalah untuk menyelesaikan masalah pinggir dan meningkatkan kualiti pertumbuhan kristal, yang merupakan salah satu hala tuju teknikal teras "tumbuh pesat, tumbuh tebal dan membesar". Untuk menggalakkan pembangunan teknologi industri dan menyelesaikan kebergantungan "import" bahan utama, Hengpu telah berjaya menyelesaikan teknologi salutan tantalum karbida (CVD) dan mencapai tahap lanjutan antarabangsa.
Salutan Tantalum karbida TaC, dari perspektif realisasinya tidak sukar, dengan pensinteran, CVD dan kaedah lain mudah dicapai. Kaedah pensinteran, penggunaan serbuk atau prekursor tantalum karbida, menambah bahan aktif (umumnya logam) dan agen pengikat (umumnya polimer rantai panjang), disalut pada permukaan substrat grafit yang disinter pada suhu tinggi. Melalui kaedah CVD, TaCl5+H2+CH4 dimendapkan pada permukaan matriks grafit pada 900-1500℃.
Walau bagaimanapun, parameter asas seperti orientasi kristal pemendapan tantalum karbida, ketebalan filem seragam, pelepasan tegasan antara matriks salutan dan grafit, retakan permukaan, dan sebagainya, adalah sangat mencabar. Terutamanya dalam persekitaran pertumbuhan kristal sic, jangka hayat perkhidmatan yang stabil adalah parameter teras, dan ia adalah yang paling sukar.
Masa siaran: 21-Julai-2023