Вақте ки кристали карбидии кремний афзоиш меёбад, "муҳити" интерфейси афзоиш байни маркази меҳварии кристалл ва канор фарқ мекунад, аз ин рӯ фишори кристалл дар канор меафзояд ва канори кристалл ба осонӣ "камбудиҳои ҳамаҷониба"-ро ба вуҷуд меорад, ки аз таъсири ҳалқаи қатъкунандаи графит "карбон" ба вуҷуд меояд, ки чӣ гуна мушкилоти канорро ҳал кардан ё майдони муассири марказро зиёд кардан мумкин аст (зиёда аз 95%) як мавзӯи муҳими техникӣ мебошад.
Азбаски нуқсонҳои макро ба монанди "микронайчаҳо" ва "дохилҳо" аз ҷониби саноат тадриҷан назорат карда мешаванд ва кристаллҳои карбиди кремнийро барои "зуд, дароз ва ғафс шудан ва калон шудан" мушкил мекунанд, "нуқсонҳои ҳамаҷониба"-и канорӣ ба таври ғайримуқаррарӣ намоёнанд ва бо афзоиши диаметр ва ғафсии кристаллҳои карбиди кремний, "нуқсонҳои ҳамаҷониба"-и канорӣ ба квадрати диаметр ва ғафсӣ зарб карда мешаванд.
Истифодаи рӯйпӯши карбиди тантал TaC барои ҳалли мушкилоти канор ва беҳтар кардани сифати афзоиши булӯрҳо мебошад, ки яке аз самтҳои асосии техникии "афзоиши босуръат, афзоиши ғафс ва афзоиш" мебошад. Барои мусоидат ба рушди технологияи саноатӣ ва ҳалли вобастагии "воридот"-и маводҳои асосӣ, Hengpu технологияи рӯйпӯши карбиди тантал (CVD)-ро ҳал карда, ба сатҳи пешрафтаи байналмилалӣ расид.
Пӯшиши карбиди тантал TaC аз нуқтаи назари амалӣ кардан душвор нест ва бо CVD ва дигар усулҳо ба осонӣ ба даст оварда мешавад. Усули синтезкунӣ истифодаи хокаи карбиди тантал ё прекурсор, илова кардани компонентҳои фаъол (одатан металл) ва агенти пайвасткунанда (одатан полимери занҷири дароз) мебошад, ки ба сатҳи субстрати графит, ки дар ҳарорати баланд синтез карда шудааст, пӯшонида мешавад. Бо усули CVD, TaCl5+H2+CH4 дар сатҳи матритсаи графит дар ҳарорати 900-1500°C ҷойгир карда мешавад.
Аммо, параметрҳои асосӣ, аз қабили самти кристалл дар ҷойгиршавии карбиди тантал, ғафсии якхелаи плёнка, рафъи фишор байни рӯйпӯш ва матритсаи графит, тарқишҳои сатҳӣ ва ғайра, хеле душворанд. Хусусан дар муҳити афзоиши кристаллҳои sic, мӯҳлати хидматрасонии устувор параметри асосӣ ва душвортарин аст.
Вақти нашр: 21 июли соли 2023