Kremniý karbidi kristaly ösende, kristalyň ok merkezi bilen gyrasynyň arasyndaky ösüş serhediniň "daşky gurşawy" tapawutly bolýar, şonuň üçin kristalyň gyrasyndaky stres artýar we kristalyň gyrasynda grafit togtadyjy halkasynyň "uglerod" täsiri sebäpli "doly kemçilikler" döretmek aňsat bolýar, gyra meselesini nädip çözmeli ýa-da merkeziň netijeli meýdanyny (95% -den gowrak) nädip artdyrmalydygy möhüm tehniki temadyr.
“Mikrotubulalar” we “goşulmalar” ýaly makro kemçilikler senagat tarapyndan kem-kemden gözegçilikde saklanýarka, kremniý karbid kristallarynyň “çalt, uzyn we galyň ösmegine we ulalmagyna” kynçylyk döredýärkä, gyradaky “umumy kemçilikler” adatdan daşary derejede aýdyň görünýär we kremniý karbid kristallarynyň diametriniň we galyňlygynyň artmagy bilen gyradaky “umumy kemçilikler” diametriň kwadratyna we galyňlygyna köpelýär.
Tantal karbid TaC örtüginiň ulanylmagy gyra meselesini çözmek we kristall ösüşiniň hilini ýokarlandyrmak üçin niýetlenendir, bu bolsa "çalt ösmek, galyň ösmek we ulalmak" esasy tehniki ugurlarynyň biridir. Senagat tehnologiýasynyň ösüşini höweslendirmek we esasy materiallaryň "import" garaşlylygyny çözmek üçin Hengpu tantal karbid örtüginiň tehnologiýasyny (CVD) täze çözdi we halkara ösen derejesine ýetdi.
Tantal karbidi TaC örtügini ulanmak, amala aşyrmak nukdaýnazaryndan kyn däl, sinterleme arkaly CVD we beýleki usullar bilen amala aşyrmak aňsat. Sinterleme usuly, tantal karbid poroşogyny ýa-da prekursory ulanmak, işjeň maddalary (köplenç metal) we baglaýjy agenti (köplenç uzyn zynjyrly polimer) goşmak, ýokary temperaturada sinterlenen grafit substratynyň ýüzüne örtük bilen örtülmekdir. CVD usuly bilen TaCl5+H2+CH4 900-1500℃ temperaturada grafit matrisasynyň ýüzüne çökdürildi.
Şeýle-de bolsa, tantal karbidiniň çökündisiniň kristal ugry, birmeňzeş plýonka galyňlygy, örtük bilen grafit matrisasynyň arasyndaky dartgynlygyň aýrylmagy, ýüzdäki ýaryklar we ş.m. ýaly esasy parametrler örän kyn. Esasanam, kristal ösüş gurşawynda durnukly hyzmat möhleti esasy parametr bolup durýar, iň kynydyr.
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 21-nji iýuly