திருப்புமுனை எஸ்ஐசி வளர்ச்சி முக்கிய மையப் பொருள்

சிலிக்கான் கார்பைடு படிகம் வளரும்போது, ​​படிகத்தின் அச்சு மையத்திற்கும் அதன் விளிம்பிற்கும் இடையிலான வளர்ச்சி இடைமுகத்தின் "சூழல்" மாறுபடுவதால், விளிம்பின் மீதான படிக அழுத்தம் அதிகரிக்கிறது. மேலும், கிராஃபைட் தடுப்பு வளையத்தில் உள்ள "கார்பனின்" தாக்கத்தால், படிகத்தின் விளிம்பில் "விரிவான குறைபாடுகள்" எளிதில் உருவாகின்றன. இந்த விளிம்புப் பிரச்சனையைத் தீர்ப்பது அல்லது மையத்தின் செயல்திறன் மிக்க பரப்பளவை (95%-க்கும் மேல்) அதிகரிப்பது எப்படி என்பது ஒரு முக்கியமான தொழில்நுட்பத் தலைப்பாகும்.

"நுண்குழாய்கள்" மற்றும் "உள்ளடக்கங்கள்" போன்ற பேரளவுக் குறைபாடுகள் தொழில்துறையால் படிப்படியாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட்டு, சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்கள் "வேகமாகவும், நீளமாகவும், தடிமனாகவும், மேலும் பெரிதாகவும் வளர" சவால் விடுவதால், விளிம்பு "விரிவான குறைபாடுகள்" அசாதாரணமாகப் பெரிதாகின்றன; மேலும், சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்களின் விட்டம் மற்றும் தடிமன் அதிகரிக்கும்போது, ​​விளிம்பு "விரிவான குறைபாடுகள்" விட்டத்தின் வர்க்கம் மற்றும் தடிமனால் பன்மடங்கு பெருகும்.

டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சின் பயன்பாடு, விளிம்புச் சிக்கலைத் தீர்ப்பதற்கும் படிக வளர்ச்சியின் தரத்தை மேம்படுத்துவதற்கும் ஆகும். இது “வேகமாக வளர்தல், தடிமனாக வளர்தல் மற்றும் மேல்நோக்கி வளர்தல்” என்பதன் முக்கிய தொழில்நுட்ப வழிகாட்டுதல்களில் ஒன்றாகும். தொழில்துறை தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சியை ஊக்குவிக்கவும், முக்கிய மூலப்பொருட்களின் “இறக்குமதி” சார்ந்திருக்கும் நிலையைத் தீர்க்கவும், ஹெங்பு நிறுவனம் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுத் தொழில்நுட்பத்தில் (CVD) ஒரு திருப்புமுனையை ஏற்படுத்தி, சர்வதேச மேம்பட்ட நிலையை எட்டியுள்ளது.

டான்டலம் கார்பைடு TaC பூச்சு, நடைமுறைப்படுத்துவதைப் பொறுத்தவரை கடினமானதல்ல; சிண்டரிங், CVD மற்றும் பிற முறைகள் மூலம் இதை எளிதாக அடையலாம். சிண்டரிங் முறையில், டான்டலம் கார்பைடு தூள் அல்லது முன்னோடிப் பொருளைப் பயன்படுத்தி, அதனுடன் செயல்படும் மூலப்பொருட்கள் (பொதுவாக உலோகம்) மற்றும் பிணைப்புப் பொருள் (பொதுவாக நீண்ட சங்கிலி பாலிமர்) ஆகியவற்றைச் சேர்த்து, கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் உயர் வெப்பநிலையில் சிண்டர் செய்து பூசப்படுகிறது. CVD முறையில், TaCl5+H2+CH4 ஆனது 900-1500℃ வெப்பநிலையில் கிராஃபைட் மேட்ரிக்ஸின் மேற்பரப்பில் படியவைக்கப்பட்டது.

இருப்பினும், டான்டலம் கார்பைடு படிவின் படிக நோக்குநிலை, சீரான படலத் தடிமன், பூச்சுக்கும் கிராஃபைட் மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான அழுத்த விடுவிப்பு, மேற்பரப்பு விரிசல்கள் போன்ற அடிப்படை அளவுருக்கள் மிகவும் சவாலானவை. குறிப்பாக, படிக வளர்ச்சிச் சூழலில், நிலையான சேவை ஆயுள் என்பது மைய அளவுருவாக இருப்பதால், அதைப் பேணுவது மிகவும் கடினமானதாகும்.