திருப்புமுனை சிக் வளர்ச்சி முக்கிய முக்கிய பொருள்

சிலிக்கான் கார்பைடு படிகம் வளரும்போது, ​​படிகத்தின் அச்சு மையத்திற்கும் விளிம்பிற்கும் இடையிலான வளர்ச்சி இடைமுகத்தின் "சூழல்" வேறுபட்டது, இதனால் விளிம்பில் உள்ள படிக அழுத்தம் அதிகரிக்கிறது, மேலும் கிராஃபைட் நிறுத்த வளையமான "கார்பன்" இன் செல்வாக்கின் காரணமாக படிக விளிம்பு "விரிவான குறைபாடுகளை" உருவாக்குவது எளிது, விளிம்பு சிக்கலை எவ்வாறு தீர்ப்பது அல்லது மையத்தின் பயனுள்ள பகுதியை (95% க்கும் அதிகமாக) அதிகரிப்பது என்பது ஒரு முக்கியமான தொழில்நுட்ப தலைப்பு.

"மைக்ரோடியூபூல்கள்" மற்றும் "சேர்ப்புகள்" போன்ற மேக்ரோ குறைபாடுகள் தொழில்துறையால் படிப்படியாகக் கட்டுப்படுத்தப்படுவதால், சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்களை "வேகமாகவும், நீளமாகவும், தடிமனாகவும் வளரவும், வளரவும்" சவால் விடுவதால், விளிம்பு "விரிவான குறைபாடுகள்" அசாதாரணமாக முக்கியத்துவம் வாய்ந்தவை, மேலும் சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்களின் விட்டம் மற்றும் தடிமன் அதிகரிப்புடன், விளிம்பு "விரிவான குறைபாடுகள்" விட்டம் சதுரம் மற்றும் தடிமனால் பெருக்கப்படும்.

டான்டலம் கார்பைடு TaC பூச்சுகளின் பயன்பாடு விளிம்பு சிக்கலைத் தீர்ப்பதற்கும் படிக வளர்ச்சியின் தரத்தை மேம்படுத்துவதற்கும் ஆகும், இது "வேகமாக வளர்தல், தடிமனாக வளர்தல் மற்றும் வளர்ச்சி" ஆகியவற்றின் முக்கிய தொழில்நுட்ப திசைகளில் ஒன்றாகும். தொழில்துறை தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சியை ஊக்குவிப்பதற்கும் முக்கிய பொருட்களின் "இறக்குமதி" சார்புநிலையைத் தீர்ப்பதற்கும், ஹெங்பு டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை (CVD) தீர்த்து சர்வதேச மேம்பட்ட நிலையை அடைந்துள்ளது.

டான்டலம் கார்பைடு TaC பூச்சு, உணர்தல் கண்ணோட்டத்தில் கடினம் அல்ல, சின்டரிங் மூலம், CVD மற்றும் பிற முறைகள் அடைய எளிதானது. சின்டரிங் முறை, டான்டலம் கார்பைடு தூள் அல்லது முன்னோடியைப் பயன்படுத்துதல், அதிக வெப்பநிலையில் சின்டர் செய்யப்பட்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் பூசப்பட்ட செயலில் உள்ள பொருட்கள் (பொதுவாக உலோகம்) மற்றும் பிணைப்பு முகவர் (பொதுவாக நீண்ட சங்கிலி பாலிமர்) ஆகியவற்றைச் சேர்ப்பது. CVD முறையால், TaCl5+H2+CH4 கிராஃபைட் மேட்ரிக்ஸின் மேற்பரப்பில் 900-1500℃ இல் டெபாசிட் செய்யப்பட்டது.

இருப்பினும், டான்டலம் கார்பைடு படிவின் படிக நோக்குநிலை, சீரான படல தடிமன், பூச்சுக்கும் கிராஃபைட் மேட்ரிக்ஸுக்கும் இடையிலான அழுத்தத்தை வெளியிடுதல், மேற்பரப்பு விரிசல்கள் போன்ற அடிப்படை அளவுருக்கள் மிகவும் சவாலானவை. குறிப்பாக சிக் படிக வளர்ச்சி சூழலில், ஒரு நிலையான சேவை வாழ்க்கை முக்கிய அளவுருவாகும், இது மிகவும் கடினமானது.