పురోగతి సిక్ వృద్ధి కీలక ప్రధాన పదార్థం

సిలికాన్ కార్బైడ్ స్ఫటికం పెరిగేటప్పుడు, స్ఫటికం యొక్క అక్ష కేంద్రానికి మరియు అంచుకు మధ్య ఉన్న పెరుగుదల ఉపరితలం యొక్క "వాతావరణం" భిన్నంగా ఉంటుంది, దీనివల్ల అంచుపై స్ఫటిక ఒత్తిడి పెరుగుతుంది. అంతేకాకుండా, గ్రాఫైట్ స్టాప్ రింగ్ "కార్బన్" ప్రభావం కారణంగా స్ఫటికపు అంచు వద్ద "సమగ్ర లోపాలు" సులభంగా ఏర్పడతాయి. ఈ అంచు సమస్యను ఎలా పరిష్కరించాలి లేదా కేంద్రం యొక్క ప్రభావవంతమైన వైశాల్యాన్ని (95% కంటే ఎక్కువ) ఎలా పెంచాలి అనేది ఒక ముఖ్యమైన సాంకేతిక అంశం.

పరిశ్రమ “మైక్రోట్యూబ్యూల్స్” మరియు “ఇన్‌క్లూజన్స్” వంటి స్థూల లోపాలను క్రమంగా నియంత్రిస్తున్నందున, సిలికాన్ కార్బైడ్ స్ఫటికాలు “వేగంగా, పొడవుగా, మందంగా మరియు ఎత్తుగా పెరగడానికి” సవాలు విసురుతున్నాయి. దీని ఫలితంగా, అంచుల వద్ద ఉండే “సమగ్ర లోపాలు” అసాధారణంగా ఎక్కువగా కనిపిస్తున్నాయి. సిలికాన్ కార్బైడ్ స్ఫటికాల వ్యాసం మరియు మందం పెరిగేకొద్దీ, ఈ అంచుల వద్ద ఉండే “సమగ్ర లోపాలు” వ్యాసం యొక్క వర్గం మరియు మందంతో గుణించబడతాయి.

టాంటలమ్ కార్బైడ్ TaC పూతను ఉపయోగించడం అనేది అంచు సమస్యను పరిష్కరించడానికి మరియు స్ఫటిక వృద్ధి నాణ్యతను మెరుగుపరచడానికి ఉద్దేశించబడింది, ఇది "వేగంగా పెరగడం, మందంగా పెరగడం మరియు ఉన్నతంగా ఎదగడం" అనే ప్రధాన సాంకేతిక దిశలలో ఒకటి. పారిశ్రామిక సాంకేతిక పరిజ్ఞాన అభివృద్ధిని ప్రోత్సహించడానికి మరియు కీలక పదార్థాల "దిగుమతి"పై ఆధారపడటాన్ని పరిష్కరించడానికి, హెంగ్‌పు టాంటలమ్ కార్బైడ్ పూత సాంకేతికత (CVD)లో ఒక పురోగతిని సాధించి, అంతర్జాతీయ ఉన్నత స్థాయికి చేరుకుంది.

టాంటాలమ్ కార్బైడ్ TaC పూతను తయారుచేయడం కష్టమేమీ కాదు, సింటరింగ్, CVD మరియు ఇతర పద్ధతుల ద్వారా దీనిని సులభంగా సాధించవచ్చు. సింటరింగ్ పద్ధతిలో, టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పౌడర్ లేదా ప్రికర్సర్‌కు క్రియాశీల పదార్థాలను (సాధారణంగా లోహం) మరియు బంధన కారకాన్ని (సాధారణంగా పొడవైన గొలుసు పాలిమర్) జోడించి, గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద సింటరింగ్ చేసి పూత పూస్తారు. CVD పద్ధతి ద్వారా, 900-1500℃ వద్ద గ్రాఫైట్ మ్యాట్రిక్స్ ఉపరితలంపై TaCl5+H2+CH4 ను నిక్షేపించారు.

అయితే, టాంటలమ్ కార్బైడ్ నిక్షేపణ యొక్క స్ఫటిక విన్యాసం, ఏకరీతి ఫిల్మ్ మందం, పూత మరియు గ్రాఫైట్ మాతృక మధ్య ఒత్తిడి విడుదల, ఉపరితల పగుళ్లు మొదలైన ప్రాథమిక పారామితులు అత్యంత సవాలుతో కూడుకున్నవి. ముఖ్యంగా SiC స్ఫటిక వృద్ధి వాతావరణంలో, స్థిరమైన సేవా జీవితం అనేది ప్రధాన పరామితి, ఇది అత్యంత కష్టతరమైనది.