മുന്നേറ്റത്തിന്റെ വളർച്ചയുടെ പ്രധാന അടിസ്ഥാന വസ്തു

സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ക്രിസ്റ്റൽ വളരുമ്പോൾ, ക്രിസ്റ്റലിന്റെ അച്ചുതണ്ട് കേന്ദ്രത്തിനും അരികിനും ഇടയിലുള്ള വളർച്ചാ ഇന്റർഫേസിന്റെ "പരിസ്ഥിതി" വ്യത്യസ്തമാണ്, അതിനാൽ അരികിലെ ക്രിസ്റ്റൽ സമ്മർദ്ദം വർദ്ധിക്കുന്നു, കൂടാതെ ഗ്രാഫൈറ്റ് സ്റ്റോപ്പ് റിംഗ് "കാർബൺ" ന്റെ സ്വാധീനം കാരണം ക്രിസ്റ്റൽ എഡ്ജ് "സമഗ്രമായ വൈകല്യങ്ങൾ" സൃഷ്ടിക്കാൻ എളുപ്പമാണ്, എഡ്ജ് പ്രശ്നം എങ്ങനെ പരിഹരിക്കാം അല്ലെങ്കിൽ കേന്ദ്രത്തിന്റെ ഫലപ്രദമായ വിസ്തീർണ്ണം (95% ൽ കൂടുതൽ) വർദ്ധിപ്പിക്കാം എന്നത് ഒരു പ്രധാന സാങ്കേതിക വിഷയമാണ്.

"മൈക്രോട്യൂബ്യൂളുകൾ", "ഇൻക്ലൂഷനുകൾ" തുടങ്ങിയ മാക്രോ വൈകല്യങ്ങൾ വ്യവസായം ക്രമേണ നിയന്ത്രിക്കുന്നതിനാൽ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് പരലുകളെ "വേഗത്തിലും നീളത്തിലും കട്ടിയുള്ളതിലും വളരാനും" വെല്ലുവിളിക്കുന്നതിനാൽ, അരികിലെ "സമഗ്ര വൈകല്യങ്ങൾ" അസാധാരണമായി പ്രാധാന്യമർഹിക്കുന്നു, കൂടാതെ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് പരലുകളുടെ വ്യാസവും കനവും വർദ്ധിക്കുന്നതിനനുസരിച്ച്, അരികിലെ "സമഗ്ര വൈകല്യങ്ങൾ" വ്യാസ ചതുരവും കനവും കൊണ്ട് ഗുണിക്കും.

ടാന്റലം കാർബൈഡ് TaC കോട്ടിംഗിന്റെ ഉപയോഗം, എഡ്ജ് പ്രശ്നം പരിഹരിക്കുന്നതിനും ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയുടെ ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനുമാണ്, ഇത് "വേഗത്തിൽ വളരുക, കട്ടിയുള്ളതായി വളരുക, വളരുക" എന്നതിന്റെ പ്രധാന സാങ്കേതിക ദിശകളിൽ ഒന്നാണ്. വ്യവസായ സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ വികസനം പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കുന്നതിനും പ്രധാന വസ്തുക്കളുടെ "ഇറക്കുമതി" ആശ്രിതത്വം പരിഹരിക്കുന്നതിനുമായി, ഹെങ്‌പു ടാന്റലം കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ (CVD) പരിഹരിച്ച് അന്താരാഷ്ട്ര ഉന്നത തലത്തിലെത്തി.

ടാന്റലം കാർബൈഡ് TaC കോട്ടിംഗ്, സാക്ഷാത്കാരത്തിന്റെ വീക്ഷണകോണിൽ നിന്ന് ബുദ്ധിമുട്ടുള്ള കാര്യമല്ല, സിന്ററിംഗ് ഉപയോഗിച്ച്, CVD, മറ്റ് രീതികൾ എന്നിവ നേടാൻ എളുപ്പമാണ്. സിന്ററിംഗ് രീതി, ടാന്റലം കാർബൈഡ് പൊടി അല്ലെങ്കിൽ മുൻഗാമിയുടെ ഉപയോഗം, ഉയർന്ന താപനിലയിൽ സിന്റർ ചെയ്ത ഗ്രാഫൈറ്റ് അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ആവരണം ചെയ്ത സജീവ ചേരുവകൾ (സാധാരണയായി ലോഹം), ബോണ്ടിംഗ് ഏജന്റ് (സാധാരണയായി നീളമുള്ള ചെയിൻ പോളിമർ) എന്നിവ ചേർക്കുന്നു. CVD രീതി ഉപയോഗിച്ച്, ഗ്രാഫൈറ്റ് മാട്രിക്സിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ TaCl5+H2+CH4 900-1500℃ താപനിലയിൽ നിക്ഷേപിച്ചു.

എന്നിരുന്നാലും, ടാന്റലം കാർബൈഡ് നിക്ഷേപത്തിന്റെ ക്രിസ്റ്റൽ ഓറിയന്റേഷൻ, ഏകീകൃത ഫിലിം കനം, കോട്ടിംഗിനും ഗ്രാഫൈറ്റ് മാട്രിക്സിനും ഇടയിലുള്ള സമ്മർദ്ദ റിലീസ്, ഉപരിതല വിള്ളലുകൾ തുടങ്ങിയ അടിസ്ഥാന പാരാമീറ്ററുകൾ വളരെ വെല്ലുവിളി നിറഞ്ഞതാണ്. പ്രത്യേകിച്ച് സിക് ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചാ പരിതസ്ഥിതിയിൽ, സ്ഥിരതയുള്ള സേവന ജീവിതമാണ് പ്രധാന പാരാമീറ്റർ, ഏറ്റവും ബുദ്ധിമുട്ടാണ്.