Gdy kryształ węglika krzemu rośnie, „środowisko” interfejsu wzrostu między osiowym środkiem kryształu a krawędzią jest inne, tak że naprężenie kryształu na krawędzi wzrasta, a krawędź kryształu łatwo wytwarza „kompleksowe defekty” ze względu na wpływ pierścienia grafitowego „węgiel”. Jak rozwiązać problem krawędzi lub zwiększyć efektywną powierzchnię środka (ponad 95%) jest ważnym tematem technicznym.
Ponieważ przemysł stopniowo kontroluje takie makrodefekty jak „mikrotubule” i „inkluzje”, co stanowi wyzwanie dla kryształów węglika krzemu, aby „rosły szybko, długo i grubo oraz rosły w górę”, „całościowe defekty” krawędzi są nienormalnie widoczne, a wraz ze wzrostem średnicy i grubości kryształów węglika krzemu „całościowe defekty” krawędzi będą mnożone przez kwadrat średnicy i grubość.
Zastosowanie powłoki z węglika tantalu TaC ma na celu rozwiązanie problemu krawędzi i poprawę jakości wzrostu kryształu, co jest jednym z głównych kierunków technicznych „szybkiego wzrostu, wzrostu grubości i wzrostu w górę”. Aby promować rozwój technologii przemysłowej i rozwiązać zależność od „importu” kluczowych materiałów, Hengpu dokonał przełomu w rozwiązywaniu technologii powłok z węglika tantalu (CVD) i osiągnął międzynarodowy poziom zaawansowany.
Powłoka z węglika tantalu TaC, z perspektywy realizacji nie jest trudna, ze spiekaniem, CVD i innymi metodami są łatwe do osiągnięcia. Metoda spiekania, użycie proszku węglika tantalu lub prekursora, dodanie składników aktywnych (zwykle metalu) i środka wiążącego (zwykle polimeru o długim łańcuchu), powlekana na powierzchni podłoża grafitowego spiekanego w wysokiej temperaturze. Metodą CVD, TaCl5+H2+CH4 został osadzony na powierzchni matrycy grafitowej w temperaturze 900-1500℃.
Jednakże podstawowe parametry, takie jak orientacja kryształu osadzania węglika tantalu, jednolita grubość filmu, uwalnianie naprężeń między powłoką a matrycą grafitową, pęknięcia powierzchniowe itp., są niezwykle trudne. Szczególnie w środowisku wzrostu kryształów sic, stabilna żywotność jest kluczowym parametrem, jest najtrudniejsza.
Czas publikacji: 21-07-2023