Silizio karburo kristala hazten denean, kristalaren ardatz-zentroaren eta ertzaren arteko hazkuntza-interfazearen "ingurunea" desberdina da, beraz, ertzeko kristal-tentsioa handitzen da, eta kristal-ertzak erraz sortzen ditu "akats integralak" grafito-"karbono" gelditze-eraztunaren eraginagatik. Nola konpondu ertzaren arazoa edo zentroaren azalera eraginkorra (% 95 baino gehiago) handitu gai tekniko garrantzitsua da.
"Mikrotubuluak" eta "inklusioak" bezalako makro-akatsak industriak pixkanaka kontrolatzen dituen heinean, silizio karburo kristalak "azkar, luze eta lodi hazteko eta hazteko" erronka eginez, ertzeko "akats integralak" anormalki nabarmenak dira, eta silizio karburo kristalen diametroa eta lodiera handitzen diren heinean, ertzeko "akats integralak" diametroaren karratuaz eta lodieraz biderkatuko dira.
Tantalo karburozko TaC estalduraren erabilera ertzen arazoa konpontzeko eta kristalen hazkuntzaren kalitatea hobetzeko da, eta hori da "azkar haztea, lodi haztea eta haztea" ardatz tekniko nagusietako bat. Industria-teknologiaren garapena sustatzeko eta funtsezko materialen "inportazio" menpekotasuna konpontzeko, Hengpuk tantalo karburozko estaldura-teknologia (CVD) aurrerapen bat egin du eta nazioarteko maila aurreratura iritsi da.
Tantalo karburozko TaC estaldura, gauzatzearen ikuspuntutik, ez da zaila, sinterizazioarekin, CVDrekin eta beste metodo batzuekin erraz lortzen da. Sinterizazio metodoak tantalo karburo hautsa edo aitzindaria erabiltzen du, osagai aktiboak (orokorrean metala) eta lotura-agentea (orokorrean kate luzeko polimeroa) gehituz, tenperatura altuan sinterizatutako grafito substratuaren gainazalean estaltzen du. CVD metodoaren bidez, TaCl5+H2+CH4 grafito matrizearen gainazalean metatu zen 900-1500 ℃-tan.
Hala ere, tantalo karburoaren metaketaren kristal-orientazioa, filmaren lodiera uniformea, estalduraren eta grafito-matrizearen arteko tentsio-askapena, gainazaleko pitzadurak, etab. bezalako oinarrizko parametroak oso erronka handikoak dira. Batez ere sic kristalen hazkuntza-ingurunean, zerbitzu-bizitza egonkorra da parametro nagusia, zailena.
Argitaratze data: 2023ko uztailak 21