Nuair a fhásann criostal cairbíde sileacain, bíonn “timpeallacht” an chomhéadain fáis idir lár aiseach an chriostail agus an imeall difriúil, rud a mhéadaíonn strus an chriostail ar an imeall, agus is furasta “lochtanna cuimsitheacha” a tháirgeadh ar imeall an chriostail mar gheall ar thionchar “charbóin” an fháinne stad graifíte, agus is ábhar teicniúil tábhachtach é conas an fhadhb imeall a réiteach nó achar éifeachtach an ionaid a mhéadú (níos mó ná 95%).
De réir mar a bhíonn an tionscal ag rialú lochtanna macra ar nós “micritiúbail” agus “cuimsithe” de réir a chéile, rud a chuireann dúshlán ar chriostail charbaídí sileacain “fás go tapa, fada agus tiubh, agus fás suas”, tá na “lochtanna cuimsitheacha” imeallacha thar a bheith suntasach, agus de réir mar a mhéadaíonn trastomhas agus tiús criostail charbaídí sileacain, déanfar na “lochtanna cuimsitheacha” imeallacha a iolrú faoin gcearnóg trastomhais agus tiús.
Is é an aidhm atá le sciath TaC charbíde tantalaim ná fadhb na n-imeall a réiteach agus feabhas a chur ar cháilíocht fhás criostail, arb é ceann de na príomhthreoracha teicniúla é "fás go tapa, fás tiubh agus fás suas". Chun forbairt na teicneolaíochta tionscail a chur chun cinn agus an spleáchas "allmhairithe" ar ábhair thábhachtacha a réiteach, tá Hengpu tar éis dul chun cinn a dhéanamh i dteicneolaíocht sciath charbíde tantalaim (CVD) agus an leibhéal ardleibhéil idirnáisiúnta a bhaint amach.
Ó thaobh an bhaint amach de, níl sé deacair sciath TaC le cairbíd tantalaim a chur i bhfeidhm, agus is furasta é a bhaint amach le modhanna shintéirithe agus CVD. Trí úsáid a bhaint as púdar nó réamhtheachtaí cairbíd tantalaim, cuirtear comhábhair ghníomhacha (miotal de ghnáth) agus gníomhaire nasctha (polaiméir slabhra fada de ghnáth) leis an tsintéiriú, agus cuirtear brataithe ar dhromchla an tsubstráit graifíte ag teocht ard. Trí mhodh CVD, taisctear TaCl5+H2+CH4 ar dhromchla an mhaitrís graifíte ag 900-1500 ℃.
Mar sin féin, tá na paraiméadair bhunúsacha amhail treoshuíomh criostail taiscthe charbaídí tantalaim, tiús aonfhoirmeach an scannáin, scaoileadh struis idir an sciath agus maitrís graifíte, scoilteanna dromchla, etc., thar a bheith dúshlánach. Go háirithe i dtimpeallacht fáis criostail sic, is í an saol seirbhíse cobhsaí an croípharaiméadar, an ceann is deacra.
Am an phoist: 21 Iúil 2023