នៅពេលដែលគ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនកាប៊ីតលូតលាស់ “បរិស្ថាន” នៃចំណុចប្រទាក់លូតលាស់រវាងកណ្តាលអ័ក្សនៃគ្រីស្តាល់ និងគែមគឺខុសគ្នា ដូច្នេះភាពតានតឹងគ្រីស្តាល់នៅលើគែមកើនឡើង ហើយគែមគ្រីស្តាល់ងាយនឹងបង្កើត “ពិការភាពទូលំទូលាយ” ដោយសារតែឥទ្ធិពលនៃចិញ្ចៀនឈប់ក្រាហ្វីត “កាបូន” របៀបដោះស្រាយបញ្ហាគែម ឬបង្កើនផ្ទៃមានប្រសិទ្ធភាពនៃកណ្តាល (ច្រើនជាង 95%) គឺជាប្រធានបទបច្ចេកទេសដ៏សំខាន់មួយ។
ដោយសារតែពិការភាពម៉ាក្រូដូចជា "មីក្រូទូប៊ុល" និង "ការរួមបញ្ចូល" ត្រូវបានគ្រប់គ្រងបន្តិចម្តងៗដោយឧស្សាហកម្ម ដែលជំរុញឱ្យគ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនកាប៊ីត "លូតលាស់លឿន វែង និងក្រាស់ ហើយលូតលាស់ឡើង" "ពិការភាពទូលំទូលាយ" នៃគែមគឺលេចធ្លោមិនធម្មតា ហើយជាមួយនឹងការកើនឡើងនៃអង្កត់ផ្ចិត និងកម្រាស់នៃគ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនកាប៊ីត "ពិការភាពទូលំទូលាយ" នៃគែមនឹងត្រូវបានគុណនឹងអង្កត់ផ្ចិតការ៉េ និងកម្រាស់។
ការប្រើប្រាស់ថ្នាំកូតតាល់កាបូអ៊ីដ TaC គឺដើម្បីដោះស្រាយបញ្ហាគែម និងបង្កើនគុណភាពនៃការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ ដែលជាទិសដៅបច្ចេកទេសស្នូលមួយគឺ "លូតលាស់លឿន លូតលាស់ក្រាស់ និងលូតលាស់ធំ"។ ដើម្បីលើកកម្ពស់ការអភិវឌ្ឍបច្ចេកវិទ្យាឧស្សាហកម្ម និងដោះស្រាយការពឹងផ្អែក "នាំចូល" នៃវត្ថុធាតុដើមសំខាន់ៗ ក្រុមហ៊ុន Hengpu ទទួលបានជោគជ័យក្នុងការដោះស្រាយបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតតាល់កាបូអ៊ីដ (CVD) និងឈានដល់កម្រិតខ្ពស់អន្តរជាតិ។
ថ្នាំកូត TaC តាតាលូមកាបូអ៊ីដ ពីទស្សនៈនៃការសម្រេចបានគឺមិនពិបាកទេ ជាមួយនឹងការធ្វើស៊ីនធឺរ CVD និងវិធីសាស្រ្តផ្សេងទៀតគឺងាយស្រួលក្នុងការសម្រេចបាន។ វិធីសាស្រ្តធ្វើស៊ីនធឺរ ការប្រើប្រាស់ម្សៅកាបូអ៊ីដតាតាលូម ឬសារធាតុផ្សំ បន្ថែមគ្រឿងផ្សំសកម្ម (ជាទូទៅលោហៈ) និងសារធាតុភ្ជាប់ (ជាទូទៅប៉ូលីមែរខ្សែសង្វាក់វែង) ស្រោបទៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមក្រាហ្វីតដែលត្រូវបានធ្វើស៊ីនធឺរនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ តាមវិធីសាស្ត្រ CVD TaCl5+H2+CH4 ត្រូវបានដាក់លើផ្ទៃនៃម៉ាទ្រីសក្រាហ្វីតនៅសីតុណ្ហភាព 900-1500 ℃។
ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ប៉ារ៉ាម៉ែត្រមូលដ្ឋានដូចជាការតំរង់ទិសគ្រីស្តាល់នៃការដាក់កាបូនតាតាលូម កម្រាស់ខ្សែភាពយន្តឯកសណ្ឋាន ការបញ្ចេញភាពតានតឹងរវាងថ្នាំកូត និងម៉ាទ្រីសក្រាហ្វីត ស្នាមប្រេះលើផ្ទៃជាដើម គឺជាបញ្ហាប្រឈមយ៉ាងខ្លាំង។ ជាពិសេសនៅក្នុងបរិយាកាសលូតលាស់គ្រីស្តាល់ អាយុកាលសេវាកម្មមានស្ថេរភាពគឺជាប៉ារ៉ាម៉ែត្រស្នូល ដែលជាការលំបាកបំផុត។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២១ ខែកក្កដា ឆ្នាំ ២០២៣